一种碳化硅晶体管加工用的定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及碳化硅加工领域，更具体地说，涉及一种碳化硅晶体管加工用的定位装置。


背景技术：

2.碳化硅单晶材料作为第三代半导体材料的代表，具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、电子饱和迁移率高及抗辐射能力强等优越性能，既可以满足功率器件对耐高温、大功率、高电压的要求，也可以满足射频器件对于高导热和抗辐射等需求，因此碳化硅材料制成的晶体管件在电动车、新能源、通讯领域具有巨大的应用前景。
3.在制造碳化硅晶体管之前，需要从整块的碳化硅晶片中加工出合适的坯子，目前主要的加工方式有激光全划、激光半切、激光隐形切割、水导激光切割、砂轮划片，由于成本的问题，目前大多数加工厂商都是使用砂轮划片的方式。
4.砂轮划片加工时，一般需要定位装置将晶片固定住，但是，目前大多数定位装置都需要操作多方位固定，定位非常繁琐，且由于晶片多呈圆形，导致定位端头只能呈现出点或线状的接触固定，无法适应晶片的曲率。


技术实现要素：

5.1.要解决的技术问题
6.针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种碳化硅晶体管加工用的定位装置，通过适应夹头的移动自动适应晶片的大小，并通过主控夹头与晶片的挤压控制滑动架固定的同时控制适应夹头向前推进，实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。
7.2.技术方案
8.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
9.一种碳化硅晶体管加工用的定位装置，包括固定底座，固定底座前端上表面固定连接有主控架，主控架后侧内端滑动卡接有推进器，主控架中端转动卡接有与推进器螺纹连接的控制螺杆，推进器前端内表面滑动卡接有主控夹头，推进器下端固定连接有连接筒，连接筒下侧内端滑动卡接有滑动活塞，滑动活塞外端滑动卡接有推进活塞，推进活塞外端滑动卡接有连接管，固定底座后端上表面固定连接有一对抵接台，抵接台前端靠近内侧位置处固定连接有固定夹头，抵接台前端内表面滑动卡接有滑动架，滑动架前侧内端滑动卡接有适应夹头，滑动架下端固定连接有与连接管相连接的连接软管，滑动架内部前端滑动卡接有推进板，滑动架内部后端滑动卡接有滑动齿板，滑动架内部上端固定连接有与滑动齿板相匹配的固定齿板。
10.进一步的，主控夹头前端固定连接有压缩弹簧，压缩弹簧前端与推进器内端固定连接，能够让主控夹头自动回弹。
11.进一步的，主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端均采用橡胶材质制成，
且主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端的高度均相等，能够通过橡胶的形变增加与晶片的接触面积。
12.进一步的，主控夹头的最大位移距离小于推进活塞的长度，且推进活塞的高度大于连接管的内端直径，防止滑动活塞与推进活塞发生脱离。
13.进一步的，推进板前侧上端与适应夹头后侧下端呈相匹配的倾斜状结构，且推进板前侧上端与适应夹头后侧下端均打磨光滑，能够通过推进板推动适应夹头移动。
14.进一步的，滑动架后端固定连接有适应弹簧，适应弹簧后端与抵接台内端固定连接，能够让滑动架自动回弹。
15.3.有益效果
16.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
17.(1)本方案通过适应夹头的移动自动适应晶片的大小，并通过主控夹头与晶片的挤压控制滑动架固定的同时控制适应夹头向前推进，实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。
18.(2)主控夹头前端固定连接有压缩弹簧，压缩弹簧前端与推进器内端固定连接，能够让主控夹头自动回弹。
19.(3)主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端均采用橡胶材质制成，且主控夹头后端、固定夹头前端以及适应夹头前端的高度均相等，能够通过橡胶的形变增加与晶片的接触面积。
