静电电容式压力传感器的制作方法

技术特征：
1.一种静电电容式压力传感器，具备：第一电极片，在第一绝缘片上形成有第一电极层；第二电极片，在第二绝缘片上形成有第二电极层；弹性体层，由分散有平均气泡直径为2μm～40μm的气泡的发泡片形成，并且夹持于所述第一电极片和所述第二电极片之间；以及粘接剂层，分别形成于所述弹性体层的所述第一电极片侧的面及所述第二电极片侧的面，所述第一电极片或所述第二电极片被按压时，根据与所述第一电极层和所述第二电极层之间的距离变化相应的所述第一电极层和所述第二电极层之间的电容变化来检测按压力。2.根据权利要求1所述的静电电容式压力传感器，其中，所述气泡中的95％以上的气泡的气泡直径为50μm以下。3.根据权利要求1或2所述的静电电容式压力传感器，其中，距所述发泡片的表面的深度20μm处的表层区域中的vg/(vp vg)小于比所述发泡片的表层区域深的内部区域中的vg/(vp vg)的二分之一，vg为单位体积所含的气泡内气体的体积，vp为无气泡部分的单位体积所含的塑料的体积。4.根据权利要求1至3中任一项所述的静电电容式压力传感器，其中，所述气泡为连续气泡。5.根据权利要求1至4中任一项所述的静电电容式压力传感器，其中，所述粘接剂层所用的粘接剂的固化前的粘度为10pas～200pas。6.根据权利要求1至5中任一项所述的静电电容式压力传感器，其中，所述粘接剂为热固化型粘接剂。7.根据权利要求1至6中任一项所述的静电电容式压力传感器，其中，所述发泡片由硅树脂形成。8.根据权利要求1至7中任一项所述的静电电容式压力传感器，其中，所述发泡片的厚度为50μm～500μm。

技术总结
提供一种粘接剂层对由发泡片构成的弹性体层的粘接力充分的静电电容式压力传感器。本发明的静电电容式压力传感器(1)具备：第一电极片(2)；第二电极片(3)；弹性体层(4)，其由分散有平均气泡直径为2～40μm的气泡(41)的发泡片构成，并且夹持于第一电极片(2)和第二电极片(3)之间；以及粘接剂层(5、5)，其分别形成于弹性体层(4)的第一电极片(2)侧的面及第二电极片(3)侧的面。电极片(3)侧的面。电极片(3)侧的面。


技术研发人员：渡津裕次
受保护的技术使用者：NISSHA株式会社
技术研发日：2021.10.29
技术公布日：2023/2/3