一种金属真空腔体的制作方法

1.本实用新型涉及金属真空腔体技术领域，具体为一种金属真空腔体。


背景技术：

2.金属真空腔体的真空装置进行等离子体刻蚀、等离子体沉积、等离子体加热等诸多生产工艺时，通常是在金属真空腔体的真空腔室内形成电场，以将该电场作用在真空腔室内的等离子体上，通过电场控制等离子体的运动以实现等离子体刻蚀、等离子体沉积或等离子体加热等
3.例如授权公告号为cn209000861u，虽然而且操作方便，降低了安装调试难度，但上述文件中的金属真空腔体在使用过程中，金属真空腔体与外界管路是通过法兰盘及固定螺栓来进行连接的，然而由于此种固定方式需要工作人员借助工具旋紧螺栓，况且需要固定的螺栓较多，需要不断拧动螺栓，使得金属真空腔体与外界管路连接操作繁琐，同时人工拧动螺栓，而螺栓转动一圈才位移一丝距，导致与外界管路的安装需要较长时间，从而降低了金属真空腔体与外界管路安装的工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有的金属真空腔体与管路之间的复杂的问题，而提出的一种金属真空腔体。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.设计一种金属真空腔体，包括金属真空腔体主体和第一连接板，所述金属真空腔体主体的两侧与多个第一连接板固定相连，所述金属真空腔体主体的底端与支撑座固定相连，所述支撑座的底端与底板固定相连，所述金属真空腔体主体的外壁两侧与多个支撑板相贴合，所述第一连接板的内端设有固定结构。
7.优选的，所述固定结构包括连接杆，多个所述连接杆的外端分别与两侧的第一连接板固定相连，所述连接杆的两侧通过销轴与限位杆转动相连，所述限位杆的前端与涡卷弹簧的一端固定相连，所述涡卷弹簧的另一端与连接杆固定相连，两侧所述限位杆的内侧与支撑板相卡接，所述连接杆的外端与多个插杆滑动相连，所述插杆的外壁中部与第一弹簧相套接。
8.优选的，所述限位杆的外端与第二连接板紧密贴合，所述限位块与第二连接板的接触面加工的较为粗糙。
9.优选的，所述插杆的外壁内端与支撑板紧密贴合，所述插杆的内端与支撑板滑动相连，所述支撑板的内端与金属真空腔体主体紧密贴合。
10.优选的，右侧所述第一连接板的右端与第二连接板紧密贴合，所述第二连接板的右端与管体固定相连。
11.本实用新型提出的一种金属真空腔体，有益效果在于：通过使用者通过圆球带动插杆向外移动移动，插杆的内端与支撑板接触解密贴合，然后移动支撑板向外移动，限位杆
受到涡卷弹簧的弹力影响向外转动，然后将外界管路通过第二连接板与第一连接板对接，随后松开插杆，插杆受到第一弹簧的弹力影响带动插杆相内移动，插杆带动支撑板向内移动，支撑板带动两侧的限位杆向内转动，从而使得限位杆与第二连接板紧密贴合，从而实现对金属真空腔体主体与管路之间的连接，通过此种固定结构代替了原有的螺栓的固定结构，使得金属真空腔体主体与管路之间的连接更便捷，从而提高了金属真空腔体主体与管路安装的工作效率。
附图说明
12.图1为本实用新型结构示意图；
13.图2为图1中a的结构示意图；
14.图3为图1中b的结构示意图；
15.图4为图1的侧视结构示意图。
16.图中：1、金属真空腔体主体，2、第一连接板，3、支撑座，4、固定结构，4a1、限位杆，4a2、插杆，4a3、连接杆，4a4、涡卷弹簧，4a5、第一弹簧，4b1、橡胶垫，4b2、导向块，4b3、第二弹簧，5、底板，6、支撑板，7、管体，8、第二连接板。
具体实施方式
17.下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
18.实施例1：
19.参照附图1-4：本实施例中，一种金属真空腔体，包括金属真空腔体主体1和第一连接板2，金属真空腔体主体1的两侧与多个第一连接板2固定相连，金属真空腔体主体1的底端与支撑座3固定相连，支撑座3的底端与底板5固定相连，金属真空腔体主体1的外壁两侧与多个支撑板6相贴合，第一连接板2的内端设有固定结构4，通过此种固定结构代替了原有的螺栓的固定结构，使得金属真空腔体主体与管路6之间的连接更便捷，从而提高了金属真空腔体主体与管路6安装的工作效率。
