一种半球谐振子调平用送取样装置的制作方法

本技术涉及惯性导航制备，具体涉及一种半球谐振子调平用送取样装置。

背景技术：

1、半球谐振陀螺是一种高精度、高可靠性、长寿命的惯性传感器，其核心部件为熔融石英材质的半球谐振子，半球谐振子在其固有频率下被激励产生四波腹驻波振荡。半球谐振陀螺的性能依赖于半球谐振子几何形状的完美对称性及其振动频率的一致性，任何微小质量或频率分布不均即频率分裂都会导致陀螺精度急剧下降。因此，在制造过程中，必须对成型后的半球谐振子进行纳米级甚至原子级的精密修形，以消除其固有的频率分裂。

2、为此，业界探索并发展了多种调平技术，如化学调平技术和激光调平技术，但化学调平与激光调平技术均会在加工过程中引入不可逆的物理或化学损伤，导致谐振子本体性能下降，无法应于制造导航级、战略级的高性能半球谐振陀螺。

3、申请人研制了一种专用于半球谐振子调平的双离子源精密调平设备，详见中国专利申请cn202511632046.x，其包括真空腔体和送取样机构，送取样机构将半球谐振子送入真空腔体内，真空腔体上的主副离子源先后对半球谐振子进行离子调平，该装置集修行和抛光于一体，且不会引入物理或化学损伤。但其送取样机构对夹持半球谐振子的夹具抓取不方便，抓取过程中夹具易倾倒，导致半球谐振子出现污染或损伤现象，因此多数时候需要手动将夹持半球谐振子的夹具卡入送取样机构中，不仅费时费力，而且操作不当易污染半球谐振子。

技术实现思路

1、针对背景技术中的问题，本实用新型提出一种半球谐振子调平用送取样装置，能够在调平前快速平稳地完成半球谐振子取样。

2、本实用新型采用以下技术方案：

3、一种半球谐振子调平用送取样装置，包括夹持机构，送取样机构和支撑结构，

4、夹持机构包括用于夹持半球谐振子的夹持部和设于夹持部侧壁的取样部 ，

5、送取样机构包括取样杆和设于取样杆下部的锁紧罩，锁紧罩上设有与取样部可脱离连接的第一连接部，

6、支撑结构包括置物架，滑盘，支撑柱和第一弹簧，支撑柱竖向固定于置物架上，用于支撑夹持机构的夹持部，支撑柱穿过滑盘，滑盘可相对支撑柱上下滑动，滑盘上设有与取样部可脱离连接的第二连接部，弹簧限位于置物架和滑盘之间，用于支撑所述滑盘，以使滑盘位于原位，滑盘处于原位时，取样部能够与第二连接部连接；

7、送取样机构能够下移至锁紧罩与滑盘抵接，送取样机构继续下移时带动滑盘相对支撑柱下移，至取样部与第二连接部脱离连接，且与第一连接部连接；滑盘下移过程中所述第一弹簧被压缩，送取样机构上移至锁紧罩与滑盘脱离抵接时，被压缩的第一弹簧复位过程中驱动滑盘上移至位于原位。

8、可选地，取样部为沿夹持部周向间隔设置的多个定位杆，

9、第一连接部为开设于锁紧罩底壁上的多个第一卡槽，第一卡槽沿锁紧罩壁厚方向延伸至贯穿锁紧罩的内外侧壁，多个第一卡槽与多个定位杆一一对应，第一卡槽与对应的定位杆配合；

