具有自动拉出功能的DDR基板内存模块测试装置的制作方法

本发明涉及半导体测试装置，更具体地，涉及一种应用于测试ddr（双倍数据速率，double data rate）内存基板的测试装置的机构。近年来，随着半导体产业的高度化及高集成化，为确保内存模块的性能及可靠性，测试工序的重要性日益凸显。特别是对于ddr内存基板，由于高速数据处理特性，测试过程中的接触稳定性及插拔可靠性成为非常重要的因素。在此类测试工序中，需要将ddr基板插入测试槽中以测量电气特性，然后快速且稳定地分离已完成测试的基板，在此过程中，防止基板损伤及提高作业效率已成为重要的技术问题。因此，本发明涉及一种能够在ddr基板稳定安装于槽中的状态下，在测试完成后自动拉出的机构，特别是通过提供能够选择性地或同时拉出插入多个槽中的ddr基板的结构，属于提高测试工序效率的。

背景技术：

1、一般来说，用于测试ddr内存基板的测试装置配备有多个槽，以同时安装和测试多个基板，各个槽形成有插座结构，以使基板的金手指（golden finger）接触。

2、在此类结构中，为了在测试完成后将ddr基板从槽中分离，一直采用作业人员直接抓住基板拉出，或使用单独的治具进行拆卸的方式。然而，这种方式可能因作业人员的熟练程度而导致插拔质量不一，且不均匀的力作用于基板，存在触点损伤或基板变形的风险。

3、此外，将安装在多个槽中的ddr基板逐一分离的过程会导致作业时间增加的问题，在测试工序的自动化及生产效率提高方面存在效率低下的问题。特别是，若无法以均匀的力从槽的两侧同时抬起基板，则可能发生基板倾斜，从而导致插座触点受损。

4、另一方面，部分自动化装置中曾提出用于推出基板的结构，但此类结构仅在特定位置传递动力或仅以单一方向操作，难以同时控制多个基板，且缺乏选择性地仅拉出部分基板的功能，存在局限性。

5、此外，现有结构中缺乏用于同时拉出多个基板的联动结构，或者即使实现联动，结构复杂导致维护困难。而且，基板拉出后的复位动作不顺畅，在重复作业中可靠性降低。

6、因此，需要一种新型结构的测试机构，能够稳定地支撑多个ddr基板的同时以均匀的力从槽中拉出，根据需要能够同时或选择性地拉出多个基板，并且能够与自动化装置联动以高效驱动。

7、【现有技术文献】

8、【专利文献】

9、（专利文献）kr授权专利第10-2469398号

10、（专利文献）kr授权专利第10-1101273号

11、（专利文献）kr授权专利第10-0970898号

12、（专利文献）kr授权专利第10-2753127号

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、本发明为解决上述问题，目的在于提供一种自动拉出结构，能够在ddr基板稳定安装于槽中的状态下，在测试完成后以均匀的力快速拉出。

3、并且，本发明的另一目的在于，通过在多个ddr基板并行排列的环境中提供能够单独或选择性地同时拉出各基板的结构，提高测试工序的效率。

4、此外，本发明的还有一目的在于，提供一种测试机构，通过利用跷跷板结构和连杆结构传递拉出力，能够均匀地按压ddr基板的两侧，从而防止基板倾斜及触点损伤。

5、并且，本发明的又一目的在于，提供一种灵活的驱动结构，通过利用连接铰链销可选择性地联动多个驱动部，从而根据需要同时拉出部分或全部ddr基板。

6、更进一步地，本发明的目的在于通过将推杆配置为由致动器自动驱动，从而最小化手动操作，提高测试工序的自动化及重复可靠性。

7、本发明所要解决的技术问题不限于上述内容。

8、用于解决问题的技术方案

9、本发明为解决上述问题，可包括：测试装置本体100；槽本体200，与所述测试装置本体100结合并形成有一个槽230；以及驱动部，与所述槽230对应布置，所述驱动部被配置为根据用户的输入，将插入所述槽中的ddr基板600从槽中向上拉出。此外，通过沿均匀方向拉出ddr基板，有利于抑制基板倾斜并防止触点损伤。

