工件吸附装置及工件吸附装置的制造方法与流程

1.本发明涉及工件吸附装置及工件吸附装置的制造方法。


背景技术：

2.以往，通过机械手进行工件的拾取和搬运。在利用机械手拾取工件时，除了物理地夹持工件进行把持的方式之外，还已知有真空吸附或静电吸附工件的吸附方式。
3.例如，已知通过静电吸附的吸附方式，将电子电路元件收纳于元件容器内且在元件容器的外侧设置有外部连接电极的电子部件在真空气氛下进行移载的方法(例如参照专利文献1)。在该方法中，使静电吸附电极接近外部连接电极的表面，通过在外部连接电极与静电吸附电极之间施加电压来静电吸附外部连接电极。现有技术文献专利文献
4.专利文献1：日本公开公报：特开2017-168724号公报


技术实现要素：

发明所要解决的技术问题
5.但是，例如在拾取微小的工件进行组装的情况下，希望能够在一定的位置高精度地再现静电吸附用的电极对工件的吸附位置。但是，通过本技术的发明人的研究可知，根据静电吸附用的电极图案的形成方法，吸附工件的位置有可能产生偏差。
6.本发明的目的在于提供一种在通过静电吸附来吸附工件的方式中，能够使吸附工件的位置稳定的技术。另外，本发明的另一目的在于提供一种适合于能够使工件的吸附位置稳定的工件吸附装置的制造方法。解决技术问题所采用的技术方案
7.本发明的示例的工件吸附装置是吸附工件的工件吸附装置，具有吸附头，该吸附头配置有第一电极部和第二电极部，通过在第一电极部与第二电极部之间形成的电场来静电吸附工件。第一电极部通过跨越所述吸附头的吸附工件的吸附面和与吸附面连接的第一面这两个面而配置，从而具有第一角部。第二电极部通过跨越吸附头的吸附面和与吸附面连接的第二面这两个面而配置，从而具有第二角部。第一角部和第二角部相对。
8.本发明的示例的工件吸附装置的制造方法，该工件吸附装置具有支撑体，该支撑体配置有电极部，该电极部通过跨越两个面而形成，从而具有角部，该工件吸附装置使用电极部来静电吸附工件，该工件吸附装置的制造方法具有：第一工序，将支撑体和电沉积用电极放入电沉积液内；以及第二工序，在第一工序之后，将电极部和电沉积用电极中的一方作为正极，将另一方作为负极来施加电压，从而在电极部上形成电介质层。发明效果
9.根据本发明的示例的工件吸附装置，能够使静电吸附工件的位置稳定。另外，根据本发明的示例的工件吸附装置的制造方法，能够适当地制造能够使工件的吸附位置稳定的
工件吸附装置。
附图说明
10.图1是本发明的实施方式所涉及的工件吸附装置的概略图。图2是本发明的实施方式所涉及的吸附头的概略立体图。图3是本发明的实施方式所涉及的吸附头的概略分解立体图。图4是用于说明利用电沉积法的电介质层的形成方法的图。图5a是示出在本发明的实施方式的工件吸附装置中工件被静电吸附的状态的图。图5b是示出在比较例的工件吸附装置中工件被静电吸附的状态的图。图6是示出变形例的工件吸附装置的结构的概略图。图7是变形例的工件吸附装置所具有的吸附头的分解立体图。
具体实施方式
11.以下，参照附图详细说明本发明的示例的实施方式。在本说明书中，在附图中所示的相互正交的x方向、y方向以及z方向中，将与x方向平行的方向作为左右方向，将与y方向平行的方向作为前后方向，将与z方向平行的方向作为上下方向进行说明。另外，将 x方向作为右侧、-x方向作为左侧、 y方向作为前侧、-y方向作为后侧、 z方向作为上侧、-z方向作为下侧进行说明。但是，这些方向仅仅是为了说明而使用的名称，并不意图限定实际的位置关系和方向。
12.另外，在方位、线以及面中的任意一个与其他任意一个的位置关系中，"平行"不仅包括两者延伸到任何程度都完全不相交的状态，还包括实质上平行的状态。另外，"垂直"及"正交"分别不仅包括两者相互以90度相交的状态，还包括实质上垂直的状态及实质上正交的状态。即，"平行"、"垂直"以及"正交"分别包括两者的位置关系存在不脱离本发明的主旨的程度的角度偏移的状态。
