冷却设备和冷却系统的制作方法

1.本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种冷却设备和一种冷却系统。


背景技术：

2.有机发光二极管(organic light-emitting diode，oled)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，近年来逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明设备等领域普及，发展势头强劲。oled等产品在生产过程中需要对其进行冷却降温，在真空环境下，现有冷却技术通常使用冷却板与冷却目标接触贴合的方式进行冷却，在贴合过程中冷却板容易损伤和污染产品，在冷却板与冷却目标的贴合、分离过程中，冷却板和冷却目标之间会产生静电以及静电吸附力，大量静电会击穿产品电路，导致产品报废。


技术实现要素：

3.因此，为克服现有技术中存在的至少部分缺陷和不足，本发明实施例提供一种冷却设备和一种冷却系统。
4.具体地，一方面，本发明实施例提供的一种冷却设备，包括：壳体，形成有真空腔体；冷却目标放置台，设置在所述真空腔体内、且连接所述壳体，所述冷却目标放置台具有用于放置冷却目标的放置面；以及第一冷却装置，设置在所述真空腔体内，所述第一冷却装置连接所述壳体，所述第一冷却装置具有第一冷却面，所述第一冷却面与所述放置面相对设置；当所述放置面上放置有所述冷却目标时，所述第一冷却面与所述冷却目标之间具有间距。
5.在本发明的一个具体实施例中，所述间距为100毫米～150毫米。
6.在本发明的一个具体实施例中，还包括：第二冷却装置，所述第二冷却装置设置在所述真空腔体内，所述第二冷却装置连接所述壳体，所述第二冷却设备具有第二冷却面，所述第二冷却面与所述放置面相背设置。
7.在本发明的一个具体实施例中，所述冷却设备还包括进管接口和出管接口，所述进管接口和所述出管接口设置在所述壳体远离所述真空腔体的一侧；所述第一冷却装置包括冷却板，所述冷却板内设置有管道，所述管道用于通过冷却介质，所述管道设置有进口和出口，所述进口与所述进管接口连接，所述出口与所述出管接口连接。
8.在本发明的一个具体实施例中，所述管道包括多个依次连通的子管道，且多个所述子管道间隔设置，相邻的两个所述子管道之间的距离为70毫米～120毫米。
9.在本发明的一个具体实施例中，所述管道包括多个依次连通的子管道，且多个所述子管道间隔设置，位于所述冷却板端部的相邻的两个所述子管道之间的距离为40毫米～70毫米，位于所述冷却板中部的任意相邻的两个所述子管道之间的距离为70毫米～120毫米。
10.在本发明的一个具体实施例中，所述管道和所述冷却板为一体式结构。
11.在本发明的一个具体实施例中，所述冷却设备还包括：红外温度检测装置，所述红外温度检测装置设置在所述壳体远离所述真空腔体的一侧；所述壳体上设置有红外穿透区域，所述红外穿透区域与所述红外温度检测装置对应，所述红外温度检测装置用于检测冷却目标的温度。
12.在本发明的一个具体实施例中，所述冷却设备还包括：温度检测装置，设置在所述进管接口处，所述温度检测装置用于检测进入所述冷却装置的所述冷却介质的温度。
13.另一方面，本发明实施例还提供一种冷却系统，包括：如上所述的冷却设备；进冷管和出冷管，分别与所述冷却设备连接；流量监测装置，设置在所述进冷管上；检漏装置，设置在所述出冷管上；进口控制阀，设置在所述进冷管上；出口控制阀，设置在所述出冷管上；以及控制器，分别与所述流量监测装置、所述检漏装置、所述进口控制阀和所述出口控制阀电连接。
14.在本发明的一个具体实施例中，所述冷却系统还包括：温度控制仪，所述温度控制仪设置在所述进冷管处，所述温度控制仪与所述控制器电连接。
15.在本发明的一个具体实施例中，所述冷却系统还包括：预警模块，所述预警模块与所述控制器电连接。
16.在本发明的一个具体实施例中，所述冷却系统还包括：网络模块，所述网络模块与所述控制器电连接。