10、第二连接部为开设于滑盘顶壁边缘的多个第二卡槽，多个第二卡槽与多个定位杆对应，且第二卡槽与对应的定位杆配合。

11、可选地，滑盘顶壁边缘向上延伸形成支撑环，第二卡槽开设于支撑环  的顶壁上，且沿支撑环壁厚方向延伸至贯穿支撑环的内外侧壁。

12、可选地，支撑柱的侧壁上部径向向外延伸形成限位部，滑盘处于原位时，限位部位于支撑环内且与滑盘抵接。

13、可选地，支撑结构还包括导向柱，导向柱竖直固定于置物架上，其上部穿过滑盘。

14、可选地，限位部底壁开设有限位槽，导向柱的上部伸入限位槽内。

15、可选地，第一卡槽的两个侧壁上均开设有容置槽，容置槽内设有钢珠和第二弹簧，第二弹簧位于钢珠和容置槽的槽底壁之间，钢珠部分伸入第一卡槽内，送取样机构下移至定位杆伸入相应的第一卡槽内时，定位杆与对应的钢珠抵接旦在继续下移过程中将钢珠压入容置槽内，并压缩对应的第二弹簧。

16、可选地，锁紧罩的内壁顶部与半球谐振子的锚杆对应的位置设有抓卡，半球谐振子的锚杆在送取样机构下移过程中卡入所述抓卡中。

17、可选地，送取样机构还包括密封罩，密封罩用于与等离子调平设备的真空腔体密封可拆卸相连，取样杆穿过所述密封罩，且可相对密封罩上下移动，密封罩的顶部设有锁紧结构，锁紧结构用于将取样杆和密封罩可拆卸相连。

18、可选地，密封罩上开设有供取样杆穿过的第一通孔，第一通孔内设有缓冲胶套。

19、与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

20、本实用新型采用定位杆+卡槽形式，配合下压滑盘，即可轻松实现半球谐振子的快速取样，操作简单方便。

1.一种半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，包括夹持机构（1）、送取样机构（2）和支撑结构（3），

2.根据权利要求1所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，取样部（12）为沿夹持部（11）周向间隔设置的多个定位杆，

3.根据权利要求2所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，滑盘（32）顶壁边缘向上延伸形成支撑环（322），第二卡槽开设于支撑环（322）的顶壁上，且沿支撑环（322）壁厚方向延伸至贯穿支撑环（322）的内外侧壁。

4.根据权利要求3所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，支撑柱（33）的侧壁上部径向向外延伸形成限位部（331），滑盘（32）处于原位时，限位部（331）位于支撑环（322）内且与滑盘（32）抵接。

5.根据权利要求4所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，支撑结构（3）还包括导向柱（35），导向柱（35）竖直固定于置物架（31）上，其上部穿过滑盘（32）。

6.根据权利要求5所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，限位部（331）底壁开设有限位槽，导向柱（35）的上部伸入限位槽内。

7.根据权利要求2-6任一项所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，第一卡槽的两个侧壁上均开设有容置槽（222），容置槽（222）内设有钢珠（223）和第二弹簧（224），第二弹簧（224）位于钢珠（223）和容置槽（222）的槽底壁之间，钢珠（223）部分伸入第一卡槽内，送取样机构（2）下移至定位杆伸入相应的第一卡槽内时，定位杆与对应的钢珠（223）抵接旦在继续下移过程中将钢珠（223）压入容置槽（222）内，并压缩对应的第二弹簧（224）。

8.根据权利要求2-6任一项所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，锁紧罩（22）的内壁顶部与半球谐振子（4）的锚杆（41）对应的位置设有抓卡（225），半球谐振子（4）的锚杆（41）在送取样机构（2）下移过程中卡入所述抓卡（225）中。

9.根据权利要求2-6任一项所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，送取样机构（2）还包括密封罩（23），密封罩（23）用于与等离子调平设备的真空腔体密封可拆卸相连，取样杆（21）穿过所述密封罩（23），且可相对密封罩（23）上下移动，密封罩（23）的顶部设有锁紧结构（24），锁紧结构（24）用于将取样杆（21）和密封罩（23）可拆卸相连。

10.根据权利要求9所述的半球谐振子调平用送取样装置，其特征在于，密封罩（23）上开设有供取样杆（21）穿过的第一通孔，第一通孔内设有缓冲胶套（25）。