一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置的制作方法

技术特征：
1.一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：包括反应瓶（1），所述反应瓶（1）下端设置有调温加热装置（2），所述反应瓶（1）通过进气管（3）与氯化氢储气瓶（4）相连，所述反应瓶（1）通过出气管（5）与氯硅烷收集瓶（6）相连，所述出气管（5）上设置有冷凝器（7）。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：所述氯硅烷收集瓶（6）通过第一排气管（8.1）与氢氟酸吸收瓶（9）相连。3.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：所述氢氟酸吸收瓶（9）通过第二排气管（8.2）与尾气吸收装置（10）相连。4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：所述尾气吸收装置（10）通过第三排气管（8.3）与风机（11）相连。5.根据权利要求1或4所述的一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：所述进气管（3）上设置有进气阀（12）。6.根据权利要求5所述的一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：所述反应瓶（1）采用圆底烧瓶。7.根据权利要求6所述的一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，其特征在于：所述冷凝器（7）采用氟利昂冷凝器。

技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅生产中高沸副产品分解处理装置，属于多晶硅生产技术领域，包括反应瓶，所述反应瓶下端设置有调温加热装置，所述反应瓶通过进气管与氯化氢储气瓶相连，所述反应瓶通过出气管与氯硅烷收集瓶相连，所述出气管上设置有冷凝器。将高沸物和外排硅粉放入反应瓶内，调温加热装置加热后通入氯化氢气体，反应得到氯硅烷经过冷凝器冷凝后储藏在氯硅烷收集瓶中。本装置不需要另外加入添加剂，且反应温度适中。且反应温度适中。且反应温度适中。


技术研发人员：李日红 侯海波 王雅茹 何鹏 乔玲玲 袁中华
受保护的技术使用者：内蒙古通威高纯晶硅有限公司
技术研发日：2022.09.06
技术公布日：2023/2/6