用于电连接的连接器的制作方法

1.本公开涉及使检查装置与受检设备电连接的连接器。


背景技术：

2.为了对如半导体设备的受检设备进行检查，在所属技术领域中使用了使检查装置与受检设备电连接的连接器。连接器配置于检查装置与受检设备之间。连接器向受检设备传输检查装置的电测试信号，向检查装置传输受检设备的电回应信号。作为这种连接器的一例，所属技术领域中已知的有导电性橡胶片。
3.导电性橡胶片具有多个金属粒子以可导电的方式沿着上下方向集合而成的多个弹性导电部。多个弹性导电部在检查装置与受检设备之间执行信号传输。多个弹性导电部通过由硅橡胶制成的绝缘部沿着上下方向维持。
4.弹性导电部和绝缘部可一同由在液态绝缘物质混合多个金属粒子的液态成型材料制成。通过向上述液态成型材料施加磁场来使多个金属粒子沿着上下方向集合，由此可以形成弹性导电部。在一同成型弹性导电部及绝缘部的过程中，一个弹性导电部的多个金属粒子和与此相邻的弹性导电部的多个金属粒子可以连接，由此，无法实现多个弹性导电部的绝缘。
5.作为用于实现弹性导电部之间的绝缘的一个方案，韩国公开专利公报第10-2009-0077991号公开了在绝缘部形成贯通孔，将以销形状预先制成的弹性绝缘部向贯通孔单独插入的制造工序。


技术实现要素：

6.发明所要解决的问题
7.在将销形状的弹性导电部向绝缘部的贯通孔插入的上述制造工序中，在需要单独制造多个弹性导电部及在弹性导电部与绝缘部之间单独组装方面比较复杂。并且，在上述制造工序中，增加导电性橡胶片的制造所需时间并增加制造费用，降低导电性橡胶片的量产性。并且，单独的弹性导电部具有低的工作性，因此，降低导电性橡胶片的导电特性。
8.在使用导电性橡胶片的检查中，导电性橡胶片的弹性导电部为了呈现规定水准以上的导电性(低电阻)，由受检设备施加的压力需要达到规定水准以上。但是，在现有的导电性橡胶片中，弹性导电部被绝缘部限制，从而无法弹性变形成或弹性复原成所需水准以上。由此，需要由受检设备向弹性导电部施加强的压力。强的压力会使受检设备受损。并且，在强的压力下，反复执行检查的导电性橡胶片的使用寿命将缩减。现有的导电性橡胶片并不具备即使通过低的压力也能够顺畅地弹性变形的弹性导电部，无法在低的压力下进行高可靠性工作。
9.并且，现有的导电性橡胶片的弹性导电部的中间部位变细。这是因为当多个金属粒子通过磁场沿着上下方向集合时，在弹性导电部的中间部位中的微弱磁场无法将多个金属粒子集合成所需水准以上，从而弹性导电部的中间部位变细。因此，现有的导电性橡胶片
的弹性导电部可具有微弱的强度，有可能因反复的检查而容易受损。
10.本公开的一实施例提供具有弹性导电部的用于电连接的连接器，上述弹性导电部通过很小的力顺畅地发生弹性变形，具有高的工作性。本公开的一实施例提供具有多个弹性导电部的用于电连接的连接器，上述弹性导电部具有高的工作性并被模组化。
11.用于解决问题的方案
12.本公开实施例涉及配置于两个电子设备之间来用于使两个电子设备电连接的连接器。一实施例的用于电连接的连接器包括上侧导电模组、下侧导电模组及绝缘部。上侧导电模组具有沿着上下方向延伸的至少一个上侧弹性导电部。下侧导电模组具有沿着上述上下方向延伸的至少一个下侧弹性导电部，上述下侧弹性导电部与上侧弹性导电部对应。绝缘部具有使上侧弹性导电部从上往下插入且使下侧弹性导电部从下往上插入的贯通孔。在上侧导电模组与下侧导电模组之间，绝缘部以可分离的方式与上侧导电模组及下侧导电模组相结合。
13.在一实施例中，在贯通孔内形成第一间隙，在上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的上下方向上的非加压状态下，上述第一间隙使上侧弹性导电部的下端与下侧弹性导电部的上端沿着上下方向隔开。
14.在一实施例中，在上述非加压状态下，在贯通孔的内周面与上侧弹性导电部的外周面之间形成第二间隙，上述第二间隙为由贯通孔的内周面的至少一部分与上侧弹性导电部的外周面的至少一部分形成的空间，上述第二间隙允许上侧弹性导电部的弹性变形。
15.在一实施例中，在上述非加压状态下，在贯通孔的内周面与下侧弹性导电部的外周面之间形成第三间隙，上述第三间隙为由贯通孔的内周面的至少一部分与下侧弹性导电部的外周面的至少一部分形成的空间，上述第三间隙允许下侧弹性导电部的弹性变形。在上述非加压状态下，第一间隙沿着上下方向与第二间隙及第三间隙相连接。
16.在一实施例中，上侧弹性导电部在下端形成凸出部及凹陷部中的一个，下侧弹性导电部在上端形成凸出部及凹陷部中的另一个。凸出部沿着上下方向朝向凹陷部扣入。
