一种芯片检测装置的制作方法

本技术涉及芯片制造设备的，其具体涉及一种芯片检测装置。

背景技术：

1、芯片为工业设备的核心制造部件，通过简易的程序编写即可有效提高设备的生产能力，具有广泛的应用性；

2、在芯片制造过程中，需要对制造后的芯片进行粗检测，但检测芯片需要单独检测，效率较低，在现有的检测过程中，通常采用高速摄像头拍摄芯片表面检测瑕疵，但部分瑕疵在芯片周侧，在检测时无法准确进行拍摄，导致部分问题芯片流入后续制造过程，造成设备损坏，同时部分芯片即使有瑕疵，但内部电路完好，摄像头无法准确判别，使得制造成本较高。

技术实现思路

1、为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型目的在于提供一种可对芯片批量检测，同时可辅助检测芯片侧面，以及验证瑕疵影响性的一种芯片检测装置。

2、本实用新型所采用的技术方案为： 一种芯片检测装置，包括置于底板上的放置机构，所述放置机构上均匀放置有若干芯片，所述放置机构的下方设有翻转机构，所述翻转机构用以辅助放置机构上的芯片旋转，所述放置机构远离底板的一侧设有检测件，用以检测放置机构上的芯片表面瑕疵，所述放置机构的一侧设有验证机构，用以通电检测放置机构上的芯片；

3、所述放置机构包括多组翻转板，所述翻转板包括放置板、连接杆以及限制板，所述放置板与连接杆通过铰链进行连接，所述放置板靠近连接杆的一侧设有若干放置孔，所述放置孔内设有磁块，用以吸附连接杆，所述连接杆上还设有加热块，用以加热磁块使其失磁性，所述限制板设于所述连接杆远离底板的一侧，多组翻转板呈现矩形阵列结构，位于同一连接杆的长度方向的翻转板之间通过滑动杆串联，多组滑动杆的两端设有调高件，用以调整翻转板高度；

4、所述调高件包括滑动支撑板，所述滑动支撑板沿长度方向设有滑动槽，所述滑动杆通入并滑动连接于所述滑动槽，所述滑动支撑板两端设有提高块，所述提高块中部设有螺纹连接的螺纹升降杆，所述螺纹升降杆的一端设有升降电机，所述升降电机设于底板上方；

5、所述翻转机构包括设于翻转板中放置板远离连接杆的下方的两个斜面块，两个斜面块的斜面上有支撑圆板，所述支撑圆板通过旋转杆旋转连接于所述斜面块，所述支撑圆板上方设有旋转圆块，所述旋转圆块设有支撑扩口，所述支撑扩口用以抵接芯片，位于所述滑动杆下方的多组斜面块通过滑动件进行连接，所述滑动件用以沿滑动杆轴向滑动斜面块。

6、在一种实施例中，所述滑动杆的两端设有连接板，所述连接板上设有驱动电机，所述驱动电机的旋转轴上设有滚动轮，所述滚动轮抵接所述滑动支撑板侧面，用以推动连接板滑动滑动杆于滑动槽内。

7、在一种实施例中，所述滑动件包括滑动板、导向夹持杆、导向滑杆，所述导向滑杆沿着滑动板的长度方向设于所述滑动板靠近斜面块的一侧，所述斜面块滑动连接于相近的所述导向滑杆，所述滑动板沿长度方向的两侧设有导向夹持杆，所述导向夹持杆由支撑杆设于底板上，两组所述导向夹持杆夹持并滑动连接于所述滑动板。

8、在一种实施例中，多组所述滑动板的两端设有底部支撑板，所述底部支撑板置于底板上，所述底部支撑板上设有若干旋转电机，所述旋转电机的旋转轴上设有旋转盘，所述旋转盘的旋转面上设有偏离中心的拨动杆，所述滑动板两端靠近底板的一侧设有沿宽度方向设置的导向槽，所述滑动板靠近底板一侧的拨动杆通入并滑动连接于所述导向槽。

9、在一种实施例中，位于所述翻转板下方的两组斜面块之间设有旋转齿轮，所述旋转齿轮的两侧设有对称设置的旋转螺纹杆，所述旋转螺纹杆沿着旋转齿轮的轴线方向贯穿并滑动连接于相近的所述斜面块，所述旋转齿轮两侧设有支撑旋转螺纹杆旋转的螺纹杆支撑板，所述旋转齿轮的周侧还设有齿轮电机，所述齿轮电机上齿轮啮合所述旋转齿轮，所述齿轮电机固定连接于所述滑动板。

10、在一种实施例中，所述滑动杆靠近底板的一侧还设有翻板件，用以辅助放置板通过铰链进行翻转，所述翻板件包括拨杆，所述放置机构靠近所述拨杆的一侧设有拨板，所述拨杆抵接所述拨板远离连接杆的一侧，所述导向夹持杆两端设有斜导向块，所述斜导向块同放置板倾斜方向斜向设置，所述斜导向块中部设有斜向槽，所述拨杆端部贯通并滑动连接于相近的所述斜向槽，所述斜向槽靠近底板的一端设有推力弹簧，所述推力弹簧推动所述拨杆抵接所述斜向槽远离底板的一端，所述斜导向块由固定杆支撑于相近的所述底部支撑板上。

