工件吸附装置及工件吸附装置的制造方法与流程

技术特征：
1.一种工件吸附装置，其吸附工件，其特征在于，具有吸附头，该吸附头配置有第一电极部及第二电极部，通过在所述第一电极部与所述第二电极部之间形成的电场来静电吸附所述工件，所述第一电极部通过跨越所述吸附头的吸附所述工件的吸附面和与所述吸附面连接的第一面这两个面而配置，从而具有第一角部，所述第二电极部通过跨越所述吸附头的所述吸附面和与所述吸附面连接的第二面这两个面而配置，从而具有第二角部，所述第一角部与所述第二角部相对。2.如权利要求1所述的工件吸附装置，其特征在于，所述第一面和所述第二面是设置在所述吸附头的内部的面。3.如权利要求1或2所述的工件吸附装置，其特征在于，所述吸附头由至少一个绝缘部件构成。4.如权利要求1至3中任一项所述的工件吸附装置，其特征在于，在所述第一面与所述第二面之间设置有将所述第一角部与所述第二角部之间隔开的间隙。5.如权利要求1至3中任一项所述的工件吸附装置，其特征在于，在所述第一面与所述第二面之间配置有绝缘性的部件，该绝缘性的部件填埋形成于所述第一电极部与所述第二电极部之间的间隙。6.如权利要求1至5中任一项所述的工件吸附装置，其特征在于，还具有与所述第一电极部电连接的电源部，所述第二电极部接地。7.如权利要求1至6中任一项所述的工件吸附装置，其特征在于，所述吸附头具有覆盖所述第一电极部及所述第二电极部的至少一部分的电介质层。8.一种工件吸附装置的制造方法，是权利要求7所述的工件吸附装置的制造方法，其特征在于，具有：第一工序，将所述吸附头的至少一部分和电沉积用电极放入电沉积液内；以及第二工序，在所述第一工序后，将所述第一电极部及所述第二电极部和所述电沉积用电极中的一方作为正极，将另一方作为负极，施加电压，形成所述电介质层。9.一种工件吸附装置的制造方法，该工件吸附装置具有支撑体，该支撑体配置有电极部，该电极部通过跨越两个面而形成，从而具有角部，该工件吸附装置使用所述电极部来静电吸附工件，其特征在于，该工件吸附装置的制造方法具有：第一工序，将所述支撑体和电沉积用电极放入电沉积液内；以及第二工序，在所述第一工序之后，将所述电极部和所述电沉积用电极中的一方作为正极，将另一方作为负极来施加电压，从而在所述电极部上形成电介质层。

技术总结
吸附工件的工件吸附装置具有吸附头，该吸附头配置有第一电极部和第二电极部，通过在所述第一电极部和所述第二电极部之间形成的电场来静电吸附所述工件。所述第一电极部通过跨越所述吸附头的吸附所述工件的吸附面和与所述吸附面连接的第一面这两个面而配置，从而具有第一角部。所述第二电极部通过跨越所述吸附头的所述吸附面和与所述吸附面连接的第二面这两个面而配置，从而具有第二角部。所述第一角部和所述第二角部相对。角部和所述第二角部相对。角部和所述第二角部相对。


技术研发人员：西川和宏 上田贵大
受保护的技术使用者：日本电产株式会社
技术研发日：2020.12.24
技术公布日：2023/2/23