减振Z轴装置和三坐标测量机的制作方法

本申请涉及测量设备，具体涉及一种减振z轴装置和三坐标测量机。

背景技术：

1、三坐标测量机作为高精度测量设备，在测量过程中的运行平稳性对于测量机的测量精度具有至关重要的作用。目前，在常见的三坐标测量机中，通常采用固定设置的z轴固定架和活动设置的z轴机构，通过z轴机构带动测量器沿z轴运动，以对待测物进行测量。在进行测量时，可能因为环境影响、电机工作振动或运动机构加减速运动的惯性影响而引起z轴机构以及z轴固定架产生振动，进而造成z轴机构底部的测量器的不稳定，影响测量精度和测量结果准确性。

技术实现思路

1、为了解决现有三坐标测量机中z轴装置容易产生振动、影响测量精度和测量结果的准确性的问题，本申请提供一种减振z轴装置和三坐标测量机。

2、本申请第一方面技术方案的实施例中提供了一种减振z轴装置，包括：z轴固定架，z轴固定架沿z轴方向设置；z轴机构，与z轴固定架活动连接，并能够相对于z轴固定架沿z轴运动，z轴机构的底端用于安装测量器；以及减振组件，包括第一弹性件和刚性件，第一弹性件连接于z轴固定架的顶端，刚性件设于第一弹性件的上方，且刚性件的至少部分底壁与第一弹性件连接或保持抵接状态，刚性件能够在弹性件的带动下产生阻尼作用，以抵消z轴固定架的至少部分振动。

3、在本申请进一步的实施例中，第一弹性件包括多个第一弹性块，多个第一弹性块均与刚性件连接或保持抵接状态；其中，多个第一弹性块沿x轴方向或y轴方向间隔设置，或多个第一弹性块分别与刚性件在周向上的多个角点位置对应设置，以使多个第一弹性块之间形成散热间隙。

4、在本申请进一步的实施例中，第一弹性件包括一个第一弹性块，第一弹性块具有沿x轴方向或y轴方向贯通的第一散热开口。

5、在本申请进一步的实施例中，第一弹性块在z轴方向上的尺寸小于第一弹性块在x轴上的尺寸，且小于第一弹性块在y轴方向上的尺寸。

6、在本申请进一步的实施例中，在x轴方向上和/或y轴方向上，第一弹性件相对于刚性件对称设置；和/或，减振组件在z轴方向上与z轴机构相对设置。

7、在本申请进一步的实施例中，减振组件还包括：第二弹性件，设置于刚性件的顶端；盖压件，设置于第二弹性件的顶端，盖压件在x轴方向上的两端和/或在y轴方向上的两端具有伸出部，伸出部相对于刚性件向外伸出，且伸出部上具有沿z轴方向贯通的调节孔；以及调节螺栓，调节螺栓穿设于调节孔中，并与z轴固定架顶端螺纹连接，调节螺栓用于调节盖压件对第一弹性件以及第二弹性件的压紧程度。

8、在本申请进一步的实施例中，盖压件在x轴方向上的两端和/或在y轴方向上的两端具有挡板结构，挡板结构沿z轴方向朝向z轴固定架的顶端延伸，且挡板结构遮挡第二弹性件以及刚性件的侧壁。

9、在本申请进一步的实施例中，第二弹性件包括多个第二弹性块，多个第二弹性块沿x轴方向或y轴方向间隔设置，或多个第二弹性块分别与刚性件在周向上的多个角点位置对应设置，以使多个第二弹性块之间形成散热间隙；或，第二弹性件包括一个第二弹性块，第二弹性块具有沿x轴方向或y轴方向贯通的第二散热开口。

10、在本申请进一步的实施例中，第二弹性块在z轴方向上的尺寸小于在第二弹性块在x轴上的尺寸，且小于第二弹性块在y轴方向上的尺寸；和/或，在x轴方向上和/或y轴方向上，盖压件相对于刚性件对称设置，且第二弹性件相对于刚性件对称设置。

11、本申请第二方面技术方案的实施例中提供了一种三坐标测量机，包括：底座平台，底座平台具有沿y轴方向设置的y轴滑轨；y轴滑架装置，y轴滑架装置设于底座平台上，并与y轴滑轨滑动连接，y轴滑架装置的顶部具有滑动连接的x轴滑轨和x轴滑架；上述第一方面任一实施例中的减振z轴装置，设于底座平台的上方，且减振z轴装置的z轴固定架与x轴滑架连接；以及测量器，测量器连接于z轴机构的底端，用于对置于底座平台上的待测物进行测量。

12、本申请上述技术方案的有益效果：

13、根据本申请中的技术方案，通过对结构的改进和优化，利用位于z轴固定架顶部的减振组件，以在z轴固定架产生振动时，利用弹性件带动刚性件产生阻尼作用，以抵消z轴固定架产生的至少部分振动，使得减振z轴装置快速恢复稳定，并将振动能量通过第一弹性件的弹性形变转化为热量散失，从而减小振动对测量器的不利影响，有利于提高测量精度及测量结果的准确性。

1.一种减振z轴装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的减振z轴装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的减振z轴装置，其特征在于，

4.根据权利要求2或3所述的减振z轴装置，其特征在于，

5.根据权利要求1至3任一项所述的减振z轴装置，其特征在于，

6.根据权利要求1至3任一项所述的减振z轴装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的减振z轴装置，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的减振z轴装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的减振z轴装置，其特征在于，

10.一种三坐标测量机，其特征在于，包括：