13.＜1.工件吸附装置的结构＞图1是本发明的实施方式的工件吸附装置100的概略图。工件吸附装置100例如应用于机械手。工件吸附装置100吸附工件。工件是成为例如加工、检查或组装等处理的对象的物体。工件例如为树脂制或金属制。如图1所示，工件吸附装置100具有吸附头1。吸附头1例如构成机械手的末端执行器的至少一部分。另外，在图1中，吸附头1由在图2的d-d位置剖开的剖视图示出。
14.图2是本发明的实施方式的吸附头1的概略立体图。另外，在图2中，省略了后述的电介质层6。如图2所示，在本实施方式中，吸附头1为长方体形状。但是，吸附头1的形状也可以是长方体形状以外的形状。吸附头1的形状可以根据所吸附的工件的形状而形成为各种形状。吸附头1例如可以是长方体形状以外的棱柱状、圆柱状、球状或半球状等。
15.吸附头1由至少一个绝缘部件构成。由此，例如能够使用树脂来形成吸附头1，因此能够容易地进行吸附头1的制造。图3是本发明的实施方式的吸附头1的概略分解立体图。如图3所示，在本实施方式中，吸附头1由树脂制的第一部件11和第二部件12构成。但是，吸附头1也可以由单一的绝缘部件或三个以上的绝缘部件构成。
16.第一部件11具有长方体形状的主体部11a、从主体部11a的右侧面向右方突出的长
方体形状的第一凸部11b及第二凸部11c。第一凸部11b配置在主体部11a的右侧面的前方且下方。第二凸部11c配置在主体部11a的右侧面的后方且下方。第一凸部11b的前侧面位于与主体部11a的前侧面相同的平面内。第二凸部11c的后侧面位于与主体部11a的后侧面相同的平面内。第一凸部11b和第二凸部11c在前后方向上隔开间隔配置。第一凸部11b和第二凸部11c的下表面位于与主体部11a的下表面相同的平面内。第一凸部11b和第二凸部11c从主体部11a的下端延伸至主体部11a的下端与上端之间的中途位置。第一凸部11b和第二凸部11c相对于将主体部11a向前方和后方二等分的二等分面对称。
17.第二部件12为长方体形状。在本实施方式中，第二部件12具有与第一部件11的主体部11a相同的形状。第一部件11的第一凸部11b和第二凸部11c的右侧面与第二部件12的左侧面接合，吸附头1整体形成为长方体形状。第一部件11和第二部件12的接合例如可以使用粘接剂或双面胶带进行。
18.如图2所示，详细地说，吸附头1在上表面1a的左右方向的中央部具有向下方凹陷的槽部13。槽部13从吸附头1的前端到后端沿前后方向延伸。详细地说，槽部13的内表面由在左右方向上相对的第一面1b和第二面1c(参照图1)、以及与第一面1b和第二面1c正交的第三面1d构成。构成槽部13的一个内侧面的第一面1b是第一部件11的右侧面。构成槽部13的另一内侧面的第二面1c是第二部件12的左侧面。构成槽部13的内底面的第三面1d是第一凸部11b和第二凸部11c的上表面。
19.另外，如图1所示，在第三面1d上配置有沿上下方向贯通的贯穿孔14的上端。即，槽部13与贯穿孔14相连。贯穿孔14的内表面利用第一面1b、第二面1c、第一凸部11b的后侧面以及第二凸部11c的前侧面构成。
20.在吸附头1上配置有第一电极部2和第二电极部3。即，吸附头1具有第一电极部2和第二电极部3。第一电极部2和第二电极部3例如由铜或铝等金属构成。另外，第一电极部2和第二电极部3可以由合金构成，也可以由导电性碳等金属以外的导体构成。
21.吸附头1通过在第一电极部2和第二电极部3之间形成的电场来静电吸附工件。详细而言，通过在第一电极部2与第二电极部3之间施加电压，从而在第一电极部2与第二电极部3之间形成电场。第一电极部2和第二电极部3构成所谓的双极型静电吸盘。由第一电极部2和第二电极部3构成的静电吸盘可以是库仑力型和约翰逊-拉别克力型中的任一种。本实施方式的静电吸盘是库仑力型。