10、并且，所述驱动部包括推杆300、跷跷板杆310、铰链支架350、连接杆400以及拉出连杆410，所述推杆300的一端受用户按压，另一端通过第1铰链320与跷跷板杆310的一端可转动地连接，所述跷跷板杆310的中间端通过第2铰链330可转动地支撑于铰链支架350，所述跷跷板杆310的另一端通过第3铰链340与连接杆400的一端连接；所述连接杆400的另一端推动拉出连杆410使其移动，所述拉出连杆410的一端与第1拉出杆440结合，另一端与第2拉出杆450结合，随着所述拉出连杆410移动，将所述ddr基板600向上拉出。此外，通过跷跷板结构和连杆结构传递拉出力，可实现稳定驱动，且有利于简化结构。

11、并且，所述跷跷板杆310的一端通过第1铰链320与所述推杆300连接，中间端通过第2铰链330可转动地支撑于所述铰链支架350，另一端通过第3铰链340与所述连接杆400连接，从而根据所述推杆300的按压进行跷跷板运动。此外，通过跷跷板运动高效传递力，有利于提高驱动响应性。

12、并且，所述铰链支架350与所述测试装置本体100结合，所述铰链支架350的一侧通过第2铰链330与所述跷跷板杆310的中间端结合，从而可转动地支撑所述跷跷板杆310。此外，通过支撑跷跷板杆的稳定转动，有利于确保驱动稳定性。

13、并且，所述连接杆400的另一端形成有端部402，所述拉出连杆410形成有容纳所述端部402的槽部412，所述端部402以与所述槽部412接触的状态结合，使得所述拉出连杆410随所述连接杆400的移动而一起移动，所述端部402能够在所述槽部412内可滑动，同时被限制在所述槽部412内以免脱离。此外，通过滑动接触结构，有利于实现顺畅驱动和确保耐久性。

14、并且，所述拉出连杆410与回位弹簧420结合，所述测试装置本体100形成有导孔430，所述回位弹簧420可上下移动地插入所述导孔430，当所述推杆300按压时，所述回位弹簧420向所述导孔430内部移动并压缩所述回位弹簧420，当所述推杆300的按压解除时，通过所述回位弹簧420的弹性恢复力向下移动，使所述拉出连杆410回到原位。此外，通过弹性复位结构，有利于在重复操作时确保稳定性和可靠性。

15、并且，所述第1拉出杆440和第2拉出杆450分别包括第1上表面部442及第2上表面部452，所述测试装置本体100形成有供所述第1拉出杆440可上下移动地插入的第1拉出孔460以及所述第2拉出杆450可上下移动地插入的第2拉出孔470，所述第1拉出杆440的第1上表面部442和所述第2拉出杆450的第2上表面部452按压形成于ddr基板600的第1支撑台阶部620和第2支撑台阶部630，以将所述ddr基板600从槽中向上拉出。此外，通过两侧加压结构，可实现均匀拉出，有利于防止基板损伤。

16、并且，所述槽本体200可包括多个左侧槽本体210-1、210-2、…、210-n和多个右侧槽本体220-1、220-2、…、220-n，所述多个左侧槽本体210-1、210-2、…、210-n彼此间隔开并并行排列，各个槽本体分别形成有一个第1-1槽231-1、第1-2槽231-2、…、第1-n槽231-n，所述多个右侧槽本体220-1、220-2、…、220-n彼此间隔开并并行排列，各个槽本体分别形成有一个第2-1槽232-1、第2-2槽232-2、…、第2-n槽232-n。此外，通过多个槽可同时处理多个基板，有利于提高作业效率。

