一种光电二极管封装组件的制作方法

本发明属于半导体器件制造，具体是一种光电二极管封装组件。

背景技术：

1、光敏二极管又叫光电二极管，是一种能够将光根据使用方式，转换成电流或者电压信号的光探测器，管芯常使用一个具有光敏特征的pn结，对光的变化非常敏感，具有单向导电性，而且光强不同的时候会改变电学特性，在光电二极管的封装制造流程中，固晶固化后、引线键合前的表面清洗是决定键合可靠性与器件良率的核心工序。

2、现有光敏二极管等离子清洗设备主要为静态载台清洗，静态载台结构的设备中工件固定放置于真空腔内，各表面受等离子轰击与化学反应的均匀度不足，边缘等位置易形成清洗死角，直接导致后续封装效果不佳、对光敏感性降低的问题。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题，本发明提供了一种光电二极管封装组件，包括工作台，所述工作台的顶部设置有多工位转盘，所述多工位转盘的顶部设置有活动舱盖，所述活动舱盖通过阻尼合页铰接在工作台的表面，还包括：

2、等离子清洗件，设置在工作台的顶部，用于对多工位转盘内部放置的光电二极管进行有效清洗；

3、所述等离子清洗件包括固定安装在工作台内部的步进电机，所述步进电机的输出端套设有导电滑环，所述步进电机的输出端固定安装有驱动板，所述多工位转盘的底部固定安装有磁盘，所述磁盘的底部设置有旋转电磁铁，所述旋转电磁铁的底部固定安装在驱动板的顶部，所述导电滑环与旋转电磁铁电连接，所述多工位转盘的表面固定安装有定位滑环，所述定位滑环滑动连接在工作台的内部，所述多工位转盘的内部安装有二极管定位组件，所述工作台的顶部固定安装有真空隔离组件，所述多工位转盘的表面安装有密封组件；

4、自转全面清洗件，设置在多工位转盘的底部，用于带动光电二极管进行自转，使光电二极管进行全面无死角清洗。

5、上述技术方案中，所述二极管定位组件包括设置在多工位转盘内部的定位套，所述定位套的表面固定安装有限位滑环，所述多工位转盘的内部开设有滑槽，所述限位滑环滑动连接在滑槽的内部。

6、上述技术方案中，所述自转全面清洗件包括固定安装在定位套底部的传动轴，所述传动轴的底部仅贯穿多工位转盘并悬垂于多工位转盘的下方，且其底端固定安装有齿轮，；所述工作台的顶部表面同轴固定安装有固定齿环，所述齿轮的轮齿与固定齿环的内齿圈相啮合，所述定位套的内部安装有磁力定位件。

7、上述技术方案中，所述磁力定位件包括滑动在定位套内部的小型磁块，所述小型磁块顶部的四角均固定安装有斜槽竖板，所述斜槽竖板的顶部贯穿至定位套的顶部，所述斜槽竖板的表面通过滑杆铰接有定位板，所述定位板和斜槽竖板均滑动连接在定位套的内部，所述小型磁块的底部固定安装有复位弹片，所述复位弹片的底部固定安装在定位套内壁的底部，所述小型磁块的底部设置有吸附电磁铁，所述吸附电磁铁的底部固定安装在驱动板的顶部，所述吸附电磁铁与导电滑环电连接。

8、上述技术方案中，所述真空隔离组件包括设置在多工位转盘顶部的隔离罩，所述隔离罩的后侧固定安装有连接板，所述连接板底部的两侧均固定安装有电动推杆，所述电动推杆的底部固定安装在工作台的顶部，所述隔离罩的顶部固定安装有射频电极片，所述射频电极片的底部贯穿至隔离罩的内部，所述隔离罩顶部后侧的两侧分别连通有进气管和排气管，所述进气管和排气管的表面均安装有电磁阀，所述进气管和排气管的后侧均贯穿至工作台的内部，所述隔离罩顶部的后侧连通有小型真空泵。

9、上述技术方案中，所述密封组件包括固定安装在工作台顶部的密封基片，所述密封基片套设在多工位转盘的表面，所述隔离罩的底部固定安装有密封垫圈，所述多工位转盘的表面套设有密封套，所述密封套的底部固定安装在工作台的顶部，所述多工位转盘的表面套设有二次密封环，所述二次密封环安装在工作台的内部。

10、上述技术方案中，所述传动轴的外侧套设有稳定密封管，所述稳定密封管的顶端与多工位转盘的底面固定连接，所述稳定密封管的内壁与传动轴的外壁转动配合。

11、上述技术方案中，所述驱动板的内部固定安装有缓冲圈，所述缓冲圈套设在传动轴的表面。

12、上述技术方案中，所述定位板的夹持工作面固定粘接有软质垫板，所述斜槽竖板的顶端固定安装有手动拉板，所述手动拉板外露于定位套的顶面。

13、上述技术方案中，所述连接板前侧的两侧均滑动配合有导向支架，所述导向支架的底端固定安装于工作台的顶面，用于为隔离罩的升降运动提供竖向导向。

14、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

15、本发明通过步进电机带动驱动板同步旋转，旋转电磁铁经导电滑环持续供电后产生稳定磁场，与多工位转盘底部的磁盘形成磁力耦合，以非接触方式驱动多工位转盘平稳回转，真空隔离组件与密封组件配合构建密闭真空腔室，射频电极片激发等离子体，对二极管定位组件精准固定的光电二极管完成均匀清洗，显著提升工件清洗均匀性与工序运行效率。

