用于质量流量控制器的驱动电路的制作方法

本公开总体上涉及功率耗散至关重要的螺线管驱动电路，并且更具体地，涉及用于质量流量控制器的螺线管驱动电路，这些螺线管驱动电路响应于反馈信号调节流量。

背景技术：

1、质量流量控制器接收一种或多种气体/流体的流量，测量气体/流体的流量大小，并通过控制阀控制流量。

技术实现思路

1、所公开的示例质量流量控制器包括响应于反馈信号的螺线管驱动电路，基本上如附图中的至少一个附图所示并结合附图中的至少一个附图所描述，如权利要求中更完整地阐述的。

1.一种用于质量流量控制器的螺线管驱动电路，包括：

2.如权利要求1所述的电路，还包括控制电路，所述控制电路用于向所述驱动电路提供命令。

3.如权利要求2所述的电路，其中所述控制电路在所述驱动电路的外部。

4.如权利要求3所述的电路，其中所述控制电路计算所述参考电压以在所述电流改变时保持预定开关电压。

5.如权利要求4所述的电路，其中所述预定开关电压是最小电压范围。

6.如权利要求5所述的电路，其中所述最小电压范围在几十毫伏或更小的范围内。

7.如权利要求1所述的电路，其中所述开关是金属氧化物半导体场效应晶体管（mosfet），其中响应于电流反馈信号来调节通过所述mosfet上的电压。

8.如权利要求1所述的电路，其中所述电压控制参考电压由所述控制电路或由所述螺线管电流反馈信号提供。

9.一种用于质量流量控制器的螺线管驱动电路，包括：

10.如权利要求9所述的电路，还包括电流感测电阻器，所述电流感测电阻器被配置为传输电流值以设定所述开关电压控制电路参考电压的值。

11.如权利要求9所述的电路，其中所述求和装置基于来自所述电流感测电阻器的所述电流反馈信号来计算所述开关电压控制电路参考电压。

12.如权利要求11所述的电路，其中经处理的电流反馈信号经数学处理、放大或分压。

13.如权利要求9所述的电路，还包括电流参考电压，所述电流参考电压被配置为传输电压值以设定所述开关电压控制电路参考电压的值。

14.如权利要求9所述的电路，其中所述求和装置基于来自电流-电压转换器装置的所述电流反馈信号来计算所述开关电压控制电路参考电压。