一种单晶成品硅棒自动检测系统的制作方法

技术特征：
1.一种单晶成品硅棒自动检测系统，包括：工控机(18)，其特征在于：所述单晶成品硅棒自动检测系统，还包括：输送机构、四轴机械手(6)、v形支撑台(7)、滑动安装立架(26)、传感器系统(9)、第一视觉系统(10)、第二视觉系统(15)；所述四轴机械手(6)设置在输送机构上；所述四轴机械手(6)具有的第一夹爪(19)和第二夹爪(22)；所述第一夹爪(19)上设置第一激光传感器(20)，所述第二夹爪(22)上设置第二激光传感器(21)；第一激光传感器(20)和第二激光传感器(21)位置对应；所述v形支撑台(7)设置在输送机构的一侧；所述v形支撑台(7)与四轴机械手(6)位置对应；所述滑动安装立架(26)通过第一移动机构(8)安装在v形支撑台(7)上；所述滑动安装立架(26)具有菱形通孔，所述菱形通孔的内角为90
°
；所述传感器系统(9)和第一视觉系统(10)安装在滑动安装立架(26)上；所述第一视觉系统(10)，包括：第一线阵相机和第二线阵相机；所述第一线阵相机和第二线阵相机分别对应布置在菱形通孔的上边上方；所述传感器系统(9)安装在滑动安装立架(26)上，所述传感器系统(9)包括多个接触式传感器，且多个接触式传感器布置在菱形通孔的四周；所述第二视觉系统(15)通过第二移动机构(14)安装在输送机构上，且第二移动机构(14)位于四轴机械手(6)的后方；所述第二视觉系统(15)，包括：第三线阵相机(24)和第四线阵相机(25)；所述第三线阵相机(24)安装在输送机构的正侧方，所述第四线阵相机(25)安装在输送机构的正上方；所述第一激光传感器(20)、第二激光传感器(21)、第一线阵相机、第二线阵相机、第三线阵相机(24)、第四线阵相机(25)和多个接触式传感器分别与工控机(18)信号连接。2.根据权利要求1所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述传感器系统(9)，还包括：四只激光传感器；四只激光传感器对应布置在菱形通孔的四角外侧；四只激光传感器分别与工控机(18)信号连接。3.根据权利要求2所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述接触式传感器具有12个，其中，4个接触式传感器布置在菱形通孔的四角外侧，8个接触式传感器两两对应布置在菱形通孔的各边外侧。4.根据权利要求3所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述接触式传感器、激光传感器分别通过移动模组安装。5.根据权利要求1或4所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述输送机构，包括依次设置的第一辊道线(1)、第二辊道线(3)、第三辊道线(11)和第四辊道线(16)；所述v形支撑台(7)设置在第二辊道线(3)的一侧；所述四轴机械手(6)设置在第二辊道线(3)上；所述第二移动机构(14)设置在第三辊道线(11)上。6.根据权利要求5所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述第二辊道线(3)上设置第一顶升装置(4)和第一对中归正装置(5)；所述第三辊道线(11)上设置第二顶升装置(12)和第二对中归正装置(13)。7.根据权利要求6所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述第一顶升装置
(4)和第二顶升装置(12)，分别包括：顶升装置气缸(31)、顶升装置滑板(32)、升降板(33)、楔形块(34)和导轮；所述顶升装置气缸(31)水平安装在输送机构上，所述顶升装置气缸(31)的伸缩杆与顶升装置滑板(32)连接；所述顶升装置滑板(32)上设置楔形块(34)，楔形块(34)上配合设置导轮；所述导轮安装在升降板(33)上，所述升降板(33)上设置多个顶升块(30)。8.根据权利要求6所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述第一对中归正装置(5)和第二对中归正装置(13)，分别包括：夹紧气缸(27)和设置在输送机构两侧的多个夹紧爪(28)；所述夹紧气缸(27)的伸缩杆与旋转杆(29)连接，所述旋转杆(29)铰接在输送机构上，且输送机构上留有圆弧导向槽，旋转杆(29)的导向块伸入圆弧导向槽中；所述旋转杆(29)的两端分别与归正装置滑板铰接，所述归正装置滑板上安装多个夹紧爪(28)。9.根据权利要求5所述的单晶成品硅棒自动检测系统，其特征在于，所述第一移动机构(8)和第二移动机构(14)，分别包括：移动机构电机、移动机构丝杠和移动机构螺母；所述移动机构电机的输出端与移动机构丝杠传动连接；所述移动机构丝杠上配合设置移动机构螺母；所述移动机构螺母上安装第一视觉系统(10)或第二视觉系统(15)。

技术总结
本实用新型涉及硅棒检测技术领域，提供一种单晶成品硅棒自动检测系统，包括：工控机、输送机构、四轴机械手、V形支撑台、滑动安装立架、传感器系统、第一视觉系统、第二视觉系统；滑动安装立架通过第一移动机构安装在V形支撑台上；滑动安装立架具有菱形通孔，菱形通孔的内角为90


技术研发人员：那贵勋 孙鹏程 杨佳星 于永波
受保护的技术使用者：大连耐视科技有限公司
技术研发日：2022.11.16
技术公布日：2023/3/3