磁场检测装置和磁场检测装置阵列的制作方法

技术特征：
1.一种磁场检测装置，其特征在于，具备：绕线管；消除线圈，其卷绕于所述绕线管的卷芯部；第一以及第二磁传感器，其固定在所述绕线管的相互不同的位置，检测彼此相同方向的磁场分量；以及反馈电路，其通过根据所述第一磁传感器的输出信号使消除电流流过所述消除线圈，来抵消消除空间的环境磁场，所述第二磁传感器配置于所述消除空间内。2.根据权利要求1所述的磁场检测装置，其特征在于，所述第一以及第二磁传感器均配置在从所述消除线圈的轴向观察时与所述消除线圈的内径区域重叠的位置。3.根据权利要求1或2所述的磁场检测装置，其特征在于，所述第一以及第二磁传感器的传感器头在所述消除线圈的轴向上的位置互不相同。4.根据权利要求3所述的磁场检测装置，其特征在于，所述绕线管的所述卷芯部具有在第一凸缘部开口的第一腔室和在第二凸缘部开口的第二腔室，所述第一磁传感器容纳于所述第一腔室，所述第二磁传感器容纳于所述第二腔室。5.根据权利要求4所述的磁场检测装置，其特征在于，所述第一磁传感器的传感器头从所述绕线管的所述第一凸缘部突出，所述第二磁传感器的传感器头从所述绕线管的所述第二凸缘部突出。6.根据权利要求4或5所述的磁场检测装置，其特征在于，还具备固定于所述第一或第二凸缘部的电路基板，所述反馈电路设置于所述电路基板。7.根据权利要求1至6中任一项所述的磁场检测装置，其特征在于，具备多个所述第二磁传感器。8.根据权利要求1至7中任一项所述的磁场检测装置，其特征在于，还具备电阻，其与所述消除线圈并联连接，并且电阻值比所述消除线圈的等效串联电阻大。9.一种磁场检测装置阵列，其特征在于，具备多个权利要求7所述的磁场检测装置，所述多个磁场检测装置以所述消除线圈的轴向相互一致的方式排列成矩阵状。10.一种磁场检测装置阵列，其特征在于，所述磁场检测装置阵列是多个磁场检测装置呈阵列状排列而成的，所述多个磁场检测装置中的至少一个具有与权利要求7所述的磁场检测装置相同的结构，所述多个磁场检测装置的剩余部分具有从权利要求7所述的磁场检测装置中删除所述第一磁传感器的结构，构成为通过使所述消除电流流过所述消除线圈而抵消消除空间的环
境磁场，所述多个磁场检测装置以所述消除线圈的轴向相互一致的方式排列成矩阵状。11.根据权利要求9或10所述的磁场检测装置阵列，其特征在于，设置于所述多个磁场检测装置的所述多个第二磁传感器配置于沿与所述消除线圈的轴向正交的第一方向延伸的多个第一假想线、和沿与所述消除线圈的轴向以及所述第一方向正交的第二方向延伸的多个第二假想线的各交点，所述多个第一假想线的间距与所述多个第二假想线的间距相等。

技术总结
在不使用屏蔽室而能够检测微弱的磁场的磁场检测装置中，削减部件数量，并且简化电路结构。磁场检测装置(1)具备：卷绕于绕线管(10)的卷芯部(13)的消除线圈(C2)；固定于绕线管(10)的相互不同的位置的磁传感器(S1、S21～S24)；以及反馈电路(31)，其通过根据磁传感器(S1)的输出信号使消除电流流过消除线圈(C2)，来抵消消除空间的环境磁场。磁传感器(S21～S24)配置于消除空间内。这样，对于磁传感器(S1、S21～S24)使用共用的消除线圈(C2)，因此能够削减部件数量，并且能够简化电路结构。并且能够简化电路结构。并且能够简化电路结构。


技术研发人员：福井崇人 笠岛多闻 山地勇一郎 恶七泰树 原川修 龟野诚
受保护的技术使用者：TDK株式会社
技术研发日：2021.05.10
技术公布日：2023/1/31