22.在本实施方式中，在吸附头1的上表面1a设置有第一电极部2及第二电极部3的各一部分。当对第一电极部2和第二电极部3施加电压时，工件经由第一电极部2及第二电极部3被吸附于吸附头1的上表面1a。即，在本实施方式中，吸附头1的上表面1a构成吸附工件的吸附面。以下，有时将吸附头1的上表面1a称为吸附面1a。
23.另外，详细而言，吸附面1a不与工件直接接触，在吸附面1a与工件的上下方向之间存在包含第一电极部2及第二电极部3的物质。另外，在本实施方式中，吸附面1a由于槽部13的存在而在左右方向上被分割。在被分割的左侧设置第一电极部2，在被分割的右侧设置第二电极部3。另外，设置于吸附面1a的电极部整体的大小优选为与工件的被吸附面同等的尺寸。
24.第一电极部2通过跨越吸附头1的吸附工件的吸附面1a和与吸附面1a连接的第一面1b这两个面而配置，从而具有第一角部2a。在本实施方式中，吸附面1a与第一面1b相互正
交。但是，由于只要吸附面1a与第一面1b具有第一角部2a而连接即可，因此吸附面1a与第一面1b所成的角可以是锐角也可以是钝角。
25.在本实施方式中，设置于第一电极部2的吸附面1a上的吸附面部分2b的形状为矩形。另外，设置于第一电极部2的第一面1b上的第一面部分2c的形状为矩形。在第一电极部2中，第一面部分2c从吸附面部分2b的一端以与吸附面部分2b相同的宽度延伸。即，第一电极部2的宽度以第一角部2a为边界不变化，而是恒定的。这里所说的宽度是前后方向的宽度。另外，第一面部分2c从吸附面部分2b的右端向下方延伸。
26.另外，第一电极部2的宽度也可以以第一角部2a为边界而变化。即，吸附面部分2b和第一面部分2c的前后方向的宽度也可以不同。另外，吸附面部分2b和第一面部分2c的形状也可以是例如半圆形状等矩形形状以外的形状。吸附面部分2b和第一面部分2c的形状也可以相互不同。
27.在本实施方式中，如图1和图3所示，在第一面1b上设置有宽度比第一电极部2窄的第一配线部4。第一配线部4优选由与第一电极部2相同的材质构成。第一配线部4从第一电极部2的第一面部分2c延伸到第一面1b的下端。第一配线部4通过贯穿孔14内。另外，设置于吸附头1的第一配线部4也可以视为第一电极部2的一部分。
28.另外，第二电极部3通过跨越吸附头1的吸附面1a和与吸附面1a连接的第二面1c这两个面地配置而具有第二角部3a。吸附面1a和第二面1c是不同的面。在本实施方式中，吸附面1a与第二面1c相互正交。但是，由于只要吸附面1a与第二面1c具有第二角部3a而连接即可，因此吸附面1a与第二面1c所成的角可以是锐角也可以是钝角。
29.在本实施方式中，设置在第二电极部3的吸附面1a上的吸附面部分3b的形状为矩形。另外，设置在第二电极部3的第二面1c上的第二面部分3c的形状为矩形。在第二电极部3中，第二面部分3c从吸附面部分3b的一端以与吸附面部分3b相同的宽度延伸。即，第二电极部3的宽度以第二角部3a为边界不变化，而是恒定的。这里所说的宽度是前后方向的宽度。另外，第二面部分3c从吸附面部分3b的左端向下方延伸。
30.另外，第二电极部3的宽度也可以以第二角部3a为边界而变化。即，吸附面部分3b和第二面部分3c的前后方向的宽度也可以不同。另外，吸附面部分3b和第二面部分3c的形状也可以是例如半圆形状等矩形形状以外的形状。吸附面部分3b和第二面部分3c的形状也可以相互不同。
31.在本实施方式中，如图1所示，在第二面1c上设置有宽度比第二电极部3窄的第二配线部5。第二配线部5优选由与第二电极部3相同的材质构成。第二配线部5从第二电极部3的第二面部分3c延伸至第二面1c的下端。第二配线部5通过贯穿孔14内。另外，设置于吸附头1的第二配线部5也可以视为第二电极部3的一部分。
32.在本实施方式中，第一电极部2和第二电极部3相对于将吸附头1向左方和右方二等分的二等分面对称。但是，第一电极部2和第二电极部3也可以相对于将吸附头1向左方和右方二等分的二等分面非对称。另外，第一配线部4和第二配线部5相对于将吸附头1向左方和右方二等分的二等分面对称。但是，第一配线部4和第二配线部5也可以相对于将吸附头1向左方和右方二等分的二等分面非对称。
