排放方法、排放系统及基底处理设备与流程

1.本发明的实施例涉及一种排放方法、排放系统及包括排放系统的基底处理设备。更具体地，本发明的实施例涉及一种排放显示装置的制造工艺中的工艺副产物的方法、用于执行排放工艺副产物的方法的工艺副产物排放系统以及包括工艺副产物排放系统的基底处理设备。


背景技术：

2.由于诸如重量轻和结构薄的平板显示装置的特性，平板显示装置正在取代阴极射线管显示装置。例如，平板显示装置包括液晶显示装置和有机发光显示装置。
3.在显示装置的制造工艺中所产生的排放产物可以通过排放管线被排放到安装在外部的洗涤器，并且可以在洗涤器中净化后被排放到大气中。除了具有气态的排放物外，排放产物还可以包括粉末形式的工艺副产物。


技术实现要素：

4.当粉末形式的工艺副产物沉积在排放管线内部时，排放管线可能被堵塞，使得可能泄漏排放物(也称为排放产物)。
5.本发明的特征在于提供一种能够降低成本并且改善稳定性的排放方法。
6.本发明的另一特征在于提供一种能够降低成本并且改善稳定性的排放系统。
7.本发明的又一特征在于提供一种能够降低成本并且改善稳定性的基底处理设备。
8.本发明的附加特征将在下面的描述中阐述，并且部分地将从该描述变得显而易见，或者可以通过本发明的实践而获知。
9.实施例中的排放方法可以包括：将包括第一排放气体和固体副产物的排放产物从在真空状态下执行基底处理工艺的工艺腔排放到收集装置的内部中；在所述收集装置中收集所述固体副产物；将从装载锁定腔排放出的第二排放气体的一部分引入到所述收集装置中；以及在所述收集装置中使所述固体副产物汽化，并且将汽化的固体副产物排放到所述收集装置的外部。
10.在实施例中，所述固体副产物可以通过在所述收集装置中与所述第二排放气体的所述一部分反应而汽化。
11.在实施例中，所述第二排放气体可以具有比大气的含水量高的含水量。
12.在实施例中，从所述工艺腔排放出的第一排放气体的压力可以低于从所述装载锁定腔排放出的所述第二排放气体的压力。
13.在实施例中，可以将大气空气与所述第二排放气体的所述一部分一起引入到所述收集装置的所述内部中。所述固体副产物可以通过在所述收集装置中与所述大气空气和/或所述第二排放气体的所述一部分反应而汽化。
14.在实施例中，从所述工艺腔排放出的所述第一排放气体的压力可以低于从所述装载锁定腔排放出的所述第二排放气体的压力和大气压力中的每一者。
15.实施例中的排放系统执行：包括第一排放气体和固体副产物的排放产物的排放；第二排放气体的排放；所述固体副产物的收集；收集的固体副产物的汽化；以及汽化的固体副产物的排放，所述排放系统可以包括：第一泵，所述第一泵用于将包括所述第一排放气体和所述固体副产物的排放产物从在真空状态下执行基底处理工艺的工艺腔排放出；第二泵，所述第二泵用于将所述第二排放气体从装载锁定腔排放出；收集装置，所述收集装置连接到所述第一泵，从自所述第一泵排放出的所述排放产物收集所述固体副产物，使所述收集的固体副产物汽化，并且将所述汽化的固体副产物排放到洗涤器；以及进口装置，所述进口装置连接到所述第二泵和所述收集装置，并且将从所述第二泵排放出的所述第二排放气体的一部分引入到所述收集装置中。
16.在实施例中，所述固体副产物可以通过在所述收集装置中与所述第二排放气体的所述一部分反应而汽化。
17.在实施例中，第二排放气体可以具有比大气的含水量高的含水量。
18.在实施例中，从所述第一泵排放出的所述第一排放气体的压力可以低于从所述第二泵排放出的所述第二排放气体的压力。
19.在实施例中，所述进口装置可以将大气空气与所述第二排放气体的所述一部分一起引入到所述收集装置中。所述固体副产物可以通过在所述收集装置中与所述大气空气和/或所述第二排放气体的所述一部分反应而汽化。
20.在实施例中，从所述第一泵排放出的所述第一排放气体的压力可以低于从所述第二泵排放出的所述第二排放气体的压力和大气压力中的每一者。
21.在实施例中，所述排放系统可以进一步包括排放管线，所述排放管线连接到所述第二泵并且将从所述第二泵排放出的所述第二排放气体排放到所述洗涤器。所述进口装置可以包括：第一进口，所述第一进口连接到所述排放管线并且接收第二排放气体的所述一部分；以及排放口，所述排放口连接到所述收集装置并且将所述第二排放气体的所述一部分排放到所述收集装置中。
