一种碳化硅晶圆生产输送机构的制作方法

1.本实用新型涉及输送机构技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶圆生产输送机构。


背景技术：

2.碳化硅晶圆生产过程中需要把上个工序的碳化硅晶圆转运到下一个车间进行继续生产，晶圆转运过程中需要对晶圆片进行必要的独立防护，以及要考虑到下个工序需要人手方便作业把晶圆取出放到机器上进行下一步的加工。针对上述的需求，有必要提出新的技术方案。
3.授权公告号为cn213008276u的中国专利公开了一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件，所述行走组件的表面设有开口向上的容纳仓，所述容纳仓包括设置在行走组件表面的固定挡片，所述行走组件的表面安装有圆形的旋转盘，所述旋转盘上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔，所述固定挡片的两侧边缘安装有上、下分布的导轨，所述导轨上安装有活动挡片，其具有该输送机构的行走组件上的容纳仓上的旋转盘设置的独立晶圆放置间隔，操作人员从上一个工序通过移除活动挡片，把上一个工序的晶圆片放置到晶圆放置间隔中，再把活动挡片重新装上，操作人员推动该装置到下一个工序，首先移除活动挡片，再卸下晶圆，由于晶圆片独立放置在晶圆的间隔，晶圆在转运及装卸过程中得到有效保护，此外，该运输机构由固定挡片配合活动挡片装配，操作人员运输过程中防止外界异物接触到运输的晶圆，当活动挡片被移除时，方便操作人员无阻挡装卸晶圆片，还有旋转盘安装在行走组件内，操作人员可以转动旋转盘把晶圆片装卸到合适的晶圆放置间隔上等优点。
4.但是上述已公开方案存在如下不足之处：上述方案在实际使用过程当中存在传动过程不稳定，容易造成对硅晶圆表面造成磨损，同时上述装置不便于调节传送速度。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是针对背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种碳化硅晶圆生产输送机构，本实用新型通过本装置能够有效的提高硅晶圆原料的送料稳定性，通过电机支架和升降把手的组合能够根据不同形状和厚度的硅晶圆原料进行调节，从而实现了本装置的针对性兼容性，通过本装置的支撑板能够对原料进行稳定的盛放，从而保证了本装置的送料速度的调节便携性，降低了本装置的操作难度。
6.本实用新型提出了一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括底座、支撑支架、支撑件、传送带支架、传送带、前进轮、支撑板、转动支架、传动件、转动电机、电机支架和升降把手；
7.底座顶部与支撑支架连接；支撑支架顶部与支撑板连接；底座顶部与支撑件连接；支撑件侧面上设有转动连接件，转动连接件与升降把手转动连接；升降把手上设有螺纹杆，电机支架上设有螺纹件，螺纹杆与螺纹件螺纹连接；电机支架侧面与支撑件侧面滑动连接；电机支架与转动电机连接；转动电机输出端与传动件连接；传动件远离转动电机的一端与前进轮传动连接；前进轮位于支撑板与传送带之间缝隙中；前进轮侧面表面上设有防滑层；
底座顶部与传送带支架连接；传送带支架顶部与传送带转动连接；前进轮远离传动件的一端与转动支架转动连接；转动支架底部与底座连接。
8.优选的，底座底部上设有多组固定螺纹孔，多组固定螺纹孔分布在底座底部四周。
9.优选的，升降支架侧面上设有转动阻尼件，转动阻尼件与升降把手侧面转动阻尼连接。
10.优选的，转动支架底部上设有升降件，升降件底部与底座连接。
11.优选的，底座上设有转动电机，转动电机输出端与传送带传动连接。
12.优选的，传送带表面上设有防滑层，支撑板侧面上设有阻挡件。
13.优选的，支撑件侧面上设有减震板，减震板与底座连接。
14.优选的，支撑件侧面上设有散热片，散热片与转动电机侧面接触。
15.本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
16.本实用新型通过本装置能够有效的提高硅晶圆原料的送料稳定性，通过电机支架和升降把手的组合能够根据不同形状和厚度的硅晶圆原料进行调节，从而实现了本装置的针对性兼容性，通过本装置的支撑板能够对原料进行稳定的盛放，从而保证了本装置的送料速度的调节便携性，降低了本装置的操作难度，通过升降结构能够使得前进轮与原料底部的接触挤压程度，从而能够实现本装置对于原料的摩擦力驱动的调节。
附图说明
17.图1为本实用新型一种碳化硅晶圆生产输送机构的实施例的结构示意图；
18.图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶圆生产输送机构中传送带的结构示意图；
19.图3为本实用新型提出的一种碳化硅晶圆生产输送机构的侧视图；
20.附图标记：1、底座；2、支撑支架；3、支撑件；4、传送带支架；5、传送带；6、前进轮；7、支撑板；8、转动支架；9、传动件；10、转动电机；11、电机支架；12、升降把手。
具体实施方式
21.实施例一
22.如图1-3所示，本实用新型提出的一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括底座1、支撑支架2、支撑件3、传送带支架4、传送带5、前进轮6、支撑板7、转动支架8、传动件9、转动电机10、电机支架11和升降把手12；
23.底座1顶部与支撑支架2连接；支撑支架2顶部与支撑板7连接；底座1顶部与支撑件3连接；支撑件3侧面上设有转动连接件，转动连接件与升降把手12转动连接；升降把手12上设有螺纹杆，电机支架11上设有螺纹件，螺纹杆与螺纹件螺纹连接；电机支架11侧面与支撑件3侧面滑动连接；电机支架11与转动电机10连接；转动电机10输出端与传动件9连接；传动件9远离转动电机10的一端与前进轮6传动连接；前进轮6位于支撑板7与传送带5之间缝隙中；前进轮6侧面表面上设有防滑层；底座1顶部与传送带支架4连接；传送带支架4顶部与传送带5转动连接；前进轮6远离传动件9的一端与转动支架8转动连接；转动支架8底部与底座1连接；底座1底部上设有多组固定螺纹孔，多组固定螺纹孔分布在底座1底部四周；升降支架侧面上设有转动阻尼件，转动阻尼件与升降把手12侧面转动阻尼连接；底座1上设有转动电机，转动电机输出端与传送带5传动连接；传送带5表面上设有防滑层，支撑板7侧面上设
有阻挡件；支撑件3侧面上设有减震板，减震板与底座1连接；支撑件3侧面上设有散热片，散热片与转动电机10侧面接触。
24.本实施例中，通过本装置能够有效的提高对于硅晶圆原料的送料和加工效果，当本装置处于工作状态时，通过本装置的传动带支架4结构能够有效的提高本装置传送带5在转动过程当中的稳定性，同时转动支架8底部的升降件能够在前进轮6转动升降的过程当中跟随移动，从而避免了本装置的传动结构内部发生干涉，通过前进轮6与传送带5组合的方式能够减少原料运行到缝隙处产生的震动，从而保证了本装置的运输传递的稳定性，通过支撑板7的结构能够便于工作人员对原料前进速度进行调节时，对原料进行支撑。
25.实施例二
26.如图2-3所示，本实用新型提出的一种碳化硅晶圆生产输送机构，相较于实施例一，本实施例中，转动支架8底部上设有升降件，升降件底部与底座1连接。
27.本实用新型的一个实施例中，通过升降件的结构能够有效的提高了本装置的传动稳定性。
28.上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于此，在所属技术领域的技术人员所具备的知识范围内，在不脱离本实用新型宗旨的前提下还可以作出各种变化。