吸盘夹具及激光加工设备的制作方法

本公开涉及激光加工辅助用具的，具体涉及一种吸盘夹具及激光加工设备。

背景技术：

1、由于具备如其高频特性(介电常数小于5.0@10ghz)、超低损耗因子、亚微米级表面的平整度以及优异的热膨胀匹配性等诸多卓越性能，玻璃基板的市场占有率占据封装基板的比例越来越大。在对玻璃基板进行加工的过程中，通常采用陶瓷吸盘作为固定装置，保持玻璃基板在加工过程中稳定性。

2、但是，使用目前的陶瓷吸盘对玻璃基板进行固定，在加工过程中，通过视觉检测系统进行定位标记或是表面缺陷检测时，存在玻璃基板表面特征与背景(陶瓷吸盘)的对比度较低，导致无法有效捕捉玻璃基板定位标记和表面缺陷，影响加工定位精度和进行缺陷检测的效率及准确度。

技术实现思路

1、有鉴于此，本公开实施例致力于提供一种吸盘夹具及激光加工设备，以解决现有技术中吸盘影响玻璃基板加工定位精度以及缺陷检测效率的问题。

2、第一方面，本公开提供了一种吸盘夹具，包括负压板和吸附板。负压板上设有负压槽与负压通道，负压通道一端与负压槽连通，另一端与负压板的外侧表面连通。吸附板与负压板连接，围合负压槽形成负压腔，负压腔通过负压通道与负压设备连接形成负压环境。吸附板设有背向负压板的定位面。吸附板上设有吸附孔道，吸附孔道的一端连通至负压腔，另一端连通至定位面。定位面对光线的反射率r满足：r≥90％。

3、在上述技术方案中，通过设置的负压板与吸附板围合形负压槽成负压腔，通过负压设备抽出负压腔内的气体，在负压腔中形成负压环境，同时，负压腔与定位面通过设置的吸附孔道连通，将待加工的玻璃基板放置于定位面上的状态下，玻璃基板的下侧为负压状态，上侧为大气压强，将玻璃基板吸紧固定在定位面上，实现对玻璃基板的定位，不容易出现对玻璃基板固定过程中部分位置压强过大造成损坏的问题；另外，在加工过程中通过相应的视觉检测系统对玻璃基板进行定位，以及检测玻璃基板是否存在缺陷，通过设置的定位面，提高对光线的反射率，提高玻璃基板与背景的对比度，视觉检测系统能够更加高效的捕捉对应的定位标记或是存在的缺陷，避免加工位置出现偏差，提高加工定位的精度以及进行缺陷检测的效率与精度。

4、在一个具体的可实施方案中，吸附板为单晶硅板，定位面为单晶硅板背向负压板的表面。

5、在一个具体的可实施方案中，吸附板背向负压板的表面设有单晶硅层，定位面为单晶硅层背向负压板的表面。

6、在一个具体的可实施方案中，负压槽的底部设有支撑部，支撑部与吸附板朝向负压板的表面相贴。

7、在一个具体的可实施方案中，支撑部的数量为多个。支撑部呈环形，且多个支撑部相互套设布置。多个支撑部将负压腔分隔形成多个相互独立的腔体。每个支撑部上设有连通缺口，相互独立的腔体通过连通缺口连通。

8、在一个具体的可实施方案中，每个支撑部上，至少有一个连通缺口，与其他任一支撑部上的一个连通缺口位于同一直线上。

9、在一个具体的可实施方案中，每个支撑部上设有四个所述连通缺口。四个连通缺口在支撑部上均匀分布。多个支撑部上的多个连通缺口，排布形成两条连通通道，并且两条连通通道垂直相交。

10、在一个具体的可实施方案中，负压通道与负压槽的底部连通。负压通道设置有至少四条，且四条负压通道与负压槽连通的位置，分别位于两条连通通道的两端。

11、在一个具体的可实施方案中，吸盘夹具还包括粘接层。吸附板与负压板通过粘接层粘接固定。

12、第二方面，本公开还提供一种激光加工设备，包括激光源、光学系统、视觉检测系统以及如上述任一项的吸盘夹具。激光源用于产生激光，光学系统用于对激光进行调制聚焦。吸盘夹具用于将待加工工件固定在设定位置，经过光学系统调制聚焦的激光，对固定在吸盘夹具上的待加工工件进行加工。视觉检测系统用于检测待加工工件上的定位标记以及缺陷。

1.一种吸盘夹具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的吸盘夹具，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的吸盘夹具，其特征在于，

4.根据权利要求1-3任一项所述的吸盘夹具，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的吸盘夹具，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的吸盘夹具，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的吸盘夹具，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的吸盘夹具，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的吸盘夹具，其特征在于，

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括激光源、光学系统、视觉检测系统以及如权利要求1-9中任一项所述的吸盘夹具；