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光波导及其制备方法、装置及车辆与流程

2023-02-04 13:59:33 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种光波导,其特征在于,包括:透明基板;图案层,设置于所述透明基板的一侧,与所述透明基板粘连;增厚基板,设置于所述透明基板远离所述图案层的一侧,与所述透明基板通过透明光学胶粘连,以使所述光波导的整体厚度大于5mm。2.根据权利要求1所述的光波导,其特征在于,所述图案层,包括:耦入光栅及耦出光栅,所述耦入光栅及所述耦出光栅设置于所述图案层远离所述透明基板的一侧;所述耦入光栅与所述耦出光栅之间间隔一定距离。3.根据权利要求1所述的光波导,其特征在于,所述增厚基板的厚度范围为1mm至10mm。4.一种生成如权利要求1至3任一项所述的光波导的制备方法,其特征在于,包括:获取转印软膜,所述转印软膜上设置有与图案层对应的压印图案;在透明基板的一侧涂覆压印胶,将所述转印软膜覆盖所述压印胶进行图案压印,以在所述透明基板上生成所述图案层;在所述透明基板远离所述图案层的一侧设置透明光学胶,将所述透明基板移动至与所述透明基板相匹配的增厚基板上,以通过所述透明光学胶将所述透明基板与所述增厚基板粘连。5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述转印软膜,还包括:软膜主体;所述获取转印软膜,包括:对至少一个图案模板进行固定,在所述图案模板的图案面涂覆模板胶,将所述软膜主体覆盖所述模板胶;对所述软膜主体进行压制,对所述模板胶进行固化,以将所述图案模板上的图案固定至所述模板胶,并将所述模板胶与所述软膜主体固定,得到设置有所述压印图案的所述转印软膜。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述对至少一个图案模板进行固定之前,还包括:对至少一片基材硅片的一面涂覆电子束胶;对涂覆所述电子束胶的所述基材硅片进行图案曝光,使所述电子束胶上生成对应的图案;通过曝光后形成图案的所述电子束胶对所述基材硅片进行刻蚀;刻蚀后,剥离所述基材硅片上的所述电子束胶,以得到至少一个所述图案模板。7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述对至少一个图案模板进行固定,包括:将所述图案模板设置于固定基板上;其中,所述固定基板上设置有与所述图案模板等高的固定治具,所述固定治具设置有与所述图案模板对应的通孔;通过所述固定治具的所述通孔容纳所述图案模板,以对所述图案模板进行固定。8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,当所述图案模板为至少两个时,所述对至少一个图案模板进行固定,包括:根据预设图形对所述图案模板进行拼接,将拼接后的所述图案模板置入所述固定治具的所述通孔中,以对拼接后的所述图案模板进行固定。9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述根据预设图形对所述图案模板进行拼接之前,还包括:
根据预设的拼接规则需要的形状对所述图案模板进行切割,形成预设形状的所述图案模板。10.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述将所述透明基板移动至与所述透明基板相匹配的增厚基板上,包括:在所述透明基板的所述图案层的外围设置凸出于所述图案层的封框胶;利用所述封框胶的凸出部位与转移基板进行粘连,以通过所述转移基板带动所述透明基板进行移动;通过所述转移基板将所述透明基板移动至所述增厚基板上。11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,所述通过所述透明光学胶将所述透明基板与所述增厚基板粘连之后,还包括:对所述封框胶进行溶解,使所述封框胶与所述图案层齐平或使所述封框胶完全解离;移除所述转移基板。12.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述将所述透明基板移动至与所述透明基板相匹配的增厚基板上,包括:在所述透明基板的所述图案层上涂覆光刻胶,固化所述光刻胶,以通过所述光刻胶带动所述透明基板进行移动;通过固化后的所述光刻胶将所述透明基板移动至所述增厚基板上。13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,所述通过所述透明光学胶将所述透明基板与所述增厚基板粘连之后,还包括:对所述光刻胶进行溶解清除。14.一种光波导的制备装置,其特征在于,包括:获取模块,用于获取转印软膜,所述转印软膜上设置有与图案层对应的压印图案;生成模块,用于在透明基板的一侧涂覆压印胶,将所述转印软膜覆盖所述压印胶进行图案压印,以在所述透明基板上生成所述图案层;增厚模块,用于在所述透明基板远离所述图案层的一侧设置透明光学胶,将所述透明基板移动至与所述透明基板相匹配的增厚基板上,以通过所述透明光学胶将所述透明基板与所述增厚基板粘连。15.一种车辆,其特征在于,包括:如权利要求1至3任一项所述的光波导。

技术总结
本申请提供的一种光波导及其制备方法、装置及车辆,包括:透明基板;图案层,设置于所述透明基板的一侧,与所述透明基板粘连;增厚基板,设置于所述透明基板远离所述图案层的一侧,与所述透明基板通过透明光学胶粘连,以使所述光波导的整体厚度大于5mm。本申请通过在透明基板的一侧设置图案层,控制透明基板的自身厚度,使其能够顺利的进行光波导的制作,之后,完成光波导光栅图案制作后,即在透明基板上完成图案层的制作后,利用透明光学胶将用于增加整体厚度的增厚基板粘连在透明基板的另一侧,以此形成厚度满足具体要求的光波导,最终增加光在波导中传输步长,降低光损失,提高光效。光效。光效。


技术研发人员:段正 郭康 李多辉 陈宏 李树磊 张笑 宋梦亚 张栋梁 谷新
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2022.10.28
技术公布日:2023/2/3
再多了解一些

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