17.由上可知，本发明实施例通过在冷却设备上设置第一冷却装置和冷却目标放置台、并将第一冷却装置的第一冷却面和冷却目标放置台上放置的冷却目标之间设置有间距，使得第一冷却装置对冷却目标在冷却时无需接触，避免了接触冷却导致的冷却目标损伤或污染，也避免了接触冷却导致第一冷却装置和冷却目标之间产生静电以及静电吸附力，进一步避免了静电力对冷却目标的损伤，提高生产效率。通过在冷却系统中设置流量监测装置、检漏装置、进口控制阀、出口控制阀、控制器、温度控制仪、预警模块和网络模块，可实现自动调节冷却介质的温度，进一步实现了自动调节第一冷却装置的温度。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本技术第一实施例提供的一种冷却设备的结构示意图。
20.图2为图1中冷却设备的分解结构示意图。
21.图3为本技术第一实施例提供的冷却设备的另一结构示意图。
22.图4为图1中冷却设备的截面示意图。
23.图5为图2中第一冷却装置的结构示意图。
24.图6为图2中区域b的结构示意图。
25.图7本技术第二实施例提供的冷却系统的结构示意图。
26.图8为图7的冷却系统中处理流程的流程示意图。
具体实施方式
27.为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明描述的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。
28.需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、顶、底)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。此外，在发明实施例及权利要求书中所涉及的术语“垂直”是指两个元件之间的夹角为90
°
或者存在-5
°
～ 5
°
的偏差，所涉及的术语“平行”是指两个元件之间的夹角为0
°
或者存在-5
°
～ 5
°
的偏差。
29.在本发明实施例中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
30.【第一实施例】
31.参见图1和图2，本发明第一实施例提供的一种冷却设备100，包括壳体10、冷却目标放置台20和第一冷却装置30。
32.壳体10形成有真空腔体101，参见图3，壳体10可例如包括箱体11和盖体12，盖体12可例如活动连接在箱体11上，盖体12可相对于箱体11活动打开。当盖体12盖合在箱体11上后，形成腔体。用户可例如通过真空棒对腔体进行抽真空形成真空腔体101。
33.冷却目标放置台20可例如设置在真空腔体101内、且连接于壳体10。冷却目标放置台20具体可例如固定支撑在箱体11内。举例来说，冷却设备100还可例如包括多个支撑件23，冷却目标放置台20通过多个第一支撑件23固定在箱体11上；冷却设备100还可例如包括第一固定连接件，第一固定连接件可例如固定连接在箱体11的底板上，多个支撑件23可例如设置在冷却目标放置台20和第一固定连接件之间，将冷却目标放置台20固定在真空腔体101内，可以提高冷却目标放置台20的稳定性。冷却目标放置台20具有放置面21，放置面21用于放置冷却目标22，冷却目标22可例如为oled面板，当然也可以为其他待冷却物体，本实施例并不以此为限。冷却目标放置台20的大小具体可根据冷却目标22的大小进行设置。
34.第一冷却装置30可例如设置在真空腔体101内，第一冷却装置30连接壳体10。第一冷却装置30设置有第一冷却面31，第一冷却面31与放置面21可例如相对设置，当放置面21上放置有冷却目标22时，第一冷却面31与冷却目标22之间设置有间距a。参见图3，第一冷却装置30可例如设置在冷却目标放置台20的上侧，且固定在盖体12上，具体可例如固定连接在盖体12靠近真空腔体101的一侧(即盖体12的内侧)。举例来说，第一冷却装置30可例如通过连接件固定连接在盖体12上，连接件可例如包括多个连接件，连接件可例如具有一定高度，以使盖体12盖合在箱体11上时，第一冷却装置30与冷却目标放置台20之间间隔设置，连接件的高度可例如可进行调整。当然，本实施例并不以此为限。