17.在一实施例中，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的一个沿着上下方向所形成的长度小于上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的另一个沿着上下方向所形成的长度。
18.在一实施例中，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的一个包含第一弹性物质，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的另一个包含第二弹性物质。在第一温度范围内的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的加压状态下，第一弹性物质具有第一膨胀率，第二弹性物质具有第二膨胀率。第一弹性物质的第一膨胀率小于第二弹性物质的第二膨胀率。第一弹性物质包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种和硅橡胶。
19.在一实施例中，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的一个包含第一弹性物质，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的另一个包含第二弹性物质。在第二温度范围内的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的加压状态下，第一弹性物质具有第三膨胀率，第二弹性物质具有第四膨胀率。第二弹性物质的第四膨胀率大于第一弹性物质的第三膨胀率。第二弹性物质可包含氟及硅橡胶。
20.在一实施例中，上侧弹性导电部混合有第一弹性物质及第一导电性物质，下侧弹性导电部混合有第二弹性物质及第二导电性物质。
21.在一实施例中，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部中的至少一个包括：第一导电
部，能够沿着上下方向导电；以及第二导电部，沿着上下方向包围第一导电部，能够沿着上下方向导电。第一导电部包含第一弹性物质，第二导电部包含第二弹性物质。在第一温度范围内的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的加压状态下，第一弹性物质具有第一膨胀率，第二弹性物质具有第二膨胀率。在小于第一温度范围的第二温度范围内的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的加压状态下，第一弹性物质具有第三膨胀率，第二弹性物质具有第四膨胀率。第一弹性物质的第一膨胀率小于第二弹性物质的第二膨胀率，第二弹性物质的第四膨胀率大于第一弹性物质的第三膨胀率。
22.在一实施例中，第一导电部包含第一弹性物质，第二导电部包含第二弹性物质。第一弹性物质选自包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的至少一种及硅橡胶在内的第一组以及包含氟及硅橡胶在内的第二组中的一个组，第二弹性物质选自第一组及第二组中的剩余一个组。
23.在一实施例中，上侧导电模组包括沿着上下方向支撑上侧弹性导电部并沿着与上下方向正交的水平方向延伸的上侧支撑部。下侧导电模组包括沿着上下方向支撑下侧弹性导电部并沿着水平方向延伸的下侧支撑部。上侧支撑部与绝缘部的上部面以能够分离的方式接合，下侧支撑部与绝缘部的下部面以能够分离的方式接合。
24.发明效果
25.根据本公开的一实施例，上侧弹性导电部及下侧弹性导电部在非加压的状态下，通过第一间隙沿着上下方向分离，在规定的压力下沿着上下方向相接触。第一间隙可针对上侧弹性导电部及下侧弹性导电部之间的信号传输，起到一种开关的功能。
26.并且，根据本公开的一实施例，上侧弹性导电部通过第二间隙从绝缘部的贯通孔分离，下侧弹性导电部通过第三间隙从绝缘部的贯通孔分离。由此，通过受检设备的压力相互接触的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部在不受到绝缘部的限制的情况下可以弹性变形并弹性复原。因此，一实施例的连接器可具有弹性导电部，上述弹性导电部可以在低的压力下呈现导电性，具有得到提高的工作性及弹性复原力。
27.并且，在非加压状态下，在具有通过第一间隙分离的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的连接器中，各个弹性导电部可具有比较短的长度。由此，连接器的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部在中间不存在变细的部分。