33.第一面1b和第二面1c是设置在吸附头1的内部的面。即，第一面1b也可以称为第一内面，第二面1c也可以称为第二内面。因此，能够将第一面1b和第二面1c相对配置。而且，能
够将一部分配置于第一面1b的第一电极部2和一部分配置于第二面1c的第二电极部3相对配置。在本实施方式中，第一面1b和第二面1c在吸附头1内沿左右方向相对配置。其结果是，第一角部2a与第二角部3a相对。详细地说，第一角部2a和第二角部3a在左右方向上相对。第一角部2a和第二角部3a可以直接相对，也可以将部件夹在中间而间接相对。在本实施方式中，第一电极部2和第二电极部3被后述的电介质层6覆盖，因此相当于后者。
34.根据本结构，能够在静电吸附用的第一电极部2与第二电极部3相互面对的位置配置电场强度容易变大的第一角部2a及第二角部3a。因此，能够在第一电极部2和第二电极部3的电极间使电场强度最强，能够在跨越一对电极部2、3双方的位置稳定地吸附工件。根据本结构，由于能够在一定的位置稳定地吸附工件，因此能够高效地进行微小工件的拾取作业。
35.在本实施方式中，在第一面1b与第二面1c之间设置有将第一角部2a与第二角部3a之间隔开的间隙s。详细地说，间隙s由上述槽部13构成。通过槽部13，包括第一角部2a及第二角部3a在内的第一电极部2和第二电极部3在左右方向上隔开间隔地相对配置。
36.若采用这样的结构，则与第一电极部2和第二电极部3的左右方向之间被绝缘性的部件填埋的情况(参照后述的图6)相比，能够将吸附头1内部的介电常数抑制得较低。因此，能够将通过吸附头1的内部的电力线的量抑制得较低，提高对从外侧接近吸附面1a的工件的静电吸附力。
37.在本实施方式中，作为优选的方式，吸附头1具有覆盖第一电极部2和第二电极部3的至少一部分的电介质层6。在本实施方式中，第一电极部2和第二电极部3整体被电介质层6覆盖。进而，第一配线部4和第二配线部5也被电介质层6覆盖。电介质层6优选为能够承受施加于第一电极部2和第二电极部3的电压的材质和层厚。电介质层6例如可以是聚酰亚胺或聚氨酯类的树脂。另外，电介质层6也可以是仅覆盖第一电极部2和第二电极部3的一部分的结构，例如，电介质层6也可以是覆盖设置在吸附面1a上的第一电极部2和第二电极部3的结构。
38.通过设置电介质层6，不仅在工件为绝缘性部件的情况下，而且在工件为金属等导电性部件的情况下，也能够利用工件吸附装置100。另外，通过设置电介质层6，能够防止在第一电极部2与第二电极部3之间施加高电压时在第一电极部2与第二电极部3之间发生短路。另外，通过设置电介质层6，例如能够防止在第一电极部2及第二电极部3上直接载置工件，能够抑制第一电极部2及第二电极部3的变形。
39.在本实施方式中，如图1所示，工件吸附装置100还具有与第一电极部2电连接的电源部7。电源部7经由第一配线部4与第一电极部2电连接。电源部7可以设置在吸附头1上，也可以设置在吸附头1外。在吸附头1外设置电源部7的情况下，需要与第一配线部4连接的另外的配线。电源部7优选为高电压电源。由电源部7施加的电压的大小例如为1kv～10kv左右。
40.第二电极部3接地。详细而言，第二电极部3利用第二配线部5与接地线连接而接地。根据本结构，能够通过由电源部7施加高电压而在第一电极部2和第二电极部3之间形成的电场来静电吸附工件。电源部7优选具有进行接通断开的切换的开关、或者进行施加电压的大小的调整的调整部。另外，也可以采用第一电极部2和第二电极部3中的一方与电源部的正极连接，另一方与电源部的负极连接的结构等。
41.＜2.工件吸附装置的制造方法＞接着，对使用电极部静电吸附工件的工件吸附装置100的制造方法进行说明。电极部通过跨越两个面而形成，从而具有角部。工件吸附装置100具有配置有电极部的支撑体10。详细地说，第一电极部2通过跨越两个面而形成，从而具有第一角部2a。第二电极部3通过跨越两个面而形成，从而具有第二角部3a。工件吸附装置100具有配置有第一电极部2及第二电极部3的支撑体10。支撑体10是吸附头1或构成吸附头1的部件。在本实施方式中，支撑体10是构成吸附头1的第一部件11和第二部件12。
