瓶收容装置的制作方法

本公开涉及瓶收容装置。

背景技术：

1、在半导体器件的制造工艺中，从喷嘴向基板供给抗蚀剂、防反射膜形成用的涂布液、溶剂、绝缘膜形成用的含前体液等处理液来进行液处理。作为这样的供给处理液来进行处理的装置，在专利文献1中提出了一种抗蚀剂涂布装置。

2、在专利文献1中示出了：抗蚀剂涂布装置具备贮存药液的罐，将喷嘴经由供给通路与该罐连接，从喷嘴向基板供给药液。另外，在专利文献1中记载了：从收容有药液的药液瓶向罐供给药液。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2016-189493号公报

技术实现思路

1、实用新型要解决的问题

2、本公开提供一种在相对于供贮存处理液的瓶载置的瓶用载置部进行瓶的交接时减轻作业者的负担的技术。

3、用于解决问题的方案

4、本实用新型的第一技术方案是一种瓶收容装置，其特征在于，该瓶收容装置具备：瓶用载置部，其供贮存用于制造半导体装置的处理液的瓶载置；以及切换机构，其在所述瓶用载置部的周围的空间被封闭的第1状态与为了相对于所述瓶用载置部交接所述瓶而使所述空间开放的第2状态之间切换。

5、本实用新型的第二技术方案的瓶收容装置是根据第一技术方案的瓶收容装置，其特征在于，该瓶收容装置具备：壳体，其在所述第1状态下包围所述瓶用载置部；以及移动机构，其构成所述切换机构，以在所述第2状态下所述瓶用载置部位于所述壳体的外部的方式使所述瓶用载置部和所述壳体相对移动。

6、本实用新型的第三技术方案的瓶收容装置是根据第二技术方案的瓶收容装置，其特征在于，所述移动机构使所述瓶用载置部相对于所述壳体沿横向移动，所述移动机构相对于所述瓶用载置部和所述瓶用载置部上的瓶配置区域设于上方或下方。

7、本实用新型的第四技术方案的瓶收容装置是根据第一技术方案~第三技术方案中任一技术方案的瓶收容装置，其特征在于，该瓶收容装置具备：处理块，其设有被输送所述处理液而对基板进行液处理的液处理部；以及基板送入送出块，其具备供收纳所述基板的容器载置的容器用载置部和相对于所述容器用载置部上的所述容器交接所述基板的输送机构，该基板送入送出块相对于所述处理块设于左右的一侧，以在所述容器与所述处理块之间输送所述基板，所述第1状态下的所述瓶用载置部的周围的空间是设于所述基板送入送出块的壳体内的空间。

8、本实用新型的第五技术方案的瓶收容装置是根据第四技术方案的瓶收容装置，其特征在于，所述基板送入送出块具备：待机部，其相对于所述容器用载置部设于左右的一侧，供所述容器待机；以及容器用输送机构，其在所述容器用载置部与所述待机部之间输送所述容器，所述壳体包围所述待机部和所述容器用输送机构，所述第1状态下的所述瓶用载置部的左右位置与所述待机部的左右位置相同。

9、本实用新型的第六技术方案的瓶收容装置是根据第一技术方案~第三技术方案中任一技术方案的瓶收容装置，其特征在于，该瓶收容装置具备：处理块，其设有被输送所述处理液而对基板进行液处理的液处理部；以及基板送入送出块，其具备供收纳所述基板的容器载置的容器用载置部和相对于所述容器用载置部上的所述容器交接所述基板的输送机构，该基板送入送出块相对于所述处理块设于左右的一侧，以在所述容器与所述处理块之间输送所述基板，所述瓶收容装置设有在所述第1状态下包围所述瓶用载置部的壳体，所述壳体以在俯视时与所述基板送入送出块相对的方式设于所述基板送入送出块的前方或后方。

10、本实用新型的第七技术方案的瓶收容装置是根据第六技术方案的瓶收容装置，其特征在于，所述壳体包括：第1壳体，其以在俯视时与所述基板送入送出块相对的方式设于所述基板送入送出块的前方或后方；以及第2壳体，其设于所述基板送入送出块，在所述第1状态下分别位于所述第1壳体内、第2壳体内的瓶用载置部在所述第2状态下相对于所述第1壳体、所述第2壳体位于左右的一侧。

11、本实用新型的第八技术方案的瓶收容装置是根据第一技术方案~第三技术方案中任一技术方案的瓶收容装置，其特征在于，该瓶收容装置具备：处理块，其设有被输送所述处理液而对基板进行液处理的液处理部；基板送入送出块，其具备供收纳所述基板的容器载置的容器用载置部和相对于所述容器用载置部上的所述容器交接所述基板的输送机构，该基板送入送出块相对于所述处理块设于左右的一侧，以在所述容器与所述处理块之间输送所述基板；以及中间块，其设于所述送入送出块与所述处理块之间，具备所述基板的输送区域，在所述输送区域的前方、后方分别设有具备所述瓶用载置部的第1空间、第2空间，针对所述第1空间和所述第2空间单独地在所述第1状态与所述第2状态之间切换。

12、本实用新型的第九技术方案的瓶收容装置是根据第一技术方案~第三技术方案中任一技术方案的瓶收容装置，其特征在于，该瓶收容装置设有：移动部，其位置在所述瓶位于所述瓶用载置部上的瓶配置区域的状态与所述瓶不位于所述瓶用载置部上的瓶配置区域的状态之间变化；以及检测机构，其用于根据所述移动部的位置来检测所述瓶配置区域中有无瓶。

13、本实用新型的第十技术方案的瓶收容装置是根据第九技术方案的瓶收容装置，其特征在于，所述瓶用载置部具备：倾斜面，其与所述瓶的底面相对，为了将该瓶倾斜地载置而倾斜；以及第1支承部、第2支承部，其设于所述倾斜面中的不同的高度，分别支承所述瓶的底面，在所述第1支承部和所述第2支承部之中，仅设于比第2支承部高的位置的第1支承部构成由所述检测机构检测位置的变化的所述移动部。

14、本实用新型的第十一技术方案的瓶收容装置是根据第一技术方案~第三技术方案中任一技术方案的瓶收容装置，其特征在于，所述瓶具备主体部和颈部，该颈部位于所述主体部的上侧，具有比该主体部的外形窄的外形，与该主体部形成台阶，设有分别由投光部与受光部的组构成的第1检测部、第2检测部，所述第1检测部的投光部、所述第2检测部的投光部分别从俯视时彼此不同的方向朝向所述瓶配置区域中的所述瓶的颈部照射光。

15、实用新型的效果

16、根据本公开，在相对于供贮存处理液的瓶载置的瓶用载置部进行瓶的交接时，能够减轻作业者的负担。

1.一种瓶收容装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的瓶收容装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的瓶收容装置，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的瓶收容装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的瓶收容装置，其特征在于，

6.根据权利要求1～3中任一项所述的瓶收容装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的瓶收容装置，其特征在于，

8.根据权利要求1～3中任一项所述的瓶收容装置，其特征在于，

9.根据权利要求1～3中任一项所述的瓶收容装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的瓶收容装置，其特征在于，

11.根据权利要求1～3中任一项所述的瓶收容装置，其特征在于，