一种二级加热反应腔体装置

技术特征：
1.一种二级加热反应腔体装置，其特征在于，所述装置的组成部分包括：进气端密封法兰(1)、第一级加热装置(2)、第二级加热装置(3)、压力表(4)、真空泵(5)、出气端密封法兰(6)、反应腔体(8)、气动阀ⅱ(9)和气动阀ⅰ(10)；反应腔体(8)的出气端和进气端，分别安装有出气端密封法兰(6)和进气端密封法兰(1)，进气端密封法兰(1)和出气端密封法兰(6)用于对反应腔体(8)进行密封；第一级加热装置(2)和第二级加热装置(3)构成二级加热结构，第二级加热装置(3)采用激光器；气动阀ⅱ(9)和气动阀ⅰ(10)安装于反应腔体(8)外，并分别通过输气管穿过进气端密封法兰(1)伸入反应腔体(8)。2.根据权利要求1所述的二级加热反应腔体装置，其特征在于，真空泵(5)通过输气管连接出气端密封法兰(6)，用于将反应腔体(8)内抽真空；出气端密封法兰(6)处还安装有压力表(4)。3.根据权利要求1所述的二级加热反应腔体装置，其特征在于，第一级加热装置(2)的加热温度为20～100摄氏度；第二级加热装置(3)的加热温度为200～500摄氏度。4.根据权利要求1所述的二级加热反应腔体装置，其特征在于，第一级加热装置(2)采用电阻丝加热方式。5.根据权利要求1所述的二级加热反应腔体装置，其特征在于，第二级加热装置(3)，采用激光加热方式；第二级加热装置(3)与通断开关连接，所述通断开关用于触发第二级加热装置(3)的供电断开或闭合，从而控制第二级加热装置(3)所发出激光的通断。6.根据权利要求1所述的二级加热反应腔体装置，其特征在于，制造反应腔体(8)的材料为石英或蓝宝石。

技术总结
本实用新型实施例公开了一种二级加热反应腔体装置，涉及原子层沉积技术领域，能够降低能源的消耗。本实用新型包括：进气端密封法兰，第一级加热装置，第二级加热装置，压力表，真空泵，出气端密封法兰，反应腔体，气动阀Ⅱ，气动阀Ⅰ。所述的进气端密封法兰和出气端密封法兰，用来对反应腔体进行密封，保证必要的真空度和避免反应物外泄。所述的第一级加热装置，采用电加热方式，用来对前驱体源路进行预加热，使流经参与反应的前驱体源满足一定的温度要求，激发其活性。所述第二级加热装置，采用激光加热方式，通过控制激光的通断，来对待沉积样品进行灵活加热，既能满足反应效率，又能满足反应所需的具有能量。满足反应所需的具有能量。满足反应所需的具有能量。


技术研发人员：吕俊彦 黄亚洲 周雨轲 张云飞 訾豪 杨东方
受保护的技术使用者：南京工程学院
技术研发日：2022.09.02
技术公布日：2023/2/23