42.首先，通过注射成形法形成构成吸附头1的第一部件11和第二部件12。在第一部件11和第二部件12的表面上，通过mid(molded interconnect device：模塑互连器件)工艺形成第一电极部2和第二电极部3、以及第一配线部4和第二配线部5。mid工艺有各种方法，例如在lds(laser direct structuring：激光直接成型技术)法中，使用含有金属催化剂的专用的树脂材料进行注射模塑成形而形成结构物后，通过对结构体照射激光而使照射部位的金属催化剂活化。通过在该状态下进行无电解电镀、接着进行电解电镀，可以在树脂结构物上照射激光的部位形成金属膜图案。
43.另外，在设置有第一电极部2和第二电极部3以及第一配线部4和第二配线部5的吸附头1由单一的绝缘部件构成的情况下，作为代替mid工艺的方法，也可以将组合了mid工艺和附加制造法(am：additive manufacturing)的技术(am-mid技术)利用于吸附头1的制造。
44.在am-mid技术中，代替mid工艺中的注射成形法，例如使用附加制造法中的粉末床熔融结合法。粉末床熔融结合法是将粉末材料一层一层地层叠，利用激光或电子束等能量源将剖面形状熔融后使其固化而进行造型的工艺。在粉末床熔融结合法中，可以利用激光使添加到粉末材料中的金属络合物活化来进行造型，也可以在进行造型的同时进行导体图案的形成。通过在造型中对利用激光使金属络合物活化的部分实施镀敷处理，能够得到设置有第一电极部2及第二电极部3、以及第一配线部4及第二配线部5的吸附头1。通过利用am-mid技术进行制造，不仅能够在吸附头1的表面，还能够在内部自由地形成导体图案。
45.覆盖第一电极部2和第二电极部3的电介质层6例如可以通过将聚酰亚胺片等电介质片粘接在吸附头1的表面上而形成。另外，电介质层6也可以通过喷涂来形成。另外，电介质层6也可以通过电沉积法形成。图4是用于说明利用电沉积法的电介质层6的形成方法的图。
46.在利用电沉积法形成电介质层6时，除了准备形成有第一电极部2的第一部件11和形成有第二电极部3的第二部件12之外，还准备放入有电沉积液200的电沉积槽201、电沉积用电极202和用于施加电压的直流电源203。在电沉积液200中含有形成电介质层6的树脂成分。工件吸附装置100中的电介质层6的形成方法具有第一工序和第二工序。即，工件吸附装置100的制造方法具有第一工序和第二工序。
47.在第一工序中，将支撑体10和电沉积用电极202放入电沉积液200内。换言之，在第一工序中，将吸附头1的至少一部分和电沉积用电极202放入电沉积液200内。在本实施方式中，由电介质层6覆盖的第一电极部2和第二电极部3设置在不同的部件上。为此，将形成有第一电极部2的第一部件11和形成有第二电极部3的第二部件12放入到电沉积液200内。
48.另外，在本实施方式中，吸附头1由第一部件11和第二部件12构成，由于这两个部件11、12双方都被放入电沉积液200内，所以可以解释为吸附头1被放入电沉积液200内。但
是，在构成吸附头1的部件中包含未配置第一电极部2和第二电极部3的部件的情况下，也可以不将该部件放入电沉积液200中。即，也可以仅将吸附头1的一部分放入电沉积液200内。另外，放入到电沉积液200内的第一部件11及第二部件12可以成为整体浸入电沉积液200内的状态，也可以成为一部分浸入电沉积液200内的状态。
49.另外，在本实施方式中，与将第一部件11和第二部件12这两个部件放入到电沉积液200内相对应，将两个电沉积用电极202放入到电沉积液200内。详细地说，两个电沉积用电极202中的一个与第一部件11的形成有第一电极部2和第一配线部4的侧面相对配置。两个电沉积用电极202中的另一个与第二部件12的形成有第二电极部3和第二配线部5的侧面相对配置。
