一种具有外观检测的晶圆减薄装置的制作方法

本技术属于半导体晶圆减薄设备，特别是涉及一种具有外观检测的晶圆减薄装置。

背景技术：

1、晶圆减薄是半导体制造流程中不可或缺的关键环节，其核心目的是通过物理或化学手段降低晶圆厚度，以此满足芯片封装轻薄化、高集成度的要求，同时提升芯片的热扩散效率与机械性能，为后续封装及系统集成奠定基础。

2、当前半导体晶圆减薄工艺中，现有减薄装置在完成晶圆减薄清洗后，未设置晶圆外观检测环节，直接将减薄后晶圆移送至晶圆传送盒暂存，外观检验需待整批次所有晶圆完成减薄作业后，统一转移至专用光学显微镜设备进行集中检测。若因设备工艺参数波动、研磨耗材损耗或操作偏差等易导致晶圆在减薄环节形成缺陷，但因缺乏实时检测机制，后续同批次晶圆仍会沿用异常工艺参数继续加工，直至整批作业完成才检测发现问题。此滞后性易引发缺陷批量扩散，造成同批次不良品率上升、晶圆报废成本增加，还可能因异常工艺参数未能及时纠正，进一步影响更多批次产品的质量，对生产效率及产品品质稳定性构成重大风险。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种具有外观检测的晶圆减薄装置，用于解决现有技术中在减薄作业过程中因无法实时检测作业状态而导致批量异常的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种具有外观检测的晶圆减薄装置，其装置至少包括：

3、清洗模块，所述清洗模块用于对减薄工艺后的晶圆进行表面清洗，所述清洗模块包括清洗工作台及清洗外罩；

4、外观检测模块，所述外观检测模块用于对清洗后的晶圆进行减薄后的外观检测，所述外观检测模块设置于所述清洗外罩外部，所述外观检测模块包括视觉检测器、驱动机构及支撑架，所述视觉检测器固定在所述支撑架的一端上，所述支撑架的另一端与所述驱动机构连接，所述驱动机构驱动所述支撑架旋转运动，带动所述视觉检测器同步移动。

5、优选地，所述视觉检测器包括相机和照明件。

6、优选地，所述相机包括面型相机、线型相机、3d相机和2.5d相机中的一种。

7、优选地，所述照明件上设置有控制件，用于控制光源的大小。

8、优选地，所述驱动机构包括电动驱动机构、液压驱动机构及气动驱动机构。

9、优选地，所述支撑架包括伸缩支撑架和/或固定支撑架。

10、优选地，所述支撑架包括第一支撑架和第二支撑架，所述视觉检测器固定在所述第一支撑架的一端上，所述第一支撑架的另一端和所述第二支撑架的一端固定连接，所述第二支撑架的另一端与所述驱动机构连接。

11、优选地，所述清洗工作台包括真空式工作台、卡扣式工作台和静电吸附式工作台中一种，用于吸附固定晶圆。

12、优选地，所述清洗工作台上方设置有风机，用于对待测晶圆表面进行吹扫除尘。

13、优选地，所述晶圆减薄装置还包括控制器，所述视觉检测器与所述控制器相通信，且所述清洗工作台与所述控制器相通信。

14、如上所述，本实用新型的一种具有外观检测的晶圆减薄装置，具有以下有益效果：

15、通过在清洗模块外部增加外观检测模块，外观检测模块包括视觉检测器、驱动机构及支撑架，视觉检测器固定在支撑架的一端上，支撑架的另一端与驱动机构连接。在晶圆清洗后，驱动机构驱动支撑架旋转运动，带动视觉检测器同步移动至晶圆上方并扫描，将实时扫描数据传输至控制器，可实现对晶圆减薄后的外观自动检测和实时监测减薄装置作业情况；减薄装置根据检测结果判定终止作业，有效避免产生批量缺陷，减少下料检测工序，提升产品质量及生产效率，降低设备品质故障和生产过程中的材料与成本损耗。

1.一种具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于，所述晶圆减薄装置至少包括：

2.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述视觉检测器包括相机和照明件。

3.根据权利要求2所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述相机包括面型相机、线型相机、3d相机和2.5d相机中的一种。

4.根据权利要求2所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述照明件上设置有控制件，用于控制光源的大小。

5.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述驱动机构包括电动驱动机构、液压驱动机构及气动驱动机构。

6.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述支撑架包括伸缩支撑架和/或固定支撑架。

7.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述支撑架包括第一支撑架和第二支撑架，所述视觉检测器固定在所述第一支撑架的一端上，所述第一支撑架的另一端和所述第二支撑架的一端固定连接，所述第二支撑架的另一端与所述驱动机构连接。

8.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述清洗工作台包括真空式工作台、卡扣式工作台和静电吸附式工作台中一种，用于吸附固定晶圆。

9.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述清洗工作台上方设置有风机，用于对待测晶圆表面进行吹扫除尘。

10.根据权利要求1所述的具有外观检测的晶圆减薄装置，其特征在于：所述晶圆减薄装置还包括控制器，所述视觉检测器与所述控制器相通信，且所述清洗工作台与所述控制器相通信。