探针的制作方法

本发明涉及一种用于检查对象物的电特性的检查的探针。

背景技术：

1、为了在晶圆状态下检查半导体集成电路等检查对象物的电特性，使用包含探针的电连接装置。在使用了探针的检查中，探针的一端部与检查对象物的电极接触，探针的另一端部与配置于电连接装置所包含的基板的端子(以下也称为“焊盘”)接触。焊盘与测试器等检查装置电连接。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2018-4260号公报

技术实现思路

1、为了准确地进行检查对象物的电特性的检查，需要将检查对象物与焊盘经由探针稳定地电连接。因此，使用包括螺旋状的螺旋弹簧部以在轴向上具有弹性的探针是有效的，但由于电流在螺旋弹簧部中流动，因此探针的电流路径变长。其结果，探针的电阻增大，电特性的测定精度降低。另外，存在在螺旋弹簧部产生压曲的问题。

2、鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种探针，其具有螺旋弹簧部，能够抑制电阻的增大和压曲的产生。

3、本发明的一个技术方案所涉及的探针具备：顶端部；弹簧部，其通过多个螺旋弹簧部经由不具有弹性的连结部沿轴向连结而成；基端部；以及电流路径构件，其配置于弹簧部的内侧，将顶端部与基端部电连接。探针在从轴向观察时为具有四个侧面的矩形形状，在顶端部、基端部以及连结部中的至少任一者形成有凹部，在弹簧部沿轴向收缩时电流路径构件的端部插入该凹部。

4、根据本发明，能够提供一种探针，其具有螺旋弹簧部，能够抑制电阻的增大和压曲的产生。

1.一种探针，其用于检查对象物的电特性的检查，其中，

2.根据权利要求1所述的探针，其中，

3.根据权利要求1所述的探针，其中，

4.根据权利要求3所述的探针，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的探针，其中，

6.根据权利要求1至4中任一项所述的探针，其中，

7.根据权利要求6所述的探针，其中，

8.根据权利要求1至4中任一项所述的探针，其中，