一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构的制作方法

本技术涉及门阀维护，尤其涉及一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构。

背景技术：

1、在真空镀膜设备(如磁控溅射镀膜设备)中，门阀是保障工艺稳定与真空环境的核心部件。其首要作用为真空隔离，可隔断不同真空压力腔室或隔离真空与大气，防止串气以维持各腔室本底真空度及工艺气体纯度，同时确保基片进出时进出口非工作状态下的封闭性；其次，门阀能通过调控开闭程度与时间精准控制腔室压力，适配零件交换等操作需求，在多腔室系统中，门阀可控制基片在腔室间的传输，保障工艺衔接；还能控制工艺气体的通入，维持镀膜所需气氛环境，此外，当出现压力突变、气体泄漏等异常时，门阀可快速切断腔室连接，避免故障扩大，起到安全保护作用。

2、传统门阀结构当需要对门阀进行维护时，得把两个腔体拆分，这样的操作过程繁琐、耗时，还可能对设备的其他部件造成不必要的影响，降低了设备维护的效率，增加了维护成本。

3、如2023年12月12日公开的公告号为cn220166270u，名称为一种用于真空镀膜设备上的门阀装置的专利，包括箱体及门阀机构，箱体包括进料仓、真空箱及设于所述真空箱上供工件进出的进料口，密封进料组件能密封进料口，使得进料仓的内部与真空箱内部能相互独立，进料仓能独立破空，有助于缩短破空时间，提高镀膜效率，当需要对门阀进行维护，维护成本较高。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，以解决维护成本较高的问题。

2、基于上述目的，本实用新型提供了一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，包括机体，所述机体上设置有相邻的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和第二腔体之间设有用于通断的门阀，所述机体的侧壁与所述门阀对应的位置设有维护窗口，所述维护窗口处设置有维护门，所述维护门包括固定于所述维护窗口侧壁的承载基座，所述承载基座上铰接设置有旋转基座，所述旋转基座连接有用封闭所述维护窗口的门板，所述门板与所述维护窗口的侧壁之间设有密封件。

3、可选的，所述密封件为密封条。

4、可选的，所述承载基座和旋转基座之间设置有密封圈。

5、可选的，所述门阀包括与所述机体转动连接的主轴，所述主轴侧壁通过至少两个连接件连接有阀板，主轴转动带动阀板转动实现门阀的开启与闭。

6、可选的，所述门阀为插板阀或者挡板阀。

7、本实用新型的有益效果：本实用新型提供的一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，门阀安装在第一腔体和第二腔体中间，以便进行第一腔体和第二腔体真空度调节时候进行隔离，第一腔体和第二腔体在不同作业内容时，门阀关闭，进行隔离；此外，在第一腔体和第二腔体连通时，通过门阀连接能够在保持腔体真空环境不被破坏的情况下完成进片，从而保持生产节拍，不过作业会有沉积的颗粒和污染物附着在门阀上面，破坏门阀原有的密封圈等部件，可以使用维护门，维护门在于给门阀的维护提供窗口，使得后续门阀维护工作简化，缩短维护时间，降低设备损坏的风险，简化维护保养工作后设备恢复时间，降低设备维护成本，便利性也提高。

1.一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，包括机体，其特征在于，所述机体上设置有相邻的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体和第二腔体之间设有用于通断的门阀，所述机体的侧壁与所述门阀对应的位置设有维护窗口，所述维护窗口处设置有维护门，所述维护门包括固定于所述维护窗口侧壁的承载基座，所述承载基座上铰接设置有旋转基座，所述旋转基座连接有用封闭所述维护窗口的门板，所述门板与所述维护窗口的侧壁之间设有密封件。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，其特征在于，所述密封件为密封条。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，其特征在于，所述承载基座和旋转基座之间设置有密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，其特征在于，所述门阀包括与所述机体转动连接的主轴，所述主轴侧壁通过至少两个连接件连接有阀板，主轴转动带动阀板转动实现门阀的开启与闭。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备门阀便捷维护结构，其特征在于，所述门阀为插板阀或者挡板阀。