一种表压传感器的制作方法

本申请涉及压力传感器，具体涉及一种表压传感器。

背景技术：

1、技术背景：为了避免压力敏感元件免受环境中湿气或其他腐蚀性成分的腐蚀，压力传感器特别是表压传感器需要使用围框将压力敏感元件围起并灌注保护凝胶。另一方面，为避免除压力敏感元件外其他电子元件的腐蚀，可以通过将腔体隔断以进一步保护其他电子元件。例如us6993976b2通过上盖内侧形成的的平直筋部与电路板之间通过密封胶进行密封，这样设置的电路板与压力引入通道之间难以做到密封，或密封较易在使用过程中因振动等因素被破坏。为此，cn118999880a公开了一种表压传感器，其通过一体连接于上盖的一圈管体轴向地密封粘接于基板上来使环境参考压力直接且密封地连接至基板，从而避免环境压力中的水汽腐蚀其他电子元件。然而，在使用过程中发现，在振动条件下，管体有自基板上脱落而导致密封失效的风险。而且,防尘盖与上盖朝外凸出的空心柱体的外壁之间卡接，需要确保较高的公差精度，以保证最终正确配合的同时防尘盖能够顺利地套接于空心柱体外部。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本申请提供了一种表压传感器，以在保证环境参考压力直接且密封地连通至基板，同时降低该密封在振动条件下失效的风险。

2、一种表压传感器，其包括：

3、外壳，其内部围成安装腔，其具有内侧一端连通至所述安装腔用于引入待测介质的压力引入通道；

4、密封地穿过所述外壳的由弹性材料制成的柱塞，其具有至少部分地定义用于引入环境介质的参考压力通道的纵向延伸的通孔；

5、封闭于所述压力引入通道内侧一端的压力测量组件，包括接收所述待测介质之压力及所述环境介质之压力的压力芯片、包围所述压力芯片的围框以及填充于所述围框内并至少覆盖所述压力芯片的软凝胶；

6、及由所述柱塞自所述通孔的周围一体地延伸出的一圈密封裙边，其朝内侧密封地且弹性地抵压于所述围框的轴向一端。

7、优选地，所述密封裙边至少包括横向延伸部，其内侧一端一体地连接至所述柱塞的内侧一端，其外侧部分密封地抵压于所述围框的轴向一端。

8、优选地，所述密封裙边的外侧部分上形成部分地收纳所述围框的对应的轴向一端的一圈密封槽。

9、优选地，所述密封裙边的外端具有一侧表面定义了所述密封槽之外侧内壁的外包部。

10、优选地，所述外包部贴合于所述围框的外侧壁。

11、优选地，所述参考压力通道上设置有用于过滤环境介质的防水透气膜。

12、优选地，还包括从所述外壳的外部与所述外壳的外壁之间形成防尘间隙的防尘盖，所述防尘盖的内壁至少部分地定义了所述参考压力通道的中间部分，所述中间部分的外端连通至所述防尘间隙。

13、优选地，所述防尘盖包括朝内间隔地正对于所述柱塞的主体部及由所述主体部的外周缘朝所述外壳一侧延伸形成的壁部；所述壁部的相应一端与所述外壳的外壁之间留有所述防尘间隙。

14、优选地，所述主体部的中部朝所述外壳纵向延伸形成密封地插入所述通孔内的筒部，所述筒部的内腔轴向地连通至所述通孔，且其位于所述通孔外部的侧壁上设有朝外连通至所述中间部分的连通口；所述防水透气膜固定地覆盖于所述连通口的外端。

15、优选地，所述柱塞的轴向外端端面朝内凹陷形成凹腔，所述防水透气膜至少部分地位于所述凹腔内。

1.一种表压传感器(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述密封裙边(33)至少包括横向延伸部(331)，其内侧一端一体地连接至所述柱塞(32)的内侧一端，其外侧部分密封地抵压于所述围框(23)的轴向一端。

3.根据权利要求2所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述密封裙边(33)的外侧部分上形成部分地收纳所述围框(23)的对应的轴向一端的一圈密封槽(33a)。

4.根据权利要求3所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述密封裙边(33)的外端具有一侧表面定义了所述密封槽(33a)之外侧内壁的外包部(332)。

5.根据权利要求4所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述外包部(332)贴合于所述围框(23)的外侧壁。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述参考压力通道(30)上设置有用于过滤环境介质的防水透气膜(34)。

7.根据权利要求6所述的表压传感器(100)，其特征在于，还包括从所述外壳(1)的外部与所述外壳(1)的外壁之间形成防尘间隙(30a)的防尘盖(31)，所述防尘盖(31)的内壁至少部分地定义了所述参考压力通道的中间部分，所述中间部分的外端连通至所述防尘间隙(30a)。

8.根据权利要求7所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述防尘盖(31)包括朝内间隔地正对于所述柱塞(32)的主体部(311)及由所述主体部(311)的外周缘朝所述外壳(1)一侧延伸形成的壁部(312)；所述壁部(312)的相应一端与所述外壳(1)的外壁之间留有所述防尘间隙(30a)。

9.根据权利要求8所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述主体部(311)的中部朝所述外壳(1)纵向延伸形成密封地插入所述通孔(32a)内的筒部(313)，所述筒部(313)的内腔(313a)轴向地连通至所述通孔(32a)，且其位于所述通孔(32a)外部的侧壁上设有朝外连通至所述中间部分的连通口(313b)；所述防水透气膜(34)固定地覆盖于所述连通口(313b)的外端。

10.根据权利要求9所述的表压传感器(100)，其特征在于，所述柱塞(32)的轴向外端端面朝内凹陷形成凹腔(32d)，所述防水透气膜(34)至少部分地位于所述凹腔(32d)内。