35.第一冷却装置30与冷却目标放置台20间隔设置，第一冷却面31可例如为冷却装置30表面积相对较大的面(例如上表面和下表面)。这样一来，第一冷却装置30与冷却目标放置台20之间设置有间距a，使得在冷却时第一冷却装置30与冷却目标22无需接触，避免了接触冷却导致的冷却目标22损伤或污染，也避免了接触冷却导致冷却装置30和冷却目标22之
间产生静电以及静电吸附力，进一步避免了静电力对冷却目标22的损伤，提高生产效率。进一步地，第一冷却装置30可根据冷却目标22的辐射波长，对第一冷却装置30的材质以及第一冷却面31与冷却目标22之间的间距a进行设置，以使冷却装置30匹配冷却目标22的辐射波长，来提高冷却目标22的热量辐射吸收速度和效率。
36.再参见图2，冷却设备100可例如还包括第二冷却装置30a，第一冷却装置30和第二冷却装置30a可例如对应设置在冷却目标放置台20的相对两侧，即第一冷却装置30和第二冷却装置30a可例如分别设置在冷却目标放置台20的上下两侧。第一冷却装置30可例如固定连接在盖体12上，第二冷却装置30a可例如固定连接在箱体11上。第二冷却装置30a具有第二冷却面31a，所述第二冷却面31a与所述放置面21相背设置，第二冷却面31a与冷却目标22之间具有间距a。举例来说，冷却设备100可例如还包括两个第二固定连接件33，两个第二固定连接件33可例如设置在第二冷却装置31a的两个对角上，并可例如通过铆钉、螺丝等方式固定在箱体12的侧壁上。当然，本实施例并不以此为限。通过在冷却设备100中设置第一冷却装置30和第二冷却装置30a，可以提高冷却设备100的冷却效果，以进一步提高生产效率。第一冷却装置30和第二冷却装置30a的具体结构可例如相同，下面以第一冷却装置30为例对第一冷却装置30和第二冷却装置30a的具体结构进行说明。
37.参见图4，第一冷却装置30与冷却目标放置台20之间设置有间距a，间距a的范围具体可例如为100毫米～150毫米，这样的设置可以避免第一冷却装置30与冷却目标放置台20距离太近影响冷却目标22的放置和移动，同时可以保证第一冷却装置30对冷却目标22的降温效果。
38.参见图5，第一冷却装置30可例如包括冷却板32，冷却板32的大小可例如与冷却目标22的大小相同或相近，这样可以使得第一冷却装置30具有较好的冷却效果。冷却板32可例如为一整块冷却板，也可例如由多块子冷却板形成。当冷却板32由多块子冷却板32形成时，可便于生产组装，也可对多块子冷却板设置不同的温度，使得第一冷却装置30的冷却功能可调节，进一步提升冷却效果。冷却板32可例如为铝板，当然，也可以为其他材质。冷却板32可例如包括基板层和喷砂层，所述喷砂层可例如在所述基板层上通过喷砂工艺形成，喷砂层可以增加冷却板32的表面积，以进一步增强冷却板32的冷却效果，并且喷砂层可以增加冷却装置30的洁净度。优选地，冷却板32可例如采用铝板，冷却板32的厚度可例如为6毫米～15毫米。这样一来，使得冷却板32具有较低的体积和质量，进一步提升了冷却板32的冷却速度与温度均匀性。进一步地，冷却板32内还可例如设置有凹槽，以进一步降低冷却板32的体积和质量，进一步提升了冷却板32的冷却速度与温度均匀性。
39.冷却板32内可例如设置有管道，管道设置有进口321和出口322，管道用于通过冷却介质，冷却介质可例如为水、冷媒等冷却介质，此处仅为举例说明，本实施例并不以此为限。通过管道、进口321和出口322的设置，使得第一冷却装置30的热量可通过冷却介质和管道转移到冷却设备100的外部，保持第一冷却装置30的温度恒定，进一步提升冷却效果。
40.当冷却板32由多块子冷却板形成时，多块子冷却板的多个进口321和多个出口322可例如依次串联在一起。举例来说，冷却板32可例如包括第一子冷却板和第二子冷却板，第一子冷却板包括第一进口和第一出口，第二子冷却板包括第二进口和第二出口，第一出口与第二进口相连接，冷却介质可例如从冷却设备100外部由第一进口进入第一子冷却板、由第一出口流出第一子冷却板、再由第二进口进入第二子冷却板、由第二出口流出第二子冷