28.并且，根据本发明的一实施例，具有至少一个弹性导电部的导电模组以可分离的方式与绝缘部相结合，因此，连接器的制造工序的有效性可以提高，制造费用可以节减。并且，导电模组可以从绝缘部去除，仅可以轻松更换受损的多个弹性导电部。
附图说明
29.图1简要示出应用一实施例的连接器的例。
30.图2为示出本公开第一实施例的连接器的一部分的剖视图。
31.图3为放大示出连接器的结构要素的一部分的剖视图。
32.图4为沿着图3的iv-iv线截取的剖视图。
33.图5为沿着图3的v-v线截取的剖视图。
34.图6为简要示出图2所示的连接器的一部分的工作状态的剖视图。
35.图7为示出图2所示的连接器的一部分的分解剖视图。
36.图8a简要示出制造一实施例的连接器的上侧导电模组的一例。
37.图8b简要示出制造一实施例的连接器的绝缘部的一例。
38.图9为示出本公开第二实施例的连接器的一部分的剖视图。
39.图10为示出本公开第三实施例的连接器的一部分的剖视图。
40.图11为示出本公开第四实施例的连接器的一部分的剖视图。
41.图12为示出本公开第五实施例的连接器的一部分的剖视图。
具体实施方式
42.本公开的实施例以说明本公开的技术思想为目的而例示。本公开的发明要求保护范围并不限定于以下公开的实施例或对实施例的具体说明。
43.除非另有定义，否则本公开中所使用的所有技术术语及科学术语具有本公开所属技术领域的普通技术人员通常所理解的含义。本公开中所使用的所有术语用于进一步明确说明本公开，并非用于限制本公开的发明要求保护范围。
44.除非在包括以下表达方式的句子或文章中另有说明，否则本公开中所使用的“包括”、“设置”、“具有”等表达方式应以开放性术语(open-ended terms)加以理解，具有包括其他实施例的可能性。
45.除非另有定义，否则本公开中所记述的单数的表达可包括複数的含义，这也同样适用于在发明要求保护范围中所记载的单数的表达。
46.本公开中所使用的“第一”、“第二”等表达方式用于相互区分多个结构要素，并不限定相应结构要素的顺序或重要性。
47.在本公开中，当某结构要素与另一结构要素相“连接”或相“结合”时，应当理解为上述某结构要素可直接连接或结合在上述另一结构要素，或者，以其他新的结构要素为介质相连接或相结合。
48.本公开中所使用的方向指示语“上方”基于连接器相对于检查装置所处的方向，而方向指示语“下方”是指与上方相反的方向。虽然本公开中所使用的方向指示语“上下方向”包括上方方向和下方方向，但应当理解的是，并不表示上方方向和下方方向中的特定的一个方向。
49.以下，参照附图所示出的例来说明实施例。
50.在附图中，对于相同或相对应的结构要素赋予了相同的附图标记。并且，在说明以下实施例的过程中，省略了对于相同或相对应的结构要素的说明。但即使省略了对于有关结构要素的记述，也并不意味著这种结构要素不属于某实施例。
51.以下说明的实施例和附图所示出的例涉及用于使两个电子设备之间电连接的连接器。在实施例的连接器的应用例中，上述两个电子设备中的一个可以为检查装置，上述两个电子设备中的另一个可以为由检查装置进行检查的受检设备。实施例的连接器可以在受检设备的电检查时用于使检查装置与受检设备电连接。作为一例，实施例的连接器在半导体设备的制造工序中的后工序中，可用于半导体设备的最终电检查，应用实施例的连接器的例并不限定于此。
52.图1示出应用一实施例的连接器的例。图1简要示出连接器和与连接器相接触的电子设备，图1所示的形状仅是为了理解实施例而选择的例。
53.参照图1，一实施例的连接器10为片(sheet)形状的结构物，配置于两个电子设备之间。在图1所示的例中，两个电子设备中的一个可以为检查装置20，另一个可以为由检查装置20进行检查的受检设备30。
54.作为一例，连接器10可安装于测试插座40，通过测试插座40来位于检查装置20上。测试插座40以可去除的方式安装于检查装置20。测试插座40在内部收容由手工作业或由搬运装置向检查装置20搬运的受检设备30，可将受检设备30排列在连接器10。当检查受检设备30时，连接器10沿着上下方向vd与检查装置20及受检设备30相接触并使检查装置20与受检设备30相互电连接。
55.受检设备30可以为使用树脂材料来以六面体形态封装半导体集成电路(ic)晶片和多个端子的半导体设备。受检设备30在下侧具有多个端子31。受检设备30的端子31可以为球(ball)型端子。
56.检查装置20可以检查受检设备30的各种工作特性。检查装置20可具有执行检查的板，上述板可包括用于检查受检设备的检查电路21。并且，检查电路21包括通过连接器10与受检设备的端子31电连接的多个端子22。检查装置20的端子22可以发送电测试信号并接收回应信号。
