一种设置具有制冷水路的纳米压印及半导体设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及一种设置有制冷水路的纳米压印工作台及半导体设备。


背景技术：

2.现有技术下用于纳米压印设备的纳米压印工作台，大多功能较为单一，仅能够对基板上的纳米压印胶、模板或样品进行加热，而无法对其进行制冷，即便有些纳米压印工作台同时具备制冷功能，但大多通过外部冷却装置帮助其散热，以此方式设计的纳米压印设备，制冷效率低，操作麻烦且比较占用空间。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种设置有制冷水路的纳米压印工作台，用以解决现有纳米压印工作台制冷效率低、操作麻烦且占用空间的技术问题。
4.第一方面，本实用新型实施例提供一种设置有制冷水路的纳米压印工作台，其特征在于，包括：真空吸盘，所述真空吸盘设置有制冷水路；加热组件，设置于所述真空吸盘底部；制冷组件，与所述制冷水路相连接，用于对加热后的所述真空吸盘制冷；风干组件，与所述制冷组件并联，用于对制冷后的所述制冷水路风干。电控组件，用于对所述加热组件、所述制冷组件及所述风干组件三种工作模式进行相互切换和控制。
5.优选地，所述制冷水路包括：若干通孔，水平贯穿于所述真空吸盘内，平行间隔设置且与所述真空吸盘上表面相邻；若干第一快速接头，若干所述通孔通过对应的所述第一快速接头依次串联后与制冷组件贯通连接。
6.优选地，所述加热组件包括隔热板以及设置于所述隔热板上方的加热件。
7.优选地，所述制冷组件包括：依次贯通连接的水箱和水泵；三通接头，分别连接所述制冷水路的入水口和所述电控组件；制冷水路的出水口与所述水箱贯通连接。
8.优选地，所述水箱中设有与外部制冷设备相连接的制冷液。
9.优选地，所述电控组件为电磁阀，连接水泵与三通接头。
10.优选地，所述风干组件包括与所述三通接头依次连接的气阀和外部气压装置，当所述纳米压印工作台由制冷状态向加热状态转换时，将电磁阀与水泵关闭，从而停止向制冷水路中注入制冷液，之后气阀被打开，外部气压装置被启动以向制冷水路中吹入气体。
11.优选地，当所述纳米压印工作台由加热状态向制冷状态转换时，所述电磁阀和所述水泵被重新打开，以此进入下一循环；；当所述纳米压印工作台由加热状态向制冷状态转换时，所述电磁阀和所述水泵被重新打开，以此进入下一循环。
12.优选地，所述真空吸盘的盘体内部设有多个负压通道，所述真空吸盘外部设有多个第二快速接头，所述多个负压通道分别与沿径向方向由内向外分布于真空吸盘盘面的多个吸附区对应贯通连接，所述多个负压通道分别通过对应的所述第二快速接头与外部对应的负压装置相贯通。
13.第二方面，本实用新型实施例提供一种半导体加工设备，其包括以上任一的设置有制冷水路的纳米压印工作台。
14.综上所述，本实用新型的有益效果如下：
15.通过该纳米压印工作台集加热与制冷为一体，在纳米压印过程中，能够对成型后的纳米压印胶体进行迅速的固化，而且不会对纳米工作台的加热功能造成影响，具有制冷效率高，方便实用的优点，且不会占用较大空间。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，这些均在本实用新型的保护范围内。
17.图1为本实用新型实施例提供的设置有制冷水路的纳米压印工作台的俯视图；
18.图2为本实用新型实施例提供的设置有制冷水路的纳米压印工作台的a-a剖面图；
19.图3为本实用新型实施例提供的设置有制冷水路的纳米压印工作台的制冷水路示意图。
20.图中零件部件及编号：1-固定板；2-隔热板；3-真空吸盘；4-加热件；5-制冷水路；51-通孔；52-第一快速接头；6-制冷组件；61-水箱；62-水泵；63-电磁阀；64-三通接头；65-气阀；66-气压装置；7-第二快速接头。
具体实施方式
21.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。在本(实用新型或实用新型)的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本(实用新型或实用新型)的限制。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。如果不冲突，本(实用新型或实用新型)施例以及实施例中的各个特征可以相互结合，均在本实(实用新型或实用新型)的保护范围之内。
22.请参见图1至图3，本实用新型实施例提供了一种设置有制冷水路的纳米压印工作台，包括：固定板1，用于固定工作台各类组件；真空吸盘3，设置于固定板1上方，用于纳米压印过程中对工件进行真空吸附；加热组件，设置于真空吸盘3与固定板1之间，用于纳米压印过程中对工件进行加热；制冷水路5，设置于真空吸盘3内，制冷液在制冷水路5中流动，给工
