一种用于气体杆芯片的对齐装置的制作方法

本申请涉及电镜领域，尤其是涉及一种用于气体杆芯片的对齐装置。

背景技术：

1、气体杆是一种安装在电镜腔体内的配件，其杆体头部内置有大芯片，与杆体头部对应的盖体内置有小芯片，在气体杆自身的装配过程中，需要调节盖体和杆体的相对位置，以将大芯片和小芯片对齐，并且调整距离精度小于0.2mm。目前，通常在放大镜的辅助下手动调节盖体和杆体的相对位置，两个芯片的对齐精度较低，并且不利于保持芯片所处环境的洁净度。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种用于气体杆芯片的对齐装置，以解决现有手动对齐气体杆内芯片的方式精度较低以及无法保持芯片所处环境的洁净度的问题。

2、根据上述目的，本实用新型提供一种用于气体杆芯片的对齐装置，其中，所述用于气体杆芯片的对齐装置包括：

3、基座；

4、限位组件，形成有与气体杆的杆体对应的第一限位部、与所述气体杆的盖体对应的第二限位部，所述杆体设置有第一芯片，所述盖体设置有第二芯片；

5、微调组件，包括支撑部、调节部和驱动机构，所述支撑部与所述基座对应刚性连接，所述第一限位部设置于所述支撑部的顶部；所述调节部与所述基座活动连接，所述第二限位部设置于所述调节部的顶部，通过所述驱动机构能够带动所述调节部、所述第二限位部以及所述盖体相对于所述杆体同步位移；

6、检测组件，形成有与所述第一芯片以及所述第二芯片对应的检测端和与所述检测端对应的显示端。

7、优选地，所述微调组件包括调节板，所述调节板的中央处形成为所述支撑部，所述调节板的外端形成所述调节部，以使得所述支撑部、所述调节部以散射式结构分布，所述调节部环绕所述支撑部设置。

8、优选地，沿所述支撑部和所述调节部的分布方向，所述调节部靠近所述支撑部的内端形成有微调部；所述微调部包括多个条状的通孔，多个所述通孔组成类回字型结构。

9、优选地，所述调节板通过支撑块与所述基座对应连接，所述支撑块对应设置于所述支撑部的底部，以使得所述调节部悬空设置于所述基座的上方。

10、优选地，所述驱动机构包括设置于所述基座的顶部的壳体和与所述壳体对应转动连接的动力部，所述动力部形成有多个动力输入端和一个动力输出端，所述动力输出端与所述调节部远离所述支撑部的外端对应连接。

11、优选地，所述动力部包括多个分别与所述壳体对应转动连接的传动轴，每个所述传动轴的外侧部套设有齿轮，并且沿所述传动轴的排布方向，多个所述齿轮顺次啮合；

12、设定位于所述传动轴排布方向的两端的所述传动轴分别为第一传动轴和第二传动轴，所述第一传动轴或所述第二传动轴的靠近所述调节部的一端形成为所述动力输出端，所述第一传动轴和所述第二传动轴远离所述调节部的一端形成为所述动力输入端。

13、优选地，所述限位组件包括固定于所述支撑部的顶部的托块，所述托块的顶部形成有与所述杆体对应的限位槽，以作为所述第一限位部；

14、所述托块、所述支撑部形成有与所述杆体内部的所述第一芯片对应的第一透光孔。

15、优选地，所述限位组件包括固定于所述调节部的顶部的压板，所述压板的底部形成有与所述盖体的装配孔对应的限位柱，以作为所述第二限位部；

16、所述压板形成有与所述盖体内部的所述第二芯片对应的第二透光孔。

17、优选地，所述检测组件包括显微镜，所述显微镜通过移动机构与所述基座对应连接；所述显微镜的镜头端形成为所述检测端。

18、优选地，所述检测组件还包括与所述显微镜对应电连接或通讯连接的显示屏，以作为所述显示端。

19、根据本实用新型的用于气体杆芯片的对齐装置，其通过基座集成有限位组件和微调组件，通过限位组件所形成的第一限位部和第二限位部能够分别将气体杆的杆体和盖体固定，第一限位部设置于微调组件的支撑部的顶部，第二限位部设置于微调组件的调节部的顶部；进一步地，该支撑部与基座刚性连接，调节部与基座活动连接，如此通过驱动机构则能够带动调节部、第二限位部以及盖体（相对于被固定的杆体）同步位移。此外，本装置还装配有检测组件，其形成有与气体杆内的芯片对应的检测端，和能够显示检测端所检测影像的显示端，以便于实时监测芯片是否对齐。

20、如此，通过限位组件、微调组件以及检测组件即能够实现气体杆芯片的精准对齐，相较于手动对齐的方式，本装置调节精度较高，并且由于操作人员与气体杆不产生接触，能够有效保持芯片所处环境的洁净度。

21、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

1.一种用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述用于气体杆芯片的对齐装置包括：

2.根据权利要求1所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述微调组件包括调节板，所述调节板的中央处形成为所述支撑部，所述调节板的外端形成所述调节部，以使得所述支撑部、所述调节部以散射式结构分布，所述调节部环绕所述支撑部设置。

3.根据权利要求2所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，沿所述支撑部和所述调节部的分布方向，所述调节部靠近所述支撑部的内端形成有微调部；所述微调部包括多个条状的通孔，多个所述通孔组成类回字型结构。

4.根据权利要求2所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述调节板通过支撑块与所述基座对应连接，所述支撑块对应设置于所述支撑部的底部，以使得所述调节部悬空设置于所述基座的上方。

5.根据权利要求2所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述驱动机构包括设置于所述基座的顶部的壳体和与所述壳体对应转动连接的动力部，所述动力部形成有多个动力输入端和一个动力输出端，所述动力输出端与所述调节部远离所述支撑部的外端对应连接。

6.根据权利要求5所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述动力部包括多个分别与所述壳体对应转动连接的传动轴，每个所述传动轴的外侧部套设有齿轮，并且沿所述传动轴的排布方向，多个所述齿轮顺次啮合；

7.根据权利要求2所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述限位组件包括固定于所述支撑部的顶部的托块，所述托块的顶部形成有与所述杆体对应的限位槽，以作为所述第一限位部；

8.根据权利要求2所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述限位组件包括固定于所述调节部的顶部的压板，所述压板的底部形成有与所述盖体的装配孔对应的限位柱，以作为所述第二限位部；

9.根据权利要求1所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述检测组件包括显微镜，所述显微镜通过移动机构与所述基座对应连接；所述显微镜的镜头端形成为所述检测端。

10.根据权利要求9所述的用于气体杆芯片的对齐装置，其特征在于，所述检测组件还包括与所述显微镜对应电连接或通讯连接的显示屏，以作为所述显示端。