插板阀及真空设备的制作方法

本申请涉及光伏和半导体，尤其涉及一种插板阀及真空设备。

背景技术：

1、常规插板阀启闭过程中，阀板与阀体底座始终处于贴合摩擦状态，容易导致密封面磨损，影响使用寿命及密封效果。

2、多腔室串联的真空镀膜设备，在镀膜过程中各腔室需要通过阀板进行隔离，但目前大口径腔体密封及隔离比较困难，效果较差。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种插板阀及真空设备，排除了插板阀启闭时密封面之间的磨损，能够延长使用寿命和提高密封效果。

2、根据本实用新型一个方面的发明构思，提供一种插板阀，包括：阀体、阀体上盖、阀板框架、阀板导向块、阀板和动力组件。阀体包括阀腔和通道，所述通道沿第一水平方向开设且与所述阀腔连通，所述阀腔内位于所述第一水平方向的一侧具有第一密封面，所述第一水平方向为所述阀体的厚度方向。阀体上盖设置在所述阀体的上方，所述阀体上盖具有容纳腔，所述容纳腔与所述阀腔连通。阀板框架沿竖直方向可滑动设置在所述阀腔和所述容纳腔内。阀板导向块设置于所述阀板框架，所述阀板导向块上开设有导向槽。阀板，设置有导向件，所述导向件可滑动的卡嵌在所述导向槽内，使所述阀板与所述阀板框架滑动配合连接，所述阀板背离所述阀板框架的一侧具有与所述第一密封面相对的第二密封面。动力组件，被配置为驱动所述阀板框架沿竖直方向移动，以带动所述阀板在所述容纳腔和所述阀腔之间移动。其中，在所述阀板在竖直方向到达预设位置时，所述阀板导向块能够带动所述阀板沿所述第一水平方向移动，以使所述第二密封面靠近所述第一密封面以关闭所述通道，或者使所述第二密封面远离所述第一密封面以打开所述通道。

3、根据本实用新型的一些实施例，所述阀板导向块的数量包括至少两个，沿第二水平方向所述阀板框架的相对两侧分别至少设置一个所述阀板导向块，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直；所述导向件为沿所述第二水平方向延伸导向轴；所述导向槽为贯通所述阀板导向块的通孔，且所述导向槽由下往上向靠近所述第一密封面方向斜向延伸。

4、根据本实用新型的一些实施例，所述插板阀还包括第一滑轮，所述第一滑轮设置在所述阀板的底部，所述第一滑轮能够在所述阀腔的底壁沿第一水平方向移动；或者，所阀板的底部设置有沿所述第一水平方向开设的滑轨，所述阀腔的底壁固定设置有第二滑轮，所述阀板沿所述第一水平方向移动时，所述第二滑轮与所述滑轨滑动配合。

5、根据本实用新型的一些实施例，所述插板阀还包括固定件，固定件设置在所述阀板上与所述第二密封面相背的另一面上，其中，所述导向件与所述固定件连接。

6、根据本实用新型的一些实施例，所述插板阀还包括第一密封圈，第一密封圈设置在所述阀板的第二密封面上，所述第一密封圈被配置为抵靠所述第一密封面。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述插板阀还包括第二密封圈，第二密封圈设置在所述阀体上盖与所述阀体之间。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述动力组件包括固定部和自由部。固定部，设置在所述阀体上。自由部，能够在竖直方向上相对于所述固定部移动，所述自由部与所述阀板框架连接。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述阀板框架的顶部设置有能够沿第二水平方向滚动的第一导向轮和沿竖直方向滚动的第二导向轮，所述第二水平方向垂直所述第一密封面，所述第一导向轮被配置为抵靠所述阀体的顶部，所述第二导向轮被配置为抵靠所述阀体上盖的内侧壁。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述阀体的内侧面上设置有能够相对于所述阀板框架沿第二水平方向滚动的第三导向轮和沿竖直方向滚动的第四导向轮，所述第二水平方向垂直所述第一密封面，所述第三导向轮和所述第四导向轮被配置为抵靠所述阀板框架。

11、根据本实用新型第二个方面的发明构思，还提供一种真空设备，包括第一真空腔室和如前述实施例所述的插板阀，所述插板阀设置于所述第一真空腔的一侧，被配置为开启或关闭所述第一真空腔室。

12、根据本实用新型的一些实施例，真空设备包括第一真空腔室、第二真空腔室和插板阀。第二真空腔室的数量为一个或两个，所述第二真空腔室设置在所述第一真空腔室的一侧或两侧。所述插板阀设置在所述第一真空腔室与所述第二真空腔室之间，以及所述第二真空腔室远离所述第一真空腔室的一端。

13、根据本实用新型实施例的插板阀及真空设备，通过在阀板框架与阀板之间设置阀板导向块，在阀板导向块上开设导向槽，利用阀板的自身重量以及阀板框架的推动，使得阀板在启闭的时候沿垂直第一密封面方向移动一小段距离，排除了阀板垂直所述第一密封面的方向的磨损，提高了插板阀的密封效果和使用寿命。

1.一种插板阀，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，所述插板阀还包括：

5.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，所述插板阀还包括：

6.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，所述动力组件包括：

7.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，所述阀板框架的顶部设置有能够沿第二水平方向滚动的第一导向轮和沿竖直方向滚动的第二导向轮，所述第二水平方向垂直所述第一密封面，所述第一导向轮被配置为抵靠所述阀体的顶部，所述第二导向轮被配置为抵靠所述阀体上盖的内侧壁。

8.根据权利要求1所述的插板阀，其特征在于，所述阀体的内侧面上设置有能够相对于所述阀板框架沿第二水平方向滚动的第三导向轮和沿竖直方向滚动的第四导向轮，所述第二水平方向垂直所述第一密封面，所述第三导向轮和所述第四导向轮被配置为抵靠所述阀板框架。

9.一种真空设备，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于，包括：