57.连接器10可通过测试插座40与检查装置20的端子22相接触。当检查受检设备30时，连接器10使受检设备的端子31和与此对应的检查装置的端子22沿着上下方向vd电连接，通过连接器10由检查装置20执行对受检设备30的检查。
58.连接器10的至少一部分可以由弹性物质形成。为了检查受检设备30，可通过机械装置或手动沿着上下方向vd中的下方向连接器10施加压力p。通过压力p，受检设备的端子31与连接器10可以沿着上下方向vd相接触，连接器10与检查装置的端子22可以沿着上下方向vd相接触。并且，通过压力p，连接器10的一部分结构要素可以沿着下方和水平方向hd弹性变形。若去除压力p，则连接器10的上述一部分结构要素可以复原成原来形状。
59.参照图1，一实施例的连接器10包括上侧导电模组110、下侧导电模组120及绝缘部130。上侧导电模组110在连接器10中配置于朝向受检设备30的一侧，下侧导电模组120在连接器10配置于朝向检查装置20的一侧。绝缘部130配置于上侧导电模组110与下侧导电模组120之间。
60.上侧导电模组110及下侧导电模组120包括可沿着上下方向vd导电的要素。上侧导电模组110包括沿着上下方向vd延伸的至少一个上侧弹性导电部111，下侧导电模组120包括沿着上下方向vd延伸的至少一个下侧弹性导电部121。下侧弹性导电部121与上侧弹性导电部111对应。上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可沿着上下方向vd导电。上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121具有弹性，可沿着上下方向vd及与上下方向vd正交的水平方向hd弹性变形。
61.绝缘部130在上侧导电模组110及下侧导电模组120之间沿着上下方向vd以可分离的方式与上侧导电模组110及下侧导电模组120相结合。绝缘部130具有在自身沿着上下方向vd穿孔形成的贯通孔131。若上侧导电模组110及下侧导电模组120与绝缘部130相结合，则向贯通孔131插入上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121。作为一例，上侧弹性导电部111从上往下插入于贯通孔131，下侧弹性导电部121从下往上插入于贯通孔131。由此，在贯通孔131内，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端可以沿着上下方向vd
隔开及分离。
62.上侧弹性导电部111的上端与受检设备的端子31相接触，下侧弹性导电部121的下端与检查装置的端子22相接触。因向连接器10施加的压力p，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端可以沿着上下方向vd相接触。若从连接器10去除压力p，则上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端可以沿着上下方向vd分离。图1示出未向连接器10施加压力p的情况，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端沿着上下方向vd分离。
63.当检查受检设备30时，压力p通过受检设备30向下方对连接器10施加压力。压力p可通过机械装置或手工作业施加。随着受检设备的端子31通过压力p向下方按压上侧弹性导电部111的上端，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端相互接触。其中，接触可以为上侧弹性导电部111的下端的表面与下侧弹性导电部121的上端的表面之间的面接触。并且，在接触之后，在压力p的作用下，向下方按压上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121。如上所述，随着为了检查受检设备而向连接器10施加压力p，上侧弹性导电部与下侧弹性导电部沿着上下方向接触并被按压。以下，上侧弹性导电部111被受检设备的端子按压，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121相接触，下侧弹性导电部121被按压的状态被参照为上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的上下方向的加压状态。上述加压状态可以为上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121通过受检设备的端子沿着上下方向按压并弹性变形的状态。在上述加压状态下，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121可以相互接触，以分别沿着水平方向hd稍微膨胀并沿着上下方向被压缩的方式弹性变形。
