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光固化组合物及光刻胶的制作方法

2023-02-19 03:04:15 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种光固化组合物,其特征在于,所述光固化组合物包括树脂a、树脂b及交联剂;其中,所述树脂a为含有环氧基团的树脂;所述树脂b为含有式i所示糠酯结构的丙烯酸酯聚合物;所述式i中,r9表示氢、取代或未取代的c1~c
20
烷基;r8表示氢、取代或未取代的c1~c
20
烷基,x表示1~20的整数。2.根据权利要求1所述的光固化组合物,其特征在于,按重量份数计,所述光固化组合物包括20~60份的所述树脂a、5~10份的所述树脂b及1~10份的所述交联剂。3.根据权利要求1或2所述的光固化组合物,其特征在于,x表示3~10的整数;优选地,r8表示氢或甲基,r9表示氢或甲基;优选地,所述树脂b经含聚合性双键的活性单体和丙烯酸糠酯类单体通过共聚反应形成;优选地,所述活性单体为苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、对乙基苯乙烯、对氯苯乙烯、(甲基)丙烯酸、α-溴代(甲基)丙烯酸、α-氯代(甲基)丙烯酸、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯或(甲基)丙烯酸2-乙基己酯中的一种或多种。4.根据权利要求3所述的光固化组合物,其特征在于,所述丙烯酸糠酯类单体为甲基丙烯酸糠酯、丙烯酸糠酯或2-乙基丙烯酸糠酯中的一种或多种。5.根据权利要求1至3中任一项所述的光固化组合物,其特征在于,所述树脂b的重均分子量为6000~40000,优选为8000~30000。6.根据权利要求1至3中任一项所述的光固化组合物,其特征在于,所述树脂b的酸值为50~200mgkoh/g,优选为50~100mgkoh/g。7.根据权利要求1至3中任一项所述的光固化组合物,其特征在于,所述交联剂具有通式ⅱ所示的结构:
其中,r表示取代或未取代的c2~c
20
烷基、环烷基、c2~c
30
烷氧基、取代或未取代的c6~c
30
芳香基,或者,r为碳原子被n、o、s杂原子取代的杂环烷基;a表示0~30的整数,b表示1~30的整数。8.根据权利要求7所述的光固化组合物,其特征在于,所述通式ⅱ的交联剂为具有式a1至a32的化合物,其中,所述式a1至a32为:
9.根据权利要求8所述的光固化组合物,其特征在于,所述通式ⅱ的交联剂为具有式a2、a3、a5、a6、a7、a9、a16、a26或a32的化合物。10.根据权利要求1至3中任一项所述的光固化组合物,其特征在于,所述光固化组合物还包括光引发剂,所述光引发剂选自碘鎓盐、硫鎓盐或芳基茂铁盐中的一种或多种;优选所述光引发剂为具有式ⅲ和/或式ⅳ所示结构的化合物:
其中,r1和r2各自独立地代表-h、c1~c
20
的直链或支链烷基、c4~c
20
的环烷基烷基或烷基环烷基,且这些基团中的非环-ch
2-可任选地被-o-、-s-或1,4-亚苯基所取代;r3和r4各自独立地代表-h、c1~c
20
的直链或支链烷基、c4~c
20
的环烷基烷基或烷基环烷基、c6~c
20
的取代或未取代的芳基,且这些基团中的非环-ch
2-可任选地被-o-、-s-或1,4-亚苯基所取代;r5代表c6~c
20
的取代或未取代芳基、c6~c
20
的取代或未取代烷基芳基、c1~c
20
的直链或支链烷基、c4~c
20
的环烷基烷基或烷基环烷基、取代或未取代的苯硫基苯基,且这些基团中的非环-ch
2-可任选地被羰基、-o-、-s-或1,4-亚苯基所取代;r6和r7各自独立地代表烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰、烷氧基羰基、芳氧基羰基、芳硫基羰基、酰氧基、芳硫基、芳基、杂环烃基、芳氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可取代的氨基、氰基、硝基或卤原子;m1、m2分别代表r6和r7的个数,选自0、1、2、3或4;x-代表m-、clo
4-、cn-、hso
4-、no
3-、cf3coo-、(bm4)-、(sbm6)-、(asm6)-、(pm6)-、al[oc(cf3)3]
4-、磺酸根离子、b(c6m5)
4-或[(rf)
b
pf
6-b
]-,其中,m为卤素,rf表示≥80%的氢原子被氟原子取代的烷基,b表示1~5的整数。11.根据权利要求1至3中任一项所述的光固化组合物,其特征在于,所述树脂a为双酚类环氧树脂,优选为双酚a型环氧树脂、双酚s型环氧树脂或双酚芴型环氧树脂,更优选为双酚a环氧树脂。12.根据权利要求1至3中任一项所述的光固化组合物,其特征在于,所述光固化组合物还包括着色剂、助剂及溶剂;优选地,所述助剂包括流平剂、润湿剂、附着力促进剂或紫外线吸收剂中的一种或多种;优选地,所述着色剂为孔雀石绿、甲基紫或亚甲基蓝;优选地,所述溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、丁酮、2-戊酮、甲苯、乙苯或丙二醇甲醚中的一种或多种。13.一种光刻胶,其特征在于,所述光刻胶由权利要求1至12中任一项所述的光固化组合物制备得到。

技术总结
本发明提供了一种光固化组合物及光刻胶。该光固化组合物包括树脂A、树脂B及交联剂;其中,树脂A为含有环氧基团的树脂;树脂B为含有式所示糠酯结构的丙烯酸酯聚合物。本发明在现有的光刻胶配方基础上,额外添加含有上述糠酯结构的丙烯酸酯聚合物作为第二树脂,可以更有效地弥补现有光刻胶树脂在制备厚度较大的固化物膜时,存在的显影效果差、底部下切等不足。另外,本发明的树脂B的添加,也不会影响光刻胶的其他性能,应用效果更佳。佳。


技术研发人员:钱晓春 张学龙 葛庆余 尹志兴 邱振宇 施大峰
受保护的技术使用者:常州强力电子新材料股份有限公司
技术研发日:2021.08.13
技术公布日:2023/2/17
再多了解一些

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