一种炉管设备及晶圆位置检测方法与流程

技术特征：
1.一种炉管设备，其特征在于，包括：反应炉，用于加热处理晶圆；底座，位于所述反应炉正下方，所述底座承载晶舟以及设置在所述晶舟内的晶圆，并且带动所述晶舟和晶圆旋转；炉门，用于封闭所述反应炉，所述炉门朝向所述底座的一面安装有测距传感器，所述测距传感器用于在垂直晶圆表面的方向探测所述晶圆的边缘位置，所述炉门处于打开状态时，所述底座能够沿垂直晶圆表面方向移动，所述炉门处于闭合状态时，所述炉门能够密闭所述反应炉。2.如权利要求1所述的炉管设备，其特征在于，还包括安装底座，设置于所述炉门朝向所述底座的一面，用于安装所述测距传感器。3.如权利要求2所述的炉管设备，其特征在于，所述安装底座上设置有位置调整槽，用于调整所述安装底座在所述炉门上的位置。4.如权利要求1所述的炉管设备，其特征在于，还包括冷却单元，安装于所述炉门朝向所述底座的一面，设置在所述测距传感器四周。5.如权利要求4所述的炉管设备，其特征在于，所述冷却单元包括：固定支架，将所述冷却单元固定安装于所述炉门朝向所述底座的一面；至少一层冷却管道，用于冷却液体流通。6.如权利要求4所述的炉管设备，其特征在于，所述冷却单元为镂空结构，镂空部分的位置与所述测距传感器的位置对应。7.如权利要求1所述的炉管设备，其特征在于，所述测距传感器在所述炉门上的位置与所述晶圆在所述炉门表面的投影中心的距离为晶圆半径加3-6毫米。8.如权利要求1所述的炉管设备，其特征在于，还包括报警模块，与所述测距传感器通讯连接，在所述测距传感器探测所述晶圆的边缘位置异常时，所述报警模块发出警报。9.一种晶圆位置检测方法，其特征在于，包括：关闭反应炉的炉门；通过底座带动所述底座承载的晶舟以及设置在所述晶舟内的晶圆旋转；使用安装在所述炉门朝向所述底座的一面的测距传感器在垂直晶圆表面的方向探测所述晶圆的边缘位置。10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，还包括：在所述晶圆的边缘位置异常时，通过报警模块发出警报。11.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，还包括：通过冷却单元对测距传感器四周的环境进行降温处理。

技术总结
本申请提供一种炉管设备及晶圆位置检测方法，所述炉管设备包括：反应炉，用于加热处理晶圆；底座，位于所述反应炉正下方，所述底座承载晶舟以及设置在所述晶舟内的晶圆，并且带动所述晶舟和晶圆旋转；炉门，用于封闭所述反应炉，所述炉门朝向所述底座的一面安装有测距传感器，所述测距传感器用于在垂直晶圆表面的方向探测所述晶圆的边缘位置。本申请提供一种炉管设备及晶圆位置检测方法，在晶圆正上方设置测距传感器，检测时，底座带动晶舟和晶圆自转，实现对晶舟上的晶圆全方位无死角进行检测，提高检测效率和准确度，并且传感器位置固定，不需要移动，检测过程不会影响晶圆。检测过程不会影响晶圆。检测过程不会影响晶圆。


技术研发人员：徐亚平
受保护的技术使用者：中芯南方集成电路制造有限公司
技术研发日：2021.08.17
技术公布日：2023/2/17