64.若从连接器10去除压力p，则上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121可沿着上下方向vd分离并可弹性复原成原本形状。未向连接器10施加压力p，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121相互分离的状态被参照在上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的上下方向的非加压状态。上述非加压状态可以为上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121并不通过受检设备的端子沿着上下方向按压的状态，即，压力并不沿着上下方向施加于上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121维持其原本形状的状态。在实施例的连接器中，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可以在上述非加压状态与上述加压状态之间可逆地弹性变形。并且，如图1所示，在上述非加压状态下，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端沿着上下方向隔开，在贯通孔131内沿着上下方向形成间隙。
65.在上述加压状态下，上侧弹性导电部111的上端与受检设备的端子31相接触，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端沿着上下方向相接触，下侧弹性导电部121的下端与检查装置的端子22相接触。由此，在与一对上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121对应的受检设备的端子和检查装置的端子之间，以上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121为介质形成上下方向的导电路。因此，检查装置的测试信号可从端子22通过下侧弹性导电部121及上侧弹性导电部111向受检设备30的端子31传输，受检设备30的回应信号可从端子31通过上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121向检查装置20的端子22传输。
66.连接器10可包括多个上侧导电模组110及多个下侧导电模组120。作为一例，上侧导电模组110的数量可以小于或等于下侧导电模组120的数量。一个上侧导电模组110可具有多个上侧弹性导电部111。一个下侧导电模组120可具有多个下侧弹性导电部121。因此，
连接器10可包括多对上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121。多对上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121的平面排列可根据受检设备30的端子31的排列形态改变。作为一例，多对上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可以在绝缘部130内以一个行列形态或一对以上的行列形态排列。
67.为了说明实施例的连接器而参照图2至图12。图2至图12简要示出连接器的形状、导电模组的形状、构成导电模组的要素的形状、绝缘部的形状。图2至图12所示的形状仅是为了理解实施例而选择的例。
68.图2为示出本公开第一实施例的连接器的一部分的剖视图。图3为放大示出连接器的结构要素的一部分的剖视图。图4为沿着图3的iv-iv线截取的剖视图。图5为沿着图3的v-v线截取的剖视图。图6为简要示出图2所示的连接器的一部分的工作状态的剖视图。图7为示出图2所示的连接器的一部分的分解剖视图。为了说明第一实施例的连接器而参照图2至图7。
69.参照图2，在连接器10中，形成于上侧导电模组110的上侧弹性导电部111及形成于下侧导电模组120的下侧弹性导电部121在检查装置与受检设备之间执行上下方向vd的信号传递。上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121可呈沿着上下方向vd延伸的圆柱形状，但弹性导电部的形状并不局限于此。