22.在实施例中，所述收集装置的内部压力可以低于所述排放管线的内部压力。
23.在实施例中，所述收集装置可以包括：第一进口，所述第一进口连接到所述第一泵并且接收所述排放产物；第二进口，所述第二进口连接到所述进口装置的所述排放口并且接收所述第二排放气体的所述一部分；以及排放口，所述排放口将所述第一排放气体以及在所述固体副产物汽化时生成的气态副产物排放到所述洗涤器。
24.在实施例中，所述进口装置可以进一步包括第二进口，所述第二进口暴露于外部并且接收大气空气。
25.在实施例中，所述收集装置的内部压力可以低于所述排放管线的内部压力和大气压力中的每一者。
26.实施例中的基底处理设备执行：包括通过处理基底产生的第一排放气体和固体副产物的排放产物的排放；第二排放气体的排放；固体副产物的收集；收集的固体副产物的汽化；以及汽化的固体副产物的排放，所述基底处理设备可以包括：工艺腔，在所述工艺腔中限定了在真空状态下执行基底处理工艺的内部空间；装载锁定腔，所述装载锁定腔连接到所述工艺腔，并且在所述装载锁定腔中限定了在执行所述基底处理工艺之前或之后所述基底所停留在的内部空间；第一泵，所述第一泵用于将包括所述第一排放气体和所述固体副
产物的所述排放产物从所述工艺腔排放出；第二泵，所述第二泵用于将所述第二排放气体从所述装载锁定腔排放出；收集装置，所述收集装置连接到所述第一泵，从自所述第一泵排放出的所述排放产物收集所述固体副产物，并且通过使所述收集的固体副产物汽化来排放所述收集的固体副产物；进口装置，所述进口装置连接到所述第二泵和所述收集装置，并且将从所述第二泵排放出的所述第二排放气体的一部分引入到所述收集装置中；以及洗涤器，所述洗涤器连接到所述收集装置和所述第二泵。
27.在实施例中，所述固体副产物可以通过在所述收集装置中与所述第二排放气体的所述一部分反应而汽化。
28.在实施例中，所述进口装置可以将大气空气与所述第二排放气体的所述一部分一起引入到所述收集装置中。所述固体副产物可以通过在所述收集装置中与所述第二排放气体的所述一部分和/或所述大气空气反应而汽化。
29.本发明的实施例中的基底处理设备包括：收集装置，所述收集装置用于收集从所述工艺腔排放出的所述排放产物之中的粉末形式的固体副产物；以及所述进口装置，所述进口装置连接到所述收集装置以将进口气体引入到所述收集装置中。收集在所述收集装置内部的所述固体副产物可以通过与所述进口气体反应而汽化。因此，基底处理设备可以防止设置在收集装置的后端处的排放管线被堵塞。因此，可以防止气体从排放管线泄漏，并且可以改善基底处理设备的稳定性。
30.另外，所述进口气体可以包括从所述装载锁定腔排放出的排放气体的一部分以及大气空气。因此，基底处理设备不使用用于使固体副产物汽化所需的单独的反应气体，因此可以降低基底处理设备的装备成本并且可以改善稳定性。
31.应当理解的是上述一般描述和以下详细描述两者均是示例性和解释性的并且旨在提供对所要求保护的本发明的进一步解释。
附图说明
32.被包括以提供对本发明的进一步理解并且被并入并构成本说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且与该描述一起用于解释本发明。
33.图1是示出了根据本发明的基底处理设备的配置的实施例的视图。
34.图2是示出了包括在图1的基底处理设备中的排放系统的配置的实施例的视图。
35.图3是示出了包括在图2的排放系统中的收集装置的配置的实施例的视图。
36.图4a是示出了第二排放管线的配置的实施例的视图，并且图4b是示出了第二排放管线的配置的另一实施例的视图。
具体实施方式
37.从以下结合附图的详细描述中将更清楚地理解说明性、非限制性的实施例。
38.将理解的是当元件被称为“在”另一元件“上”时，它可以直接在所述另一元件上，或者在所述元件与所述另一元件之间可以存在居间元件。相反，当元件被称为“直接在”另一元件“上”时，则不存在居间元件。