50.在第二工序中，在第一工序之后，将电极部和电沉积用电极202中的一方作为正极，将另一方作为负极，施加电压，在电极部上形成电介质层6。换言之，在第二工序中，在第一工序后，将第一电极部2和第二电极部3、以及电沉积用电极202中的一方作为正极，将另一方作为负极来施加电压，形成电介质层6。电压的施加使用直流电源203来进行。通过施加电压，使电沉积液200中的成为电介质层6的成分电泳，在第一电极部2和第二电极部3的表面析出电介质层6。
51.在本实施方式中，在第一部件11上设置有与第一电极部2连接的第一配线部4。另外，在第二部件12上设置有与第二电极部3连接的第二配线部5。因此，详细地说，第一电极部2、第二电极部3、第一配线部4以及第二配线部5和两个电沉积用电极202中的一方为正极，另一方为负极。
52.例如，在第一电极部2、第二电极部3、第一配线部4以及第二配线部5为负极的情况下，两个电沉积用电极202为正极，由直流电源203施加电压。由此，不仅第一电极部2和第二电极部3，第一配线部4和第二配线部5也被电介质层6覆盖。将第一电极部2、第二电极部3、第一配线部4及第二配线部5和两个电沉积用电极202中的哪一个作为正极，将另一个作为负极，由所使用的电沉积液200的构成决定。
53.根据使用电沉积法形成电介质层6的结构，在利用工件吸附装置100进行静电吸附时，从产生强电场的部分优先形成电介质层6，能够抑制该部分的电介质层6的形成不充分。因此，根据本结构，能够高效率地制造能够适当地确保使用时的绝缘性的工件吸附装置100。进行静电吸附时产生强电场的部分例如是第一角部2a和第二角部3a，能够在该第一角部2a和第二角部3a以适当的厚度形成电介质层6。
54.另外，在以上的说明中，形成在第一部件11上的第一电极部2和形成在第二部件12上的第二电极部3构成为在一个电沉积槽201中集中处理，但也可以构成为对每个部件11、12使用不同的电沉积槽进行处理。
55.形成有电介质层6的第一部件11和第二部件12例如通过粘接剂等接合。第一电极部2与电源部7电连接，第二电极部3接地，由此完成工件吸附装置100。
56.＜3.工件吸附装置的作用效果＞图5a是示出在本发明的实施方式的工件吸附装置100中工件300被静电吸附的状态的图。图5b是示出在比较例的工件吸附装置400中静电吸附工件300的状态的图。
57.在图5b所示的比较例的工件吸附装置400中，绝缘性的吸附头401也是长方体形状。在吸附头401上配置有两个电极部402、403。但是，第三电极部402通过跨越吸附头401的
上表面401a和左侧面401b配置而具有第三角部402a。另外，第四电极部403通过跨越吸附头401的上表面401a和右侧面401c配置而具有第四角部403a。
58.第三电极部402和第四电极部403均仅设置在吸附头401的外表面。第三电极部402的第三角部402a和第四电极部403的第四角部403a均为朝向吸附头401的外部的尖的形状，彼此不相对。另外，第三电极部402经由设置于吸附头401的左侧面401b的第三配线部404与电源部406连接。另外，第四电极部403经由设置于吸附头401的右侧面401c的第四配线部405接地。在比较例中，省略了覆盖电极部402、403的电介质层。
59.在比较例的结构中，通过电源部406施加电压，在第三电极部402与第四电极部403之间产生电场。在该情况下，如图5b中的实线所示，工件300在吸附头401的上表面401a上跨越第三电极部402和第四电极部403这两者而被静电吸附。但是，在比较例的结构中，除此之外，如图5b中虚线所示，有时工件300被吸附于第三角部402a或第四角部403a。这是因为，在第三角部402a和第四角部403a中电场强度变大，成为与在两个电极部402、403之间形成的电场强度同等的大小。