却板，最终流出冷却设备100。还可例如，多个进口321和多个出口322也可例如分开设置。举例来说，冷却板32可例如包括第一子冷却板和第二子冷却板，第一子冷却板包括第一进口和第一出口，第二子冷却板包括第二进口和第二出口，冷却介质由冷却设备100外部通过第一进口进入第一子冷却板、通过第一出口流出第一子冷却板，最终流出冷却设备100；冷却介质由冷却设备100外部通过第二进口进入第二子冷却板、通过第二出口流出第二子冷却板，最终流出冷却设备100。
41.参见图6，冷却设备100还可例如包括进管接口41和出管接口42，进管接口41和出管接口42可例如设置在壳体10远离真空腔体101的一侧，即进管接口41和出管接口42设置在壳体10的外侧。进口321与进管接口41连接，出口322与出管接口42连接。具体地，壳体10上可例如设置有转接法兰，进口321与进管接口41通过转接法兰连接，出口322与出管接口42也可例如通过转接法兰连接，当然，此处仅为举例说明，本实施例并不以此为限。
42.管道可例如包括多个依次连接的子管道，多个子管道可例如间隔设置，相邻的两个子管道之间的距离为70毫米～120毫米，这样的设置可以使得冷却装置30具有较好的冷却效果。举例来说，管道可例如为铺设在冷却装置30中，可例如为s形铺设；管道具体可例如为一根管道，子管道可例如为管道中的一部分；当然，管道也可例如为连接在一起的多个子管道形成，本实施例并不以此为限。优选地，管道可例如与冷却板32为一体式结构，即管道可例如由冷却板32内设置管槽形成管道，这样一来，使得冷却板32的结构简单，方便加工生产。
43.在本实施例的一个具体实施方式中，冷却板32具有对应的两个端部，冷却板端部的相邻的两个子管道之间的距离为40毫米～70毫米，冷却板中部任意相邻的两个子管道之间的距离为70毫米～120毫米。冷却板32的大小可例如小于冷却目标22的大小，将冷却板32两个端部的相邻的子管道之间的距离设置为40毫米～70毫米，可以增强冷却板32两个端部的冷却效果，以对冷却目标22更好的进行冷却。
44.再参见图2，冷却设备100上还可例如设置有红外温度检测装置50，红外温度检测装置50具体可例如采用非接触式红外测温仪，红外温度检测装置50可例如设置在壳体10远离真空腔体101的一侧，即红外温度检测装置50设置在壳体10的外侧，壳体10上对应红外温度检测装置50可例如设置有红外穿透区域103，红外穿透区域103可例如为设置在壳体10上的透明可视区域，红外温度检测装置50的红外光可穿过红外穿透区域103照射在真空腔体101内的冷却目标22上，以检测冷却目标22的温度。
45.参见图6，冷却设备100上还可例如设置有温度检测装置60，温度检测装置60可例如设置在进管接口41处，具体可例如设置在进管接口41的管道上。温度检测装置60具体可例如采用温度传感器，当然也可以为其他温度检测仪，温度检测装置60用于对尽管接口41的管道内的冷却介质进行温度检测。
46.综上所述，本发明实施例通过在冷却设备100上设置第一冷却装置30和冷却目标放置台20、并将第一冷却装置30的第一冷却面31和冷却目标放置台20上的冷却目标22之间设置有间距a，使得第一冷却装置30对冷却目标22在冷却时无需接触，避免了接触冷却导致的冷却目标22损伤或污染，也避免了接触冷却导致第一冷却装置30和冷却目标22之间产生静电以及静电吸附力，进一步避免了静电力对冷却目标22的损伤，提高生产效率。
47.【第二实施例】
48.参见图7，本发明第二实施例提供一种冷却系统1，冷却系统1可例如包括如上述第一实施例所述的冷却设备100、进冷管210、出冷管220、流量监测装置300、检漏装置400、进口控制阀500、出口控制阀600和控制器700。