件起到降温作用；制冷组件6，与制冷水路5相连接，控制制冷液的流动。制冷水路5与制冷组件6的相互配合，对工件进行制冷，使成型的纳米压印胶体迅速固化；更进一步地，本纳米压印工作台还包括：风干组件，与制冷组件并联，用于对制冷后的制冷水路5风干；电控组件，用于对加热组件、制冷组件及风干组件三种工作模式进行相互切换和控制。
23.更进一步的，制冷水路5包括水平贯穿开设于真空吸盘3的多个通孔51，多个通孔51平行间隔设置且与真空吸盘3的上表面相邻设置，制冷液通过通孔51在制冷水路5内流动，给真空吸盘3起到降温的作用，使加工的工件迅速固化。制冷水路5的多个通孔51平行间隔设置，均匀分布在真空吸盘3的最大范围内，使整个真空吸盘3能够受到制冷液的冷却。
24.多个通孔51通过第一快速接头52依次串联后与制冷组件6贯通连接，制冷组件6控制制冷液进出流动，对制冷液进一步降温加工，加强降温效果，通过控制液体进出达到冷热功能转化且不影响工作台的加热功能。
25.加热组件包括隔热板2以及设置于所述隔热板上方的加热件4；隔热板2，设置于固定板1上方，加热时隔绝温度，避免热量影响其他组件；加热件4，产生热量对工件进行加热。
26.更进一步的，制冷组件6包括依次贯通连接的水箱61，用于储存制冷液；水泵62，与水箱61连接，给制冷水路输送液体，控制液体进出流动；三通接头64，连接制冷水路5与制冷组件6。通过多重控制液体流动，确保液体的流动效果，与加热功能配合，通过开关控制避免影响工作台的加热功能。其中电控组件为电磁阀63，与水泵62连接，电力开关控制液体流动。
27.更进一步的，制冷水路5设有入水口与出水口，其中制冷水路5的入水口通过三通接头64与电磁阀63相连接，电磁阀63可控制液体进入制冷水路5的开关；制冷水路5的出水口与水箱61贯通连接，液体在真空吸盘3流动完成制冷后，从出水口流回水箱61，以达到循环利用的目的。
28.更进一步的，风干组件包括与三通接头依次连接的气阀65和外部气压装置66，气阀65与三通接头64连接，控制气压装置66的气体输送与增压；气压装置66与气阀连接，控制气体的输送与增压，能够通过与三通接头64与制冷水路5连接，向制冷水路5吹送气体，将制冷水路5中残留的液体吹回水箱61中，能够起到干燥制冷水路5的目的。
29.为了进一步的提升制冷效率，本方案中水箱61中的制冷液可与外部制冷设备相连接，以此更加高效的对制冷液进行冷却，使制冷液在流动时候增加降温效率，加快工作台冷热循环的工作效率。
30.更进一步的，本方案中的真空吸盘3的外部接有第二快速接头7，真空吸盘3的盘体内部设置有多个负压通道，多个负压通道分别与沿径向方向由内向外分布于真空吸盘盘面的多个吸附区对应贯通连接，多个负压通道分别通过第二快速接头7与外部对应的负压装置相贯通。负压装置通过第二快速接头7连接真空吸盘3吸附真空，用于固定产品。
31.本实用新型实施例的纳米压印工作台集加热与制冷为一体，在纳米压印过程中，能够对成型后的纳米压印胶体进行迅速的固化，而且不会对冷纳米工作台的加热功能造成影响。
32.优选的，当该纳米压印工作台开始加热时，水泵62、电磁阀63、气阀65以及气压装置66均处于关闭状态。完成加热加工后，依次打开水泵62、电磁阀63，水箱61通过水泵62向制冷水路5注入制冷液；制冷液通过在制冷水路5中流动冷却真空吸盘3，帮助工件迅速固
化。完成制冷状态后向加热状态转换时，先依次关闭水泵62、电磁阀63，停止向制冷水路中注入制冷液，之后在打开气阀65，启动外部气压装置66向制冷水路5中吹入气体，以此将制冷水路5中残留的液体吹入水箱61中，同时还能够起到干燥制冷水路5的目的；当纳米压印工作台开始加热时，将气阀65和外部气压装置66关闭。之后由加热状态向制冷状态转换时，将上述电磁阀63和水泵62重新打开，重新注入制冷液冷却真空吸盘3，以此进入下一工作循环。
33.为实现本实用新型再一个目的，提供了一种半导体加工设备，所述设备包括上述设置有制冷水路的纳米压印工作台，能获得以上任一种的纳米压印工作台的有益效果，在此不再赘述，因此，半导体加工设备具有集加热与制冷为一体的纳米压印工作台，具有制冷水路，在纳米压印过程中能够对成型后的纳米压印胶体进行迅速的固化，而且不会对纳米工作台的加热功能造成影响。
34.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本(实用新型或实用新型)的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。