39.将理解的是尽管本文中可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各个元件、组件、区、层和/或部分，但是这些元件、组件、区、层和/或部分不应受这些术语的限制。这些
术语仅用于将一个元件、组件、区、层或部分与另一元件、组件、区、层或部分区分开。因而，在不脱离本文中的教导的情况下，可以将下面所讨论的“第一元件”、“第一组件”、“第一区”、“第一层”或“第一部分”称为“第二元件”、“第二组件”、“第二区”、“第二层”或“第二部分”。
40.本文中使用的术语仅是为了描述特定实施例的目的并且不旨在是限制性的。如本文中使用的，单数形式“一”、“一个(种/者)”以及“所述/该”旨在包括包含“至少一个(种/者)”的复数形式，除非上下文另有明确指示。“或”是指“和/或”。如本文中使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关所列项的任何和所有组合。将进一步理解的是术语“包括(comprises)”和/或“包含(comprising)”或者“包括(includes)”和/或“包含(including)”当在本说明书中使用时指定存在所述特征、区、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除存在或增加一个或多个其它特征、区、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
41.此外，可以在本文中使用诸如“下”或“底”以及“上”或“顶”的相对术语以描述如附图中所示的一个元件与另一元件的关系。将理解的是除了在附图中所描绘的方位之外，相对术语还旨在涵盖装置的不同方位。在实施例中，当附图之一中的装置被翻转时，被描述为在其它元件“下”侧上的元件随后将被定向在其它元件的“上”侧上。因此，示例性术语“下”可以依据附图的特定方位，涵盖“下”和“上”两个方位。类似地，当附图之一中的装置被翻转时，被描述为在其它元件“下方”或“下面”的元件随后将被定向为在其它元件“上方”。因此，示例性术语“在
……
下方”或“在
…
下面”可以涵盖在
……
上方和在
……
下方两个方位。
42.考虑到所讨论的测量以及与特定量的测量相关的误差(即，测量系统的局限性)，如本文中使用的“大约”或“大致”包括所陈述的值，并且意味着在由本领域中普通技术人员所确定的特定值的可接受的偏差范围内。例如，术语“大约”可以意味着在一个或多个标准偏差内或者在所陈述的值的
±
30％、
±
20％、
±
10％、
±
5％内。
43.除非另有定义，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域中的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。将进一步理解的是术语(诸如在常用字典中所定义的那些术语)应被解释为具有与其在相关领域和本发明的上下文中的含义一致的含义，并且不将以理想化或过于正式的含义来解释，除非本文中明确如此定义。
44.图1是示出了根据本发明的基底处理设备的配置的实施例的视图。
45.参考图1，本发明的实施例中的基底处理设备1000可以包括工艺腔110、装载锁定腔120、传送腔130、排放系统200以及洗涤器300。
46.可以在工艺腔110中限定对基底执行各种处理工艺(例如，蚀刻工艺、沉积工艺、热处理工艺等)的内部空间。在实施例中，例如，将由基底处理设备1000处理的基底可以是电子装置的基底、显示装置的基底或其中间产物的基底。
47.可以在装载锁定腔120中限定在执行基底处理工艺之前或之后基底所停留在的内部空间。在实施例中，例如，装载锁定腔120可以包括装载腔和卸载腔。可以在装载腔和卸载腔中的每一者中限定基底所停留在的内部空间。在将基底装载到用于基底处理工艺的工艺腔110中之前，基底可以暂时停留在装载腔中。在基底处理工艺完成之后从工艺腔110卸载的基底可以暂时停留在卸载腔中。
48.传送腔130可以设置在工艺腔110与装载锁定腔120之间。装载锁定腔120可以通过