20.(4)主控夹头的最大位移距离小于推进活塞的长度，且推进活塞的高度大于连接管的内端直径，防止滑动活塞与推进活塞发生脱离。
21.(5)推进板前侧上端与适应夹头后侧下端呈相匹配的倾斜状结构，且推进板前侧上端与适应夹头后侧下端均打磨光滑，能够通过推进板推动适应夹头移动。
22.(6)滑动架后端固定连接有适应弹簧，适应弹簧后端与抵接台内端固定连接，能够让滑动架自动回弹。
附图说明
23.图1为本实用新型的主体外观主视结构示意图；
24.图2为本实用新型的主控架与推进器连接处的右视剖面结构示意图；
25.图3为本实用新型的推进器与主控夹头连接处的后视结构示意图；
26.图4为本实用新型的抵接台与滑动架连接处的左视剖面结构示意图；
27.图5为本实用新型的滑动架与适应夹头连接处的左视剖面结构示意图。
28.图中标号说明：
29.1固定底座、2主控架、3推进器、4控制螺杆、5主控夹头、6压缩弹簧、 7连接筒、8滑动活塞、9推进活塞、10连接管、11抵接台、12固定夹头、13滑动架、14适应夹头、15连接软管、16推进板、17滑动齿板、18固定齿板、19适应弹簧。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的
实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.实施例1：
34.请参阅图1-5，一种碳化硅晶体管加工用的定位装置，包括固定底座1，固定底座1前端上表面固定连接有主控架2，主控架2后侧内端滑动卡接有推进器3，主控架2中端转动卡接有与推进器3螺纹连接的控制螺杆4，推进器 3前端内表面滑动卡接有主控夹头5，主控夹头5后端、固定夹头12前端以及适应夹头14前端均采用橡胶材质制成，且主控夹头5后端、固定夹头12 前端以及适应夹头14前端的高度均相等，能够通过橡胶的形变增加与晶片的接触面积。
35.请参阅图2-3，主控夹头5前端固定连接有压缩弹簧6，压缩弹簧6前端与推进器3内端固定连接，能够让主控夹头5自动回弹，推进器3下端固定连接有连接筒7，连接筒7下侧内端滑动卡接有滑动活塞8，滑动活塞8外端滑动卡接有推进活塞9，主控夹头5的最大位移距离小于推进活塞9的长度，且推进活塞9的高度大于连接管10的内端直径，防止滑动活塞8与推进活塞 9发生脱离，推进活塞9外端滑动卡接有连接管10。
36.请参阅图1-4，固定底座1后端上表面固定连接有一对抵接台11，抵接台11前端靠近内侧位置处固定连接有固定夹头12，抵接台11前端内表面滑动卡接有滑动架13，滑动架13后端固定连接有适应弹簧19，适应弹簧19后端与抵接台11内端固定连接，能够让滑动架13自动回弹，滑动架13前侧内端滑动卡接有适应夹头14，滑动架13下端固定连接有与连接管10相连接的连接软管15。
37.请参阅图5，滑动架13内部前端滑动卡接有推进板16，推进板16前侧上端与适应夹头14后侧下端呈相匹配的倾斜状结构，且推进板16前侧上端与适应夹头14后侧下端均打磨光滑，能够通过推进板16推动适应夹头14移动，滑动架13内部后端滑动卡接有滑动齿板17，滑动架13内部上端固定连接有与滑动齿板17相匹配的固定齿板18。
38.请参阅图1-5，当需要加工处碳化硅晶体管原坯时，加工人员先将碳化硅晶片放置于固定底座1上端，并与固定夹头12以及适应夹头14抵接住，然后操作控制螺杆4转动，控制螺杆4的转动带动推进器3与主控夹头5向后侧移动，当主控夹头5与晶片接触后主控夹头5会受到挤压向推进器3前侧方向移动，同时挤压滑动架13以及适应夹头14向后移动，以适应晶片的曲率，在这个过程中，主控夹头5的移动会通过推进器3内部以及连接筒7带动滑动活塞8向下移动从而推动推进活塞9向下移动，接着通过连接管10与连接软管15以及滑动架13
内部将推进板16与滑动齿板17向上侧推动，从而将滑动架13与抵接台11固定住，接着如果继续转动控制螺杆4，则对推进板16施加推力，从而将适应夹头14向晶片方向推动，进一步提高固定效果，以上，即可完成对碳化硅晶片的自适应以及便捷定位与固定的一系列操作过程，通过适应夹头14的移动自动适应晶片的大小，并通过主控夹头5与晶片的挤压控制滑动架13固定的同时控制适应夹头14向前推进，实现自适应以及便捷定位与固定碳化硅晶片的目的。
39.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。