一种集成电路板加工用蚀刻装置的制作方法

本发明涉及集成电路制造，具体涉及一种集成电路板加工用蚀刻装置。

背景技术：

1、针对现有印刷电路板（pcb）蚀刻生产过程中，现有设备通常采用开放式或半开放式的喷淋结构，导致蚀刻液挥发严重，不仅污染工作环境，更对操作人员健康构成威胁；同时，传统蚀刻装置在上料、转运及出料环节多依赖人工干预，难以在密闭空间内实现全流程自动化，既增加了人力成本，也降低了生产效率；此外，现有设备的喷淋角度多为固定式，难以根据板面蚀刻均匀性需求进行动态调节，容易造成蚀刻不均匀，影响线路板品质；且喷淋舱数量固定，无法针对单面或双面蚀刻工艺灵活切换，适应性较差；再者，现有设备各工序（如上料、蚀刻、清洗、出料）通常分置于不同工位或设备，导致空间利用率低且工序间衔接复杂；为此，亟需开发一种能够在密闭环境中完成自动上下料、转运及喷淋蚀刻，并能灵活调节喷淋扫掠范围以满足不同工艺需求的集成电路板加工用蚀刻装置，以提高生产安全性、效率及产品良率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供了一种集成电路板加工用蚀刻装置，其通过设计密闭式的安装结构，并设计上下料结构和转运结构，实现自动化、密闭式的对工件完成生产蚀刻，同时设计可调的喷淋结构，实现根据生产需求调整喷淋结构，适应不同的加工需求。

2、为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：

3、该装置包括箱体、箱盖、喷淋舱、喷嘴、上下料机构、喷淋调节机构、隔板以及送料转运机构，箱盖扣合设置在箱体的上端口上，喷淋舱为两个且均设置在箱体内，且两个喷淋舱呈上下对称设置，喷嘴为数个且为两组设置，一组的数个喷嘴呈等距排列固定设置在喷淋舱上，喷嘴与喷淋舱的内腔贯通连接，上下料机构为两组且分别设置在箱体的内部两端，用于实现待加工工件送入箱体及成品工件从箱体取出的操作，喷淋调节机构为两组且呈上下对称设置在箱体内，两个喷淋舱分别设置在两个喷淋调节机构上，用于驱动喷淋舱移动至工作位置或从工作位置移开，隔板为两组，其中一个隔板设置在另一个隔板的上方，其中一个隔板固定设置在箱体的内壁上，另一个隔板设置在箱盖的内壁上，喷淋调节机构设置在隔板与其中一个上下料机构之间，用于将箱体内部分隔为喷淋蚀刻区域与洗烘处理区域，送料转运机构设置在箱体内，且两个上下料机构分别设置在送料转运机构的两端侧方，用于在上下料机构与喷淋蚀刻区域之间转移工件，通过上述结构的协同配合，可在密闭环境中完成工件的上料、转运、喷淋蚀刻及出料全过程；

4、上下料机构包含升降台、升降电动滑台、密封座和定位环，升降台设置在箱体内，箱盖上位于升降台的上方开设有送料口，工件通过该送料口放置于升降台上，升降电动滑台固定设置在箱体的内壁上，升降台固定设置在升降电动滑台的步进座上，通过升降电动滑台驱动升降台沿竖直方向往复移动，实现工件的升降输送，密封座活动套设在升降台上，且密封座活动抵设在箱盖位于送料口侧边的内壁上，用于在升降台下降后对送料口进行封闭，定位环固定设置在密封座的上表面上，且定位环活动嵌设在送料口内，用于对放置在升降台上的工件进行定位；

5、升降台的侧板上开设有升降导向槽，密封座上固定设置有升降导向架，且升降导向架滑动设置在升降导向槽内，实现密封座与升降台之间的相对滑动导向，升降台的内壁上固定设置有升降电动推杆，且升降电动推杆的输出端固定设置在升降导向架上，用于驱动密封座相对于升降台滑动，使密封座在升降台下降过程中与工件脱离接触；

6、喷淋调节机构包含安装架、调节支撑轴、调节支撑架、调节电动推杆以及调节传动组件，安装架固定设置在箱体的内壁上，调节支撑轴为两组且呈上下排列固定设置在安装架上，调节支撑架为两个且呈上下对称设置在安装架的侧方，且两个调节支撑架分别通过轴承旋设在两个调节支撑轴上，两个喷淋舱分别设置在两个调节支撑架上，调节电动推杆为两个且均固定设置在安装架上，调节传动组件为两个且均设置在安装架上，调节电动推杆通过调节传动组件与调节支撑架配合设置，用于驱动调节支撑架绕调节支撑轴转动，从而实现喷淋舱在工作位置与待机位置之间的切换；