17、并且，可包括：第1-1推杆311-1至第1-n推杆311-n和第1-1跷跷板杆321-1至第1-n跷跷板杆321-n，分别与所述第1-1槽231-1至第1-n槽231-n对应；连接杆400，分别设置于所述第1-1跷跷板杆321-1至第1-n跷跷板杆321-n；拉出连杆410，由所述连接杆上下移动；拉出杆440、450，设置于所述拉出连杆两侧。

18、并且，可包括：第2-1推杆312-1至第2-n推杆312-n和第2-1跷跷板杆322-1至第2-n跷跷板杆322-n，分别与所述第2-1槽232-1至第2-n槽232-n分别对应；连接杆400，分别设置于所述第2-1跷跷板杆322-1至第2-n跷跷板杆322-n；拉出连杆410，由所述连接杆上下移动；拉出杆440、450，设置于所述拉出连杆两侧。此外，本发明具有各个槽可独立驱动，从而可实现选择性拉出控制的优点。

19、其中，所述推杆300是单独存在时的指称，所述第1-1推杆311-1至第1-n推杆311-n和第2-1推杆312-1至第2-n推杆312-n是存在多个推杆时的指称，功能相同。

20、并且，所述跷跷板杆310是单独存在时的指称，所述第1-1跷跷板杆321-1至第1-n跷跷板杆321-n及第2-1跷跷板杆322-1至第2-n跷跷板杆322-n是存在多个跷跷板杆时的指称，功能相同。

21、并且，所述槽230是单独存在时的指称，所述第1-1槽231-1至第1-n槽231-n及所述第2-1槽232-1至第2-n槽232-n是存在多个槽时的指称，功能相同。

22、并且，所述槽本体200是单独存在时的指称，左侧槽本体210-1、210-2、…、210-n和右侧槽本体220-1、220-2、…、220-n是存在多个槽本体时的指称，功能相同。

23、其中，若存在多个推杆或跷跷板杆，则相应地第1拉出杆440和第2拉出杆450以及第1拉出孔460和第2拉出孔470也存在多个，此乃理所当然，其他构成当然也存在多个。

24、并且，所述测试装置本体100可设置有设置于左侧的第1-1引导部241和第1-2引导部242，所述第1-1引导部241形成有第1-1-1导槽241-1、第1-1-2导槽241-2、…、第1-1-n导槽241-n，所述第1-2引导部242形成有第1-2-1导槽242-1、第1-2-2导槽242-2、…、第1-2-n导槽242-n，所述测试装置本体100可设置有设置于右侧的第2-1引导部251及第2-2引导部252，所述第2-1引导部251形成有第2-1-1导槽251-1、第2-1-2导槽251-2、…、第2-1-n导槽251-n，所述第2-2引导部252形成有第2-2-1导槽252-1、第2-2-2导槽252-2、…、第2-2-n导槽252-n。此外，通过导槽结构，有利于在基板插入及拉出时确保位置对准稳定性。

25、并且，所述第1-1跷跷板杆321-1至第1-n跷跷板杆321-n分别形成有第1-1铰链511-1至511-n、第1-2铰链521-1至521-n及第1-3铰链531-1至531-n，所述第1-1铰链设置有第1-1铰链销512-1至512-n，所述第1-2铰链设置有第1-2铰链销522-1至522-n，所述第1-3铰链设置有第1-3组装部532-1至532-n，所述第2-1跷跷板杆322-1至第2-n跷跷板杆322-n分别形成有第2-1铰链611-1至611-n、第2-2铰链621-1至621-n及第2-3铰链631-1至631-n，所述第2-1铰链设置有第2-1铰链销612-1至612-n，所述第2-2铰链设置有第2-2铰链销622-1至622-n，所述第2-3铰链设置有第2-3组装部632-1至632-n。