传送腔130连接到工艺腔110。在实施例中，例如，一个传送腔130可以连接到多个工艺腔110。
49.用于传送基底的传送机器人可以设置在传送腔130内部。传送机器人可以将装载锁定腔120中的基底传送到工艺腔110中或将工艺腔110中的基底传送到装载锁定腔120中。
50.可以在真空状态下执行基底处理工艺。在实施例中，例如，工艺腔110的内部空间可以始终保持在真空状态。
51.装载锁定腔120的内部空间可以重复地具有真空状态和大气压力状态。在实施例中，例如，当在执行基底处理工艺之前将基底从外部(例如装载口(未示出))装载到装载锁定腔120中时，或者当在执行基底处理工艺之后将基底从装载锁定腔120卸载到外部时，装载锁定腔120的内部空间可以具有大气压力状态。另外，当在执行基底处理工艺之前将基底从装载锁定腔120卸载到传送腔130中时，或者当在执行基底处理工艺之后将基底从传送腔130装载到装载锁定腔120中时，装载锁定腔120的内部空间可以具有真空状态。
52.排放系统200可以泵送工艺腔110、装载锁定腔120和传送腔130中的每一者的内部空气以在工艺腔110、装载锁定腔120和传送腔130中的每一者的内部空间中形成真空状态。为了方便的目的，附图中仅示出了用于泵送工艺腔110的内部空气的第一泵220以及用于泵送装载锁定腔120的内部空气的第二泵230，但是排放系统200可以进一步包括用于泵送传送腔130的内部空气的泵。
53.排放系统200可以将排放产物从执行基底处理工艺的工艺腔110排放到洗涤器300。排放产物可以包括：在基底处理工艺中使用后排放出的各种气体(例如，源气体和净化气体等中的至少一种)以及在基底处理工艺期间产生的粉末形式的工艺副产物(在下文中称为固体副产物)。当固体副产物沉积在排放管线的内表面上时，排放管线可能被堵塞。因为这个原因，排放系统200可以将粉末形式的固体副产物转化为气态工艺副产物(以下称为，气态副产物)(即，使固体副产物汽化)，以便将气态副产物与排放气体一起排放到洗涤器300。下面将对此进行详细地描述。
54.洗涤器300可以净化从排放系统200排放出的气态副产物和排放气体。在实施例中，例如，洗涤器300可以分解气态副产物和排放气体以去除有害物质，并且然后将被分解的气态副产物和排放气体排放到大气。
55.图2是示出了包括在图1的基底处理设备中的排放系统的配置的实施例的视图。图3是示出了包括在图2的排放系统中的收集装置的配置的实施例的视图。图4a是示出了第二排放管线的配置的实施例的视图，并且图4b是示出了第二排放管线的配置的另一实施例的视图。
56.参考图1至图4b，在实施例中，排放系统200可以包括第一泵220、第二泵230、收集装置240、进口装置250以及多个管线211、212、213、214、215和216。
57.第一泵220可以通过第一泵送管线211连接到工艺腔110。在实施例中，例如，第一泵220可以连续地泵送工艺腔110的内部空气。因此，工艺腔110的内部空间可以始终保持在真空状态。
58.通过第一泵220的泵送，排放产物10a和10b可以沿着第一泵送管线211和第一排放管线213(例如，1-1排放管线213a)从工艺腔110的内部排放到洗涤器300。从工艺腔110排放出的排放产物10a可以包括：包含在基底处理工艺中使用之后排放出的各种气体(例如，源
气体和净化气体等中的至少一种)的第一排放气体11以及在基底处理工艺期间产生的粉末形式的固体副产物12。
59.收集装置240可以设置在第一排放管线213的中间部分。在实施例中，例如，收集装置240可以通过1-1排放管线213a连接到第一泵220，并且可以通过1-2排放管线213b连接到洗涤器300。也就是说，收集装置240可以设置在第一泵220与洗涤器300之间。
60.收集装置240可以从通过1-1排放管线213a引入的排放产物10a收集固体副产物12并且使收集的固体副产物12汽化。在实施例中，固体副产物12可以通过与由进口装置250引入到收集装置240的内部中的进口气体40反应而汽化。收集装置240可以通过1-2排放管线213b将固体副产物12汽化时生成的气态副产物13与第一排放气体11一起排放到洗涤器300。下面将详细地描述收集装置240。