20.固定结构4包括连接杆4a3，多个连接杆4a3的外端分别与两侧的第一连接板2固定相连，连接杆4a3的两侧通过销轴与限位杆4a1转动相连，涡卷弹簧4a4的弹力系数可根据实际使用情况进行选择，第一弹簧4a5的弹力系数可根据实际使用情况进行情况进行选择，限位杆4a1的前端与涡卷弹簧4a4的一端固定相连，涡卷弹簧4a4的另一端与连接杆4a3固定相连，插杆4a2的外端加工有圆球，便于使用者通过圆球带动插杆4a2移动，由图3所示第一弹簧4a5处于压缩状态，使用者向外拉动插杆4a2，使得插杆4a2带动第一弹簧4a5压缩，同时插杆4a2的内端与支撑板6接触解密贴合，然后移动支撑板6向外移动，支撑板6与两侧限位杆4a1紧密贴合，使得限位杆4a1受到涡卷弹簧4a4的弹力影响使得两侧的限位杆4a1向外转动，从而使得限位杆4a1与第二连接板8解除紧密贴合，两侧限位杆4a1的内侧与支撑板6相卡接，连接杆4a3的外端与多个插杆4a2滑动相连，插杆4a2的外壁中部与第一弹簧4a5相套接，限位杆4a1的外端与第二连接板8紧密贴合，限位块4a1与第二连接板8的接触面加工的较为粗糙，所述插杆4a2的外壁内端与支撑板6紧密贴合，插杆4a2的内端与支撑板6滑动相连，支撑板6的内端与金属真空腔体主体1紧密贴合右侧第一连接板2的右端与第二连接板8紧密贴合，第二连接板8的右端与管体7固定相连；
21.使用者通过圆球带动插杆4a2向外移动移动，使得插杆4a2带动第一弹簧4a5压缩，同时插杆4a2的内端与支撑板6接触解密贴合，然后移动支撑板6向外移动，支撑板6与两侧限位杆4a1紧密贴合，限位杆4a1受到涡卷弹簧4a4的弹力影响向外转动，然后将外界管路7通过第二连接板8与第一连接板对接，随后松开插杆4a2，插杆4a2受到第一弹簧4a5的弹力影响带动插杆4a2相内移动，插杆4a2带动支撑板6向内移动，支撑板6带动两侧的限位杆4a1向内转动，从而使得限位杆4a1与第二连接板8紧密贴合，从而实现对金属真空腔体主体与管路6之间的连接，通过此种固定结构代替了原有的螺栓的固定结构，使得金属真空腔体主体与管路6之间的连接更便捷，从而提高了金属真空腔体主体与管路6安装的工作效率。
22.工作原理：
23.该金属真空腔体在使用过程中，使用者通过圆球带动插杆4a2向外移动移动，使得插杆4a2带动第一弹簧4a5压缩，同时插杆4a2的内端与支撑板6接触解密贴合，然后移动支撑板6向外移动，支撑板6与两侧限位杆4a1紧密贴合，限位杆4a1受到涡卷弹簧4a4的弹力影响向外转动，然后将外界管路7通过第二连接板8与第一连接板对接，随后松开插杆4a2，插杆4a2受到第一弹簧4a5的弹力影响带动插杆4a2相内移动，插杆4a2带动支撑板6向内移动，支撑板6带动两侧的限位杆4a1向内转动，从而使得限位杆4a1与第二连接板8紧密贴合，从而实现对金属真空腔体主体与管路6之间的连接，通过此种固定结构代替了原有的螺栓的固定结构，使得金属真空腔体主体与管路6之间的连接更便捷，从而提高了金属真空腔体主体与管路6安装的工作效率。
24.实施例2：
25.参照附图2：本实施例中，一种金属真空腔体，其中固定结构4还可以包括第二弹簧4b3，第二弹簧4b3的内端与第一连接板2固定相连，第二弹簧4b3的外端与导向块4b2固定相连，多个导向块4b2的外壁与第一连接板2的滑槽滑动相连，导向块4b2的外端与橡胶垫4b1固定相连，第二弹簧4b3的弹力系数可根据实际使用情况进行选择。
26.工作原理：
27.在第二连接板8与第一连接板2对接时，第二连接板8带动橡胶垫4b1移动，橡胶垫4b1带动导向块4b2沿第一连接板2的滑槽移动，使得橡胶垫4b1与第一连接板2紧密贴合时，橡胶垫4b1受到第一弹簧4b1弹力的影响始终与使得橡胶垫4b1与第二连接板8紧密贴合，从而提高了金属真空腔体主体与管路6的密封性能。
28.虽然本实用新型已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本专业普通技术人员应当了解，在权利要求书的范围内，可作形式和细节上的各种各样变化。