11、在一种实施例中，所述检测件包括拍摄芯片瑕疵的摄像机以及辅助摄像机移动、固定的移动支架。

12、在一种实施例中，所述验证机构包括支撑平板，所述支撑平板设于所述滑动支撑板远离底板的一侧，所述支撑平板设于底板上，所述支撑平板中部设有多组辅助杆支撑架，所述辅助杆支撑架上设于升降辅助杆，所述升降辅助杆的延长端垂直贯穿并滑动连接于所述支撑平板，所述辅助杆支撑架延长端顶端设有升降块，所述升降块的一侧设活动板，所述升降块中部设有垂直于升降块平面的导向杆，所述导向杆贯穿并滑动连接于所述活动板，所述升降块上还设有滑动延长杆，所述滑动延长杆推动所述活动板沿导向杆导向滑动，所述活动板与所述升降块的相对侧靠近所述底板的区域设有若干检测针脚，用以夹持芯片并联通，所述支撑平板远离放置机构的一侧设有若干延长支撑杆，所述延长支撑杆上还设有朝向底板的温度摄像头。

13、本实用新型的有益效果为：作为一种可对芯片批量检测，同时可辅助检测芯片侧面，以及验证瑕疵影响性的一种芯片检测装置及方法，具体实施方法如下所示：

14、首先利用机械手或人工将芯片批量放置于放置板上方后，启动驱动电机旋转滚动轮带动连接板连接的滑动杆向拨杆方向移动，在拨杆推动拨板的作用下，放置板脱落磁块对连接杆的吸附作用验证铰链连接方向发生完全，同时推动拨杆挤压推力弹簧向斜导向块内滑动，放置板上的芯片同步发生倾斜发生滑落，其一角部落入旋转圆块开口方向的第一组支撑扩口内由支撑圆板进行支撑，此时，即可开启检测件上的摄像机进行对芯片的拍摄，由于芯片的倾斜，摄像机可连续拍摄到三组面，之后启动旋转电机带动旋转盘旋转，旋转盘旋转的过程中推动拨动杆在滑动板的导向槽内滑动，继续带动导向夹持杆夹持的滑动板导向滑动，在滑动板滑动的过程中，部分芯片还在放置板上，受到放置板的摩擦以及旋转圆块的推动作用旋转芯片使得芯片的另一角部分继续落入相邻的旋转圆块上的支撑扩口内，重复上述对滑动板的推动旋转圆块的旋转过程，使得摄像机继续拍摄到其余周侧两面，即可通过照片对比瑕疵识别程序进行瑕疵识别，完成瑕疵检测，完成拍摄后移动滑动板使得芯片边缘平行于连接杆，方便拾取以及后续检测；

15、为了将芯片重新拾取到放置板上，启动升降电机旋转螺纹升降杆带动提高块上的滑动支撑板下落，在下落的过程中，由于固定杆对拨杆的推力作用导致拨板继续推动拨杆向斜向槽内滑动，使得拨杆远离连接杆，推动放置板继铰链旋转推动磁块吸附连接杆使得放置板平行，芯片受到重力的作用脱落旋转圆块落入放置板平面上，即可继续通过旋转螺纹升降杆提高滑动支撑板使得翻转板归位，同时，为了使得推力弹簧推动的拨杆避免在放置板上升过程中推动拨板，可在斜向槽内对拨杆的滑动添加阻尼，减少放置板恢复位置的过程中对放置板平面的影响。

16、为了适应不同大小的芯片，在芯片检测前可调整翻转板下方的两组斜面块的间距，启动齿轮电机，齿轮电机上的齿轮啮合旋转齿轮旋转同步推动旋转螺纹杆旋转，在旋转螺纹杆的旋转作用下斜面块验证导向滑杆的导向方向滑动，进而辅助两组斜面块调整间距，适配不同大小的芯片。

17、完成瑕疵检测后，即可对芯片进行验证，启动驱动电机反向旋转滚动轮使得滑动杆连接的翻转板移动至验证机构的下方后，启动升降辅助杆带动升降块下落，直至落入芯片触点的两侧后，启动滑动延长杆带动活动板沿着导向杆的导向方向向升降块移动，升降块以及活动板上的检测针脚接触到芯片针脚后接驳电路，检测是否出现短路或断路现象，出现短路后由延长支撑杆上的温度摄像头识别温度较高或无温度变化后，启动翻转板上的加热块加热磁块使得磁块失去磁性，使得放置板发生倾斜，同时放置板铰链倾斜角度控制不宜过大，防止磁块后续无法重新吸附连接杆，之后由升降块的活动使得问题芯片落下后落入放置板表面滑入漏料口进行收集，磁块也降温后恢复磁力吸附连接杆使得翻转板归位完成检测所有步骤。

18、该设备结构简单，有效利用芯片的倾斜以及放置板的翻转实现对芯片的瑕疵检测以及问题验证，有效加快监测效率，同时适应不同大小的芯片，具有较好的实用性以及经济性，有益于设备的推广以及使用。