61.第二泵230可以通过第二泵送管线212连接到装载锁定腔120。在实施例中，例如，第二泵230可以暂时泵送装载锁定腔120的内部空气。因此，装载锁定腔120的内部空间可以重复地具有真空状态和大气压力状态。
62.通过第二泵230的泵送，第二排放气体20可以沿着第二泵送管线212和第二排放管线214从装载锁定腔120的内部排放到外部。在实施例中，如图4a中所示，第二排放气体20(例如，第二排放气体20的剩余部分20b，其将在后面描述)可以被排放到大气。在另一实施例中，如图4b中所示，第二排放管线214的后端可以连接到洗涤器300，并且第二排放气体20(例如，第二排放气体20的剩余部分20b，其将在后面描述)可以被排放到洗涤器300。
63.在实施例中，从装载锁定腔120的内部排放出的第二排放气体20可以具有比大气的含水量高的含水量。
64.进口装置250可以连接到第二排放管线214和收集装置240中的每一者。也就是说，进口装置250可以连接到第二泵230和收集装置240中的每一者。进口装置250可以将进口气体40引入到收集装置240中。
65.在实施例中，如图2中所示，进口装置250可以包括第一进口252、第二进口254以及排放口256。在实施例中，例如，进口装置250可以是具有t形的喷射器。然而，本发明不局限于此，并且进口装置250可以具有各种其它形状。
66.第一进口252可以通过第一连接管线215连接到第二排放管线214。沿着第二排放管线214排放出的第二排放气体20的部分(或一部分)20a可以通过第一连接管线215和第一进口252被引入到进口装置250的内部中，并且第二排放气体20的剩余部分20b可以沿着第二排放管线214排放到外部(例如，排放到如图4a中所示的大气或如图4b中所示的洗涤器300)。
67.在实施例中，第二进口254可以暴露于外部(例如，暴露于大气)。大气空气30可以通过第二进口254被引入到进口装置250中。在另一实施例中，第二进口254可以连接到单独的气体供应装置(未示出)，并且从气体供应装置供应的预定量的气体可以通过第二进口254被引入到进口装置250中。
68.排放口256可以通过第二连接管线216连接到收集装置240。排放口256可以将包括引入到进口装置250中的第二排放气体20的部分20a以及大气空气30的进口气体40排放到进口装置250的外部。从排放口256排放的进口气体40可以通过第二连接管线216被引入到收集装置240中。
69.在实施例中，由于进口装置250的内部与第二排放管线214的内部之间的压力差，第二排放气体20的部分20a可以从第二排放管线214被引入到进口装置250中。另外，由于收集装置240的内部与进口装置250的内部之间的压力差，引入到进口装置250中的第二排放气体20的部分20a可以从进口装置250被引入到收集装置240中。
70.在实施例中，例如，由第一泵220从工艺腔110排放出的第一排放气体11的压力可以低于由第二泵230从装载锁定腔120排放出的第二排放气体20的压力。因此，收集装置240的内部压力可以低于第二排放管线214的内部压力。进口装置250的内部压力可以高于收集装置240的内部压力并且低于第二排放管线214的内部压力。因此，第二排放气体20的部分20a可以沿着第一连接管线215、第一进口252、排放口256以及第二连接管线216从第二排放管线214被引入到收集装置240中。第二排放气体20的部分20a可以在一个方向上流动而不会在相反方向上回流。
71.由于进口装置250的内部与大气之间的压力差，大气空气30可以从大气被引入到进口装置250中。另外，由于收集装置240的内部与进口装置250的内部之间的压力差，引入到进口装置250中的大气空气30可以从进口装置250被引入到收集装置240中。
72.在实施例中，例如，通过第一泵220从工艺腔110排放出的第一排放气体11的压力可以低于大气压力。因此，收集装置240的内部压力可以低于大气压力。进口装置250的内部压力可以高于收集装置240的内部压力并且低于大气压力。因此，大气空气30可以沿着第二进口254、排放口256以及第二连接管线216从大气被引入到收集装置240中。大气空气30可以在一个方向上流动而不会在相反方向上回流。
