一种设置具有制冷水路的纳米压印及半导体设备的制作方法

技术特征：
1.一种设置有制冷水路的纳米压印工作台，其特征在于，包括：真空吸盘，所述真空吸盘设置有制冷水路；加热组件，设置于所述真空吸盘底部用于对所述真空吸盘加热；制冷组件，与所述制冷水路相连接，用于对加热后的所述真空吸盘制冷；风干组件，与所述制冷组件并联，用于对制冷后的所述制冷水路风干；电控组件，用于对所述加热组件、所述制冷组件及所述风干组件三种工作模式进行相互切换和控制。2.根据权利要求1所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述制冷水路包括：水平贯穿于所述真空吸盘内的若干通孔，所述若干通孔平行间隔设置且与所述真空吸盘上表面相邻；若干第一快速接头，若干所述通孔通过对应的所述第一快速接头依次串联后与所述制冷组件贯通连接。3.根据权利要求1所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述加热组件包括隔热板以及设置于所述隔热板上方的加热件。4.根据权利要求1所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述制冷组件包括：依次贯通连接的水箱和水泵；三通接头，分别连接所述制冷水路的入水口和所述电控组件；所述制冷水路的出水口与所述水箱贯通连接。5.根据权利要求4所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述水箱中设有与外部制冷设备相连接的制冷液。6.根据权利要求5所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述电控组件包括与三通接头和水泵相连接的电磁阀。7.根据权利要求6所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述风干组件包括与所述三通接头依次连接的气阀和外部气压装置，当所述纳米压印工作台由制冷状态向加热状态转换时，将所述电磁阀与所述水泵关闭，从而停止向所述制冷水路中注入制冷液，之后所述气阀被打开，所述外部气压装置被启动以向所述制冷水路中吹入气体。8.根据权利要求7所述的纳米压印工作台，其特征在于，当所述纳米压印工作台开始加热时，所述气阀和所述外部气压装置被关闭；当所述纳米压印工作台由加热状态向制冷状态转换时，所述电磁阀和所述水泵被重新打开，以此进入下一循环。9.根据权利要求1所述的纳米压印工作台，其特征在于，所述真空吸盘的盘体内部设有多个负压通道，所述真空吸盘外部设有多个第二快速接头，所述多个负压通道分别与沿径向方向由内向外分布于所述真空吸盘盘面的多个吸附区对应贯通连接，所述多个负压通道分别通过对应的所述第二快速接头与外部对应的负压装置相贯通。10.一种半导体加工设备，其特征在于，所述设备包括如权利要求1至9任一项所述的设置有制冷水路的纳米压印工作台。

技术总结
本实用新型属于本实用新型涉及半导体设备技术领域，解决了现有技术中功能较为单一，具有加热功能，而无法对其进行制冷，或大多通过外部冷却装置帮助其散热，以此方式设计的纳米压印设备，制冷效率低，操作麻烦且比较占用空间。提供了一种具有制冷水路的纳米压印工作台及半导体加工设备。该工作台包括：固定板；隔热板，设置于固定板上方；真空吸盘，设置于隔热板上方；加热件，设置于真空吸盘与隔热板之间；制冷水路，设置于真空吸盘内；制冷组件，与制冷水路相连接。本实用新型纳米压印工作台集加热与制冷为一体，且不会对纳米工作台的加热功能造成影响，具有制冷效率高，方便实用的优点，且不会占用较大空间。不会占用较大空间。不会占用较大空间。


技术研发人员：娄飞
受保护的技术使用者：深圳市雕拓科技有限公司
技术研发日：2022.08.30
技术公布日：2023/2/23