7、调节传动组件包含调节花键杆、调节花键套、调节曲柄、联动销杆和复位扭簧，调节花键杆通过轴承旋设在安装架上，且调节花键杆与调节电动推杆为共轴设置，调节花键杆上的键槽为螺旋设置，调节花键套固定设置在调节电动推杆的输出端上，且调节花键套活动套设在调节花键杆上，调节花键套与调节花键杆之间通过键槽配合滑动设置；调节电动推杆推动调节花键套沿轴向移动时，通过螺旋键槽的配合驱动调节花键杆旋转，调节曲柄固定设置在调节花键杆的轴端上，且调节曲柄的柄端架设在调节支撑架的与调节支撑轴连接部的侧方，用于将调节花键杆的旋转运动转化为对调节支撑架的推动，联动销杆固定设置在其中一个调节支撑架上，且联动销杆架设在另一个调节支撑架的与调节支撑轴连接部的侧方，用于在两个调节支撑架需要同步转动时传递推力，复位扭簧套设固定在调节支撑轴上，复位扭簧的活动端柱脚固定设置在调节支撑架上，用于在调节曲柄复位时带动调节支撑架返回初始位置；

8、调节支撑架上固定设置有往复支撑轴，往复支撑轴上固定设置有安装座，喷淋舱上固定设置有喷淋支撑轴，喷淋支撑轴通过轴承旋设在安装座上，实现喷淋舱相对于安装座的转动安装，调节支撑架上通过轴承旋设有往复花键杆，往复花键杆上的键槽为螺旋设置，往复花键杆与往复支撑轴之间通过伞齿轮组传动连接，调节支撑架上固定设置有往复电动推杆，往复电动推杆的输出端上固定设置有往复花键套，且往复花键套活动套设在往复花键杆上，往复花键套与往复花键杆之间通过键槽配合滑动设置，往复电动推杆推动往复花键套沿轴向移动时，驱动往复花键杆旋转，进而通过伞齿轮组带动往复支撑轴及安装座往复转动，实现喷淋舱扫掠方向的调节；

9、安装座上通过轴承旋设有喷淋花键杆，且喷淋花键杆与喷淋支撑轴之间通过直齿轮组传动连接，喷淋花键杆上的键槽呈螺旋设置，安装座上固定设置有喷淋电动推杆，喷淋电动推杆的输出轴上固定设置有喷淋花键套，喷淋花键套活动套设在喷淋花键杆上，且喷淋花键套与喷淋花键杆之间通过键槽配合滑动设置，喷淋电动推杆推动喷淋花键套沿轴向移动时，驱动喷淋花键杆旋转，进而通过直齿轮组带动喷淋支撑轴及喷淋舱往复摆动，实现喷嘴喷淋方向的扫掠；

10、送料转运机构包含送料电动滑台、送料台、翻转架、送料夹爪、送料花键杆、送料电动推杆和送料花键套，送料电动滑台固定设置在箱体内位于安装架对侧的内壁上，送料台固定设置在送料电动滑台的步进座上，通过送料电动滑台驱动送料台沿水平方向往复移动，实现工件在上下料机构与喷淋蚀刻区域之间的转移，翻转架通过转轴旋设在送料台上，送料夹爪为两个且均设置在翻转架内，用于夹持工件，送料花键杆通过轴承旋设在送料台上，且送料花键杆与翻转架的转轴之间通过直齿轮组传动连接，送料花键杆的键槽为螺旋设置，送料电动推杆固定设置在送料台上，送料花键套固定设置在送料电动推杆的输出端上，且送料花键套活动套设在送料花键杆上，送料花键套与送料花键杆之间通过键槽配合滑动设置，送料电动推杆推动送料花键套沿轴向移动时，驱动送料花键杆旋转，进而通过直齿轮组带动翻转架转动，实现送料夹爪在水平取料姿态与竖直送料姿态之间的切换；

11、送料夹爪上固定设置有夹持支撑轴，且夹持支撑轴通过轴承旋设在翻转架上，两个夹持支撑轴之间通过直齿轮组传动连接，实现两个送料夹爪的同步张合，其中一个夹持支撑轴上固定设置有夹持花键杆，且夹持花键杆的键槽呈螺旋设置，翻转架上固定设置有夹持电动推杆，夹持电动推杆的输出端上固定设置有夹持花键套，且夹持花键套活动套设在夹持花键杆上，夹持花键套与夹持花键杆之间通过键槽配合滑动设置，夹持电动推杆推动夹持花键套沿轴向移动时，驱动夹持花键杆旋转，进而通过直齿轮组带动两个夹持支撑轴同步反向旋转，实现送料夹爪的张合动作。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、本方案通过箱体与箱盖构成密闭结构，进而在其内设置喷淋舱，在箱体上设置两组上下料机构，实现将电路板物料送入箱体内进行蚀刻加工，从而在密闭环境中进行蚀刻，保证生产安全；

14、本方案通过送料转运机构配合上下料机构，实现物料的进出送料及在箱体内的移动，从而配合箱体内的喷淋舱、隔板结构，实现对物料的加工，从而完成物料的进料、蚀刻、后处理及出料；

15、本方案通过两组调节支撑架设置安装座，进而将喷淋舱设置在安装座上，从而根据物料的单面蚀刻或是双面蚀刻，在工作位上设置对应组数的喷淋舱，并通过喷淋舱的摆动，实现对物料板材的均匀喷淋覆盖，从而保证蚀刻加工质量；

16、本方案通过送料台设置翻转架，并在翻转架上设置送料夹爪，从而通过翻转架调整送料夹爪的姿态朝向，实现与升降台配合，完成物料的上下料，以及与调节支撑架配合，实现对物料的喷淋蚀刻加工。