73.在另一实施例中，与附图中所示的配置不同，用于供应高压气体的气体供应装置可以连接到与排放口256背对的第一进口252，并且第二排放管线214可以连接到第二进口254。进口装置250中的高压气体的流路的截面面积可以从第一进口252朝向排放口256逐渐减小并且此后再次增大。因此，第二排放气体20的部分20a可以从第二排放管线214被吸入到第二进口254，通过排放口256被排放出并且被引入到收集装置240中。
74.在实施例中，如图3中所示，收集装置240可以包括第一进口241、第二进口242以及排放口243。
75.第一进口241可以连接到1-1排放管线213a。包括第一排放气体11和固体副产物12的排放产物10a可以通过第一进口241从1-1排放管线213a被引入到收集装置240的内部空间s中。
76.用于从排放产物10a收集固体副产物12的收集器244可以设置在收集装置240的内部空间s中。可以无限制地使用各种类型的收集器244，只要收集器244可以从排放产物10a收集粉末形式的固体副产物12即可。在实施例中，例如，各种类型的收集器可以包括旋风收集器、冷却收集器、电收集器等。
77.第二进口242可以连接到第二连接管线216。进口气体40可以通过第二进口242从进口装置250被引入到收集装置240的内部空间s中。引入到收集装置240的内部空间s中的进口气体40可以与由收集器244收集的固体副产物12反应以使固体副产物12汽化或使固体副产物12稀释。包括第二排放气体20的部分20a和大气空气30的进口气体40可以与固体副产物12具有相对高的反应性。在实施例中，例如，固体副产物12可以通过与包含在第二排放气体20的部分20a和大气空气30中的氮气、氧气和水分等中的至少一种反应而汽化。在实施
例中，例如，由于第二排放气体20具有相对高的含水量，因此通过与水分反应而汽化的固体副产物12(例如，包括氯成分或由氯成分组成的粉末等)可以被有效地汽化。
78.排放口243可以连接到1-2排放管线213b。包括第一排放气体11及在固体副产物12汽化时生成的气态副产物13的排放产物10b可以通过排放口243从收集装置240的内部空间s排放出，并且然后沿着1-2排放管线213b被排放到洗涤器300。
79.在本发明的实施例中，收集装置240可以收集从工艺腔110排放出的排放产物10a之中的粉末形式的固体副产物12。收集的固体副产物12可以通过与通过连接到收集装置240的进口装置250被引入到收集装置240中的进口气体40反应而汽化。收集装置240可以将固体副产物12汽化时生成的气态副产物13与第一排放气体11一起排放到洗涤器300。因此，基底处理设备1000可以防止设置在收集装置240的后端处的排放管线被堵塞。因此，可以防止气体从排放管线泄漏。因此，可以改善基底处理设备1000的稳定性。
80.另外，在本发明的实施例中，进口气体40可以包括从装载锁定腔120排放出的第二排放气体20的部分20a以及大气空气30。在这种情况下，因为从装载锁定腔120排放出的第二排放气体20具有相对高的含水量，因此通过与水分反应而汽化的固体副产物12(例如，包括氯成分或由氯成分组成的粉末等)可以被有效地汽化。另外，因为通过第二排放气体20的部分20a和/或大气空气30使固体副产物12汽化而不使用单独的反应气体来使固体副产物12汽化，因此可以降低基底处理设备1000的装备成本，并且可以改善稳定性。
81.上述内容是对实施例的说明并且不应被解释为对其进行限制。尽管已经描述了若干实施例，但是本领域技术人员将容易理解的是在实质上不脱离本发明的新颖教导和优点的情况下可以在实施例中进行许多修改。因此，所有这些修改旨在包含在如权利要求中所限定的本发明的范围内。因此，应当理解的是上述内容是对各种实施例的说明并且不应被解释为局限于所公开的实施例，并且对所公开的实施例及其它实施例的修改旨在包含在所附权利要求的范围内。