26、由此，由于第3铰链未安装铰链销，预计可减少结构干涉并提高组装稳定性。

27、其中，所述第1铰链320是单独存在时的指称，第1-1铰链511-1至511-n及第2-1铰链611-1至611-n是存在多个第1铰链时的指称，功能相同。

28、并且，所述第2铰链330是单独存在时的指称，第1-2铰链521-1至521-n及第2-2铰链621-1至621-n是存在多个第2铰链时的指称，功能相同。

29、并且，所述第3铰链340是单独存在时的指称，第1-3铰链531-1至531-n及第2-3铰链631-1至631-n是存在多个第3铰链时的指称，功能相同。

30、进一步地，连接铰链销580可被配置为将所述第1-1铰链销或第2-1铰链销彼此连接，以使多个跷跷板杆同时转动。

31、由此，可通过一个驱动输入同时操作与多个槽对应的跷跷板杆，预计可提高驱动效率。

32、并且，所述连接铰链销580可被配置为选择性地仅连接所述第1-1铰链销或第2-1铰链销中的一部分铰链销，通过插入和分离仅使选定的跷跷板杆同时运动。

33、由此，可仅对需要的位置进行选择性操作，预计可防止不必要的驱动。

34、并且，所述连接铰链销580可被配置为插入以贯穿排列成一列的多个第1-1铰链销或多个第2-1铰链销，或者选择性地连接多个第1-1铰链销或多个第2-1铰链销中的至少一部分，所述连接铰链销580选择性地插入相邻铰链销之间或彼此间隔的铰链销之间，通过一个推杆的按压，使选定的多个跷跷板杆同时转动或操作。

35、由此，可实现多种组合的同时驱动配置，预计可提高系统运行灵活性。

36、并且，所述推杆300、311-1至311-n、312-1至312-n可被配置为由致动器驱动，而不是由用户手动按压，根据所述连接铰链销580的结合状态，可使左侧或右侧的跷跷板杆单独或选择性地同时驱动。此外，通过自动驱动结构，有利于提高重复作业的效率和可靠性。

37、并且，所述拉出连杆410设置有多个，包括：分别设置于所述第1-1跷跷板杆321-1至第1-n跷跷板杆321-n的连接杆400以及由所述连接杆上下移动的左拉出连杆410-1；分别设置于所述第2-1跷跷板杆322-1至第2-n跷跷板杆322-n的连接杆400以及由所述连接杆上下移动的右拉出连杆410-2，所述左拉出连杆410-1和所述右拉出连杆410-2可分开形成或一体形成。

38、通过这种结构，在移动所述第1-1跷跷板杆321-1至第1-n跷跷板杆321-n和所述第2-1跷跷板杆322-1至第2-n跷跷板杆322-n时，有利于将左拉出连杆410-1和右拉出连杆410-2分开驱动，或同时一体驱动。

39、发明的效果

40、根据本技术的实施例，由于能够在ddr基板安装于槽中的状态下均匀按压两侧并向上拉出，因此预期可获得防止基板倾斜并最小化触点损伤的效果。

41、此外，通过由跷跷板杆、连接杆及拉出连杆构成的连杆结构，拉出力被高效传递，预期可获得稳定驱动和结构简化的效果。

42、此外，第1拉出杆及第2拉出杆的上表面部同时按压ddr基板的支撑台阶部，从而以均匀的力进行拉出，预期可获得防止基板变形及损伤的效果。

43、此外，通过包含导向弹簧的结构，拉出后能够自动返回到原位，预期可获得可在重复作业时提高稳定性和可靠性的效果。

44、此外，多个槽本体并行排列且与各个槽对应的驱动部独立构成，从而可同时处理多个ddr基板，预期可获得提高作业效率的效果。

45、此外，通过利用连接铰链销选择性地连接多个跷跷板杆，可实现部分或全部驱动，预期可获得灵活应对各种运行条件的效果。

46、此外，通过连接铰链销可选择性地联动相邻或间隔的驱动部，预期可获得确保仅选择所需区间进行驱动的控制灵活性的效果。

47、此外，推杆由致动器驱动，预期可获得最小化手动操作，自动化测试工序中提高重复精度的效果。

48、此外，整体结构以机械连杆方式实现，预期可获得便于维护且装置耐久性提高的效果。