16、进一步的，多工位转盘随驱动板做公转运动，传动轴随多工位转盘同步做圆周进给，底端齿轮与固定于工作台内壁的固定齿环保持啮合，因固定齿环静止不动，齿轮在公转的同时产生自转运动，扭矩经传动轴向上传递，带动顶部定位套及内部的光电二极管同步自转，实现公转加自转复合运动，提升等离子轰击与化学反应的均匀度。

17、进一步的，吸附电磁铁经导电滑环供电产生吸附磁力，牵引小型磁块沿定位套内壁向下滑动，同步带动四角的斜槽竖板同步下移，斜槽竖板通过滑杆铰接传动，将竖直运动转化为定位板的径向收拢动作，实现对光电二极管的自动对中夹紧定位，断电后磁力消失，复位弹片向上顶推小型磁块复位，定位板同步径向张开松开工件，实现夹持结构无清洗遮挡盲区，可避免工件表面压痕损伤。

1.一种光电二极管封装组件，包括工作台（1），所述工作台（1）的顶部设置有多工位转盘（2），所述多工位转盘（2）的顶部设置有活动舱盖（3），所述活动舱盖（3）通过阻尼合页铰接在工作台（1）的表面，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述二极管定位组件（47）包括设置在多工位转盘（2）内部的定位套（471），所述定位套（471）的表面固定安装有限位滑环（472），所述多工位转盘（2）的内部开设有滑槽（473），所述限位滑环（472）滑动连接在滑槽（473）的内部。

3.根据权利要求2所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述自转全面清洗件（5）包括固定安装在定位套（471）底部的传动轴（51），所述传动轴（51）的底部仅贯穿多工位转盘（2）并悬垂于多工位转盘（2）的下方，且其底端固定安装有齿轮（52），所述工作台（1）的顶部表面同轴固定安装有固定齿环（53），所述齿轮（52）的轮齿与固定齿环（53）的内齿圈相啮合，所述定位套（471）的内部安装有磁力定位件（6）。

4.根据权利要求3所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述磁力定位件（6）包括滑动在定位套（471）内部的小型磁块（61），所述小型磁块（61）顶部的四角均固定安装有斜槽竖板（62），所述斜槽竖板（62）的顶部贯穿至定位套（471）的顶部，所述斜槽竖板（62）的表面通过滑杆铰接有定位板（63），所述定位板（63）和斜槽竖板（62）均滑动连接在定位套（471）的内部，所述小型磁块（61）的底部固定安装有复位弹片（64），所述复位弹片（64）的底部固定安装在定位套（471）内壁的底部，所述小型磁块（61）的底部设置有吸附电磁铁（65），所述吸附电磁铁（65）的底部固定安装在驱动板（43）的顶部，所述吸附电磁铁（65）与导电滑环（42）电连接。

5.根据权利要求1所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述真空隔离组件（48）包括设置在多工位转盘（2）顶部的隔离罩（481），所述隔离罩（481）的后侧固定安装有连接板（482），所述连接板（482）底部的两侧均固定安装有电动推杆（483），所述电动推杆（483）的底部固定安装在工作台（1）的顶部，所述隔离罩（481）的顶部固定安装有射频电极片（484），所述射频电极片（484）的底部贯穿至隔离罩（481）的内部，所述隔离罩（481）顶部后侧的两侧分别连通有进气管（485）和排气管（486），所述进气管（485）和排气管（486）的表面均安装有电磁阀（487），所述进气管（485）和排气管（486）的后侧均贯穿至工作台（1）的内部，所述隔离罩（481）顶部的后侧连通有小型真空泵（488）。

6.根据权利要求5所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述密封组件（49）包括固定安装在工作台（1）顶部的密封基片（491），所述密封基片（491）套设在多工位转盘（2）的表面，所述隔离罩（481）的底部固定安装有密封垫圈（492），所述多工位转盘（2）的表面套设有密封套（493），所述密封套（493）的底部固定安装在工作台（1）的顶部，所述多工位转盘（2）的表面套设有二次密封环（494），所述二次密封环（494）安装在工作台（1）的内部。

7.根据权利要求3所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述传动轴（51）的外侧套设有稳定密封管（7），所述稳定密封管（7）的顶端与多工位转盘（2）的底面固定连接，所述稳定密封管（7）的内壁与传动轴（51）的外壁转动配合。

8.根据权利要求3所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述驱动板（43）的内部固定安装有缓冲圈（8），所述缓冲圈（8）套设在传动轴（51）的表面。

9.根据权利要求4所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述定位板（63）的夹持工作面固定粘接有软质垫板（9），所述斜槽竖板（62）的顶端固定安装有手动拉板（10），所述手动拉板（10）外露于定位套（471）的顶面。

10.根据权利要求5所述的一种光电二极管封装组件，其特征在于：所述连接板（482）前侧的两侧均滑动配合有导向支架（11），所述导向支架（11）的底端固定安装于工作台（1）的顶面，用于为隔离罩（481）的升降运动提供竖向导向。