60.根据比较例的结果，发现设置于电极部的角部的位置与稳定的静电吸附有关，在本实施方式中，将第一电极部2的第一角部2a和第二电极部3的第二角部3a配置在相互相对的位置。由此，在吸附头1的周围，能够使第一电极部2与第二电极部3的电极间的电场强度最大。其结果是，能够在跨越第一电极部2和第二电极部3两者的位置稳定地吸附工件300。
61.＜4.变形例＞图6是示出变形例的工件吸附装置100a的结构的概略图。在图6中，工件吸附装置100a所具有的吸附头1a用剖视图示出。图7是变形例的工件吸附装置100a所具有的吸附头1a的分解立体图。变形例的吸附头1a通过将第一部件11a、第二部件12a和第三部件15这三个部件接合而构成。
62.三个部件11a、12a、15均为长方体形状。在第一部件11a的右侧面形成有第一电极部2a的一部分和第一配线部4a。在第二部件12a的左侧面形成有第二电极部3a的一部分和第二配线部5a。另外，第一电极部2a的剩余的一部分形成在第一部件11a的上表面。第二电极部3a的剩余的一部分形成于第二部件12a的上表面。
63.在本实施方式中，形成有第一电极部2a和第一配线部4a的第一部件11a与形成有第二电极部3a和第二配线部5a的第二部件12a相对于将吸附头1a向左方和右方二等分的二等分面对称。因此，第一部件11a和第二部件12a能够共用。
64.第三部件15配置在第一部件11a与第二部件12a的左右方向之间。详细而言，第三部件15的上下方向及前后方向的长度与第一部件11a及第二部件12a相同。因此，在第一部件11a和第二部件12a的左右方向上夹着第三部件15而构成的吸附头1a为长方体形状。
65.另外，在本变形例中，也优选设置覆盖第一电极部2a和第二电极部3a的电介质层。第一电极部2a经由第一配线部4a与电源部7a电连接。第二电极部3a经由第二配线部5a接地。
66.在吸附头1a中，第一电极部2a通过跨越作为吸附头1a的上表面的吸附面1aa和构成于吸附头1a的内部的第一面1ab而配置，从而具有第一角部2aa。第一面1ab是第一部件11a的右侧面。另外，第二电极部3a通过跨越作为吸附头1a的上表面的吸附面1aa和构成于吸附头1a的内部的第二面1ac而配置，从而具有第二角部3aa。第二面1ac是第二部件12a的
左侧面。
67.在本变形例中，在第一面1ab与第二面1ac之间配置有填埋在第一电极部2a与第二电极部3a之间形成的间隙的绝缘性的部件。详细而言，在第一面1ab与第二面1ac的左右方向之间，配置有对形成于第一电极部2a与第二电极部3a之间的间隙进行填埋的第三部件15。因此，第一电极部2a和第二电极部3a夹着第三部件15而相对。在本变形例中，第一角部2aa和第二角部3aa也相对。但是，在本变形例中，第一角部2aa和第二角部3aa隔着第三部件15间接地在左右方向上相对。
68.在本变形例中，也能够在静电吸附用的第一电极部2a和第二电极部3a相互面对的位置配置电场强度容易变大的第一角部2aa和第二角部3aa。因此，能够在第一电极部2a和第二电极部3a的电极间增强电场强度，能够在跨越一对电极部2a、3a双方的位置稳定地吸附工件。
69.＜5.注意事项＞在本说明书中公开的各种技术特征能够在不脱离其技术创造的主旨的范围内进行各种变更。另外，本说明书中所示的多个实施方式以及变形例可以在可能的范围内组合实施。
70.本发明能够利用于例如进行工件的拾取的机械手。符号说明
71.1、1a
…
吸附头；1a、1aa
…
吸附面；1b、1ab
…
第一面；1c、1ac
…
第二面；2、2a
…
第一电极部；2a、2aa
…
第一角部；3、3a
…
第二电极部；3a、3aa
…
第二角部；6
…
电介质层；7
…
电源部；100、100a
…
工件吸附装置；200
…
电沉积液；202
…
电沉积用电极；300
…
工件；s
…
间隙。