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一种α-钨酸亚锡薄膜及其制备方法与应用

2023-02-19 08:50:53 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种α-钨酸亚锡薄膜的制备方法,其特征在于包括:在真空条件下使氧化钨薄膜与包含亚锡源的蒸汽流接触反应,从而制得α-钨酸亚锡薄膜。2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于包括:将所述氧化钨薄膜、亚锡源置于反应腔体中,并使所述反应腔体内形成真空环境,再使反应腔体内的温度升至300~550℃,以使所述亚锡源形成蒸汽流并与氧化钨薄膜接触反应,从而制得所述α-钨酸亚锡薄膜。3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于:在对所述反应腔体进行抽真空处理以形成所述真空环境之前,所述反应腔体内为无氧环境或惰性气体气氛;和/或,所述真空环境的气压为0~10pa;和/或,所述反应腔体中氧化钨薄膜与亚锡源的距离为0~10cm,优选为3~10cm;和/或,所述反应的时间为0.2~2h。4.根据权利要求i所述的制备方法,其特征在于:所述氧化钨薄膜包括wo3薄膜或含结晶水氧化钨薄膜;优选的,所述含结晶水氧化钨薄膜包括wo3·
h2o薄膜;优选的,所述氧化钨薄膜的厚度大于0且小于或等于200nm;和/或,所述亚锡源包括sncl2和/或snf2。5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于还包括:采用水热法和/或热蒸镀法在基底表面制备氧化钨薄膜,从而获得wo3薄膜/基底或wo3·
h2o薄膜/基底;优选的,所述基底包括fto导电玻璃、硅片或钛片。6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于还包括:将所述wo3薄膜/基底或wo3·
h2o薄膜/基底于300~600℃进行焙烧处理,获得wo3薄膜/基底。7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于还包括:在所述的反应完成后,采用无机酸和水对所获反应产物进行清洗处理;优选的,所述无机酸包括稀盐酸、稀硝酸、稀硫酸中的任意一种或两种以上的组合。8.由权利要求1-7中任一项所述方法制备的α-钨酸亚锡薄膜;优选的,所述α-钨酸亚锡薄膜的间接带隙为1.9~2.1ev;优选的,所述α-钨酸亚锡薄膜的功函数为4.4~4.5ev;优选的,所述α-钨酸亚锡薄膜的厚度为200~800nm。9.权利要求8所述的α-钨酸亚锡薄膜于光电催化反应、光催化反应或制备气体传感器中的用途。10.一种n型半导体材料,其特征在于包含权利要求8所述的α-钨酸亚锡薄膜。

技术总结
本发明公开了一种α-钨酸亚锡薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括:在真空条件下使氧化钨薄膜与包含亚锡源的蒸汽流接触反应,从而制得α-钨酸亚锡薄膜。本发明采用亚锡蒸气法制得α-钨酸亚锡薄膜的具有优异的光学带隙,能够较好的应用于光电催化、光催化或气体传感器等领域,同时本发明的亚锡蒸气法操作简单,成本低,能够实现大规模的商品化应用。能够实现大规模的商品化应用。能够实现大规模的商品化应用。


技术研发人员:况永波 朱帅汝 刘德宇
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2021.08.17
技术公布日:2023/2/17
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