49.进冷管210和出冷管220分别与冷却设备100连接，具体地，进冷管210可例如与冷却设备100的进管接口41连接，出冷管220可例如与冷却设备100的出管接口42连接，进冷管210和出冷管220可例如为用于输送冷却介质，其材质可根据冷却介质的不同进行选择。流量监测装置300可例如设置在进冷管210上，流量监测装置300具体可例如采用流量监测仪，当然也可以采用其他流量监测设备，本实施例并不以此为限，流量监测装置300用于监测进冷管210中冷却介质的流量。检漏装置400可例如设置在出冷管220上，检漏装置400可例如采用流量检测仪，当然也可以采用其他设备，检漏装置400用于监测冷却装置30内的冷却介质是否漏出。进口控制阀500可例如设置在进冷管210上，出口控制阀600可例如设置在出冷管220上，进口控制阀500和出口控制阀600具体可例如采用电磁控制阀。控制器700可例如采用可编程逻辑控制器(programmable logic controller，plc)，当然也可以采用其他微处理器，本实施例并不以此为限。流量监测装置300、检漏装置400、进口控制阀500和出口控制阀600分别与控制器700电连接，冷却设备100中的红外温度检测装置50和温度检测装置60也可例如分别与控制器700电连接。
50.冷却系统1还可例如包括温度控制仪800、预警模块900和网络模块1000，温度控制仪800、预警模块900和网络模块1000可例如分别与控制器700电连接。温度控制仪800可例如设置在进冷管210处，温度控制仪800用于调节进冷管210的冷却介质的温度，温度控制仪800可例如采用流体媒介温度控制器，当然也可以为其他温度控制设备。预警模块900可例如包括语音模块、警示灯等，语音模块具体可例如为音响，预警模块900用于在控制器700的控制下进行预警。网络模块1000可例如包括有线网络模块和/或无线网络模块，有线网络模块具体可例如包括网络转换模块和网口，无线网络模块可例如为wifi模块和/或移动网络模块，当然，此处仅为举例说明，本实施例并不以此为限。
51.参见图8，冷却系统1运行时，可例如通过进冷管210传输冷却介质至冷却装置30的管道中，冷却设备100上的温度检测装置60可例如实时对冷却介质的温度进行检测，并将检测到的温度数据传输至控制器700，控制器700判断冷却介质温度是否异常。举例来说，控制器700可例如根据设置好的温度阈值对于检测到的温度数据进行判断，当温度数据超出温度阈值时，判断冷却介质的温度异常；当温度异常时，控制器700可例如控制温度控制仪800调节冷却介质的温度，以使冷却介质的温度达到目标值。流量监测装置300和检漏装置400可例如实时检测冷却介质的进入流量和流出流量，并将进入流量和流出流量传输至控制器700，控制器700可例如根据流量阈值判断冷却介质的流量是否异常。当判断冷却介质的流量异常时，控制器700可例如控制入口控制阀500和/或出口控制阀600来调节冷却介质的流量。控制器700还可例如根据进入流量和流出流量的差值来判断冷却介质是否漏出，当检测到冷却介质可能漏出冷却装置30时，控制器700可例如控制预警模块900进行报警，以便提醒工作人员消除故障。网络模块1000可例如用来接收其他控制系统中的相关数据，例如生产控制系统中的温度数据，以使控制器700来控制温度可控制仪800来调节冷却介质的温度、或者控制进口控制阀500和/或出口控制阀600来调节冷却介质的流量，当然，此处仅为举例说明，本实施例并不以此为限。
52.综上所述，本发明实施例提供的冷却系统1设置有冷却设备100，通过在冷却设备100上设置第一冷却装置30和冷却目标放置台20、并将第一冷却装置30的第一冷却面31和冷却目标放置台20上的冷却目标22之间设置有间距a，使得第一冷却装置30对冷却目标22在冷却时无需接触，避免了接触冷却导致的冷却目标22损伤或污染，也避免了接触冷却导致第一冷却装置30和冷却目标22之间产生静电以及静电吸附力，进一步避免了静电力对冷却目标22的损伤，提高生产效率。通过流量监测装置300、检漏装置400、进口控制阀500、出口控制阀600、控制器700、温度控制仪800、预警模块900和网络模块1000的设置，可实现自动调节冷却介质的温度，进一步实现了自动调节第一冷却装置30的温度。
53.此外，可以理解的是，前述各个实施例仅为本发明的示例性说明，在技术特征不冲突、结构不矛盾、不违背本发明的发明目的前提下，各个实施例的技术方案可以任意组合、搭配使用。
54.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。