用于处理废气的等离子装置的制作方法

技术特征：
1.一种等离子装置，是与真空泵连接的用于处理废气的等离子装置，其特征在于，包括：等离子体火炬；废气注入部，其设于所述等离子体火炬的下部；反应腔室，其设于所述废气注入部的下部；等离子反应部，其包括所述等离子体火炬及设置成向所述反应腔室供应冷却水的冷却水腔室；冷却部，其形成于所述等离子反应部的下部且与所述等离子反应部相互连通，设有通道和包围所述通道的冷却水腔室；以及连接部，其连接所述冷却部和真空泵，其中，所述连接部设有用于阻断被真空泵压降的孔口。2.根据权利要求1所述的等离子装置，其特征在于：所述孔口包括堵住连接部的通道的主体及形成于所述主体的局部的至少一个孔口孔。3.根据权利要求2所述的等离子装置，其特征在于：所述孔口孔的大小随废气的流入流量成正比地增大。4.根据权利要求1所述的等离子装置，其特征在于：所述等离子反应部的等离子体火炬、废气注入部、反应腔室形成为一体型。5.根据权利要求1所述的等离子装置，其特征在于，所述等离子体火炬包括：阴极电极，具有内部实心的柱体形状；阴极电极体，其形成为包围所述阴极电极，具有下部鼓出的鼓出部；壳体，其罩住所述阴极电极及所述阴极电极体的上部；阳极电极体，其配置于所述阴极电极体的下部且相隔预定距离；等离子产生气体供应部，其配置于所述阴极电极体与所述阳极电极体之间，供应用于产生等离子的等离子产生气体；以及冷却水供应部，其向所述阴极电极体及所述阳极电极体供应冷却水。6.根据权利要求5所述的等离子装置，其特征在于：所述阴极电极的下部的一端在所述阴极电极体露出预定部分。7.根据权利要求5所述的等离子装置，其特征在于：所述鼓出部的内部形成有由圆筒形状的槽构成使得发生等离子产生气体的涡流的电弧产生部。8.根据权利要求5所述的等离子装置，其特征在于：所述阳极电极体的内部形成有直径趋向下部方向增大的圆筒形的排出部。9.根据权利要求5所述的等离子装置，其特征在于，所述等离子产生气体供应部包括：主体，其具有环形状且内部形成有空间；以及等离子产生气体注入管，其形成于所述主体注入气体。10.根据权利要求9所述的等离子装置，其特征在于：所述等离子产生气体注入管形成为与所述主体的内部空间的圆周方向相切，两个等离子产生气体注入管配置成构成180
°
。11.根据权利要求9所述的等离子装置，其特征在于：
所述等离子产生气体注入管的气体排出口的直径小于气体注入口的直径。12.根据权利要求1所述的等离子装置，其特征在于：设于所述反应腔室及冷却部的冷却水腔室的冷却水注入口设于冷却水腔室的最下端且冷却水排出口设于冷却水腔室的最上端以防止形成气体气泡。

技术总结
本发明涉及废气处理装置，具体涉及一种等离子装置，所述等离子装置包括：等离子体火炬；废气注入部，其设于所述等离子体火炬的下部；反应腔室，其设于废气注入部的下部；等离子反应部，其包括等离子体火炬及设置成向反应腔室供应冷却水的冷却水腔室；冷却部，其形成于等离子反应部的下部且与等离子反应部相互连通，设有通道和包围通道的冷却水腔室；连接部，其连接冷却部和真空泵，其中，连接部设有用于阻断被真空泵压降的孔口。所述等离子装置通过在与真空泵连接的连接部安装孔口阻断真空泵的压降，能够将等离子装置的包括等离子体火炬的等离子反应部的压力维持在接近常压的压力，因此能够减少等离子体火炬内钨电极磨损，延长电极寿命。极寿命。极寿命。


技术研发人员：尹钟珌
受保护的技术使用者：等离子科学系统株式会社
技术研发日：2022.08.10
技术公布日：2023/2/17