冷却设备和冷却系统的制作方法

技术特征：
1.一种冷却设备，其特征在于，包括：壳体，形成有真空腔体；冷却目标放置台，设置在所述真空腔体内、且连接所述壳体，所述冷却目标放置台具有用于放置冷却目标的放置面；以及第一冷却装置，设置在所述真空腔体内，所述第一冷却装置连接所述壳体，所述第一冷却装置具有第一冷却面，所述第一冷却面与所述放置面相对设置；当所述放置面上放置有所述冷却目标时，所述第一冷却面与所述冷却目标之间具有间距。2.如权利要求1所述的冷却设备，其特征在于，所述间距的范围为100毫米～150毫米。3.如权利要求1所述的冷却设备，其特征在于，还包括：第二冷却装置，所述第二冷却装置设置在所述真空腔体内，所述第二冷却装置连接所述壳体，所述第二冷却设备具有第二冷却面，所述第二冷却面与所述放置面相背设置。4.如权利要求1所述的冷却设备，其特征在于，还包括：进管接口和出管接口，所述进管接口和所述出管接口设置在所述壳体远离所述真空腔体的一侧；所述第一冷却装置包括冷却板，所述冷却板内设置有管道，所述管道用于通过冷却介质，所述管道设置有进口和出口，所述进口与所述进管接口连接，所述出口与所述出管接口连接。5.如权利要求4所述的冷却设备，其特征在于，所述管道包括多个依次连通的子管道，且多个所述子管道间隔设置，相邻的两个所述子管道之间的距离为70毫米～120毫米。6.如权利要求4所述的冷却设备，其特征在于，所述管道包括多个依次连通的子管道，且多个所述子管道间隔设置，位于所述冷却板端部的相邻的两个所述子管道之间的距离为40毫米～70毫米，位于所述冷却板中部的任意相邻的两个所述子管道之间的距离为70毫米～120毫米。7.如权利要求4所述的冷却设备，其特征在于，所述管道和所述冷却板为一体式结构。8.如权利要求4所述的冷却设备，其特征在于，还包括：红外温度检测装置，所述红外温度检测装置设置在所述壳体远离所述真空腔体的一侧；所述壳体上设置有红外穿透区域，所述红外穿透区域与所述红外温度检测装置对应，所述红外温度检测装置用于检测冷却目标的温度。9.如权利要求4所述的冷却设备，其特征在于，还包括：温度检测装置，设置在所述进管接口处，所述温度检测装置用于检测进入所述第一冷却装置的所述冷却介质的温度。10.一种冷却系统，其特征在于，包括：如权利要求1至9任意一项所述的冷却设备；进冷管和出冷管，分别与所述冷却设备连接；流量监测装置，设置在所述进冷管上；检漏装置，设置在所述出冷管上；进口控制阀，设置在所述进冷管上；出口控制阀，设置在所述出冷管上；以及控制器，分别与所述流量监测装置、所述检漏装置、所述进口控制阀和所述出口控制阀电连接。11.如权利要求10所述的冷却系统，其特征在于，还包括：温度控制仪，所述温度控制仪设置在所述进冷管处，所述温度控制仪与所述控制器电连接。
12.如权利要求10所述的冷却系统，其特征在于，还包括：预警模块，所述预警模块与所述控制器电连接。13.如权利要求11所述的冷却系统，其特征在于，还包括：网络模块，所述网络模块与所述控制器电连接。

技术总结
本发明实施例提供一种冷却设备和一种冷却系统。冷却设备包括：壳体，形成有真空腔体；冷却目标放置台，设置在所述真空腔体内、且连接所述壳体，所述冷却目标放置台具有用于放置冷却目标的放置面；以及第一冷却装置，设置在所述真空腔体内，所述第一冷却装置连接所述壳体，所述第一冷却装置具有第一冷却面，所述第一冷却面与所述放置面相对设置；当所述放置面上放置有所述冷却目标时，所述第一冷却面与所述冷却目标之间具有间距。本发明实施例通过将第一冷却装置的第一冷却面和冷却目标之间设置有间距，使得第一冷却装置对冷却目标在冷却时无需接触，避免了接触冷却导致的冷却目标损伤或污染，进一步避免了静电力对冷却目标的损伤，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。


技术研发人员：张正龙 姚向阳
受保护的技术使用者：马鞍山市安马电子设备实业有限公司
技术研发日：2023.05.30
技术公布日：2023/7/12