70.在一实施例中，上侧弹性导电部111包括多个第一导电性物质112及第一弹性物质113。多个第一导电性物质112以可沿着上下方向vd导电的方式相接触，例如，沿着上下方向vd以圆柱型状集合。以可沿着上下方向vd导电的方式接触的多个第一导电性物质112将沿着上下方向vd执行信号传递的导电体形成在上述弹性导电部111内。多个第一导电性物质的导电体可呈圆柱形状，但并不局限于此。第一弹性物质113处于固化的状态并具有弹性。第一弹性物质113沿着上下方向vd维持多个第一导电性物质112，以使多个第一导电性物质112形成上述导电体的形状。多个第一导电性物质112之间可填充第一弹性物质113。第一弹性物质113与多个第一导电性物质112形成为一体来构成上侧弹性导电部111。因此，在上侧弹性导电部111混合第一弹性物质113及多个第一导电性物质112。
71.下侧弹性导电部121可具有与上侧弹性导电部111相同的结构。即，下侧弹性导电部121包括多个第二导电性物质122及第二弹性物质123。多个第二导电性物质122以可沿着上下方向vd导电的方式接触，例如，沿着上下方向vd以圆柱形状集合。以可沿着上下方向vd导电的方式接触的多个第二导电性物质122将沿着上下方向vd执行信号传递的导电体形成在下侧弹性导电部121内。多个第二导电性物质的导电体可呈圆柱形状，但并不局限于此。第二弹性物质123处于固化的状态并具有弹性。第二弹性物质123沿着上下方向vd维持多个第二导电性物质122，以使多个第二导电性物质122形成导电体形状。多个第二导电性物质122之间可填充第二弹性物质123。第二弹性物质123与多个第二导电性物质122形成为一体来构成下侧弹性导电部121。因此，在下侧弹性导电部121混合第二弹性物质123及多个第二导电性物质122。
72.第一导电性物质112及第二导电性物质122可以为相同粒子或不同的粒子。作为一例，第一导电性物质112及第二导电性物质122的粒子可以由高导电性金属材料形成。或者，第一导电性物质112及第二导电性物质122的粒子也可以呈在由具有弹性的树脂材料或金属材料形成的芯涂敷上述高导电性金属材料的形态。作为另一例，第一导电性物质112及第
二导电性物质122可以为细长的纤维或金属线，这种纤维或金属线可以由金属或碳形成。
73.第一弹性物质113及第二弹性物质123可以为具有绝缘性的相同物质或具有绝缘性的不同物质。作为一例，第一弹性物质113及第二弹性物质123可包含固化的硅橡胶。或者，作为第一弹性物质及第二弹性物质，可以使用具有导电性的弹性物质。
74.包括第一弹性物质113的上侧弹性导电部111及包括第二弹性物质123的下侧弹性导电部121具有弹性，可以沿着上下方向vd及水平方向hd弹性变形。如参照图1说明，随着受检设备的端子通过压力向下方按压上侧弹性导电部111，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121相互接触并处于上述加压状态。在这种加压状态下，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121可沿着水平方向hd稍微膨胀并以沿着上下方向vd被压缩的方式弹性变形。
75.在一实施例的连接器10中，上侧导电模组110包括支撑上侧弹性导电部111的上侧支撑部114，下侧导电模组120包括支撑下侧弹性导电部121的下侧支撑部124。上侧导电模组110与下侧导电模组120可相对于绝缘部130相互对称。
76.上侧支撑部114以朝向受检设备的方式配置，且起到沿着上下方向vd支撑一个或多个上侧弹性导电部111的支撑体的功能。在实施例的连接器中，至少一个上侧弹性导电部111及上侧支撑部114或多个上侧弹性导电部111及上侧支撑部114可形成为一体。因此，形成为一体的多个上侧弹性导电部111及上侧支撑部114构成沿着上下方向执行导电的上侧导电模组110。下侧支撑部124以朝向检查装置的方式配置，且起到沿着上下方向vd支撑一个或多个下侧弹性导电部121的支撑体的功能。在实施例的连接器中，至少一个下侧弹性导电部121及下侧支撑部124或多个下侧弹性导电部121及下侧支撑部124可形成为一体。因此，形成为一体的多个下侧弹性导电部121及下侧支撑部124构成沿着上下方向执行导电的下侧导电模组120。
77.上侧支撑部114及下侧支撑部124沿着水平方向hd延伸。上侧支撑部114沿着水平方向hd与上侧弹性导电部111的上端附近的一部分结合成一体。因此，在上侧弹性导电部111呈圆柱形状的情况下，在上侧弹性导电部111与上侧支撑部114之间，可沿着上侧弹性导电部111的外周形成具有绝缘性的弹性部116(参照图6)，这种弹性部可呈环形状。因这种环形状的弹性部，当上侧弹性导电部111被受检设备的端子按压时，上侧弹性导电部111可以朝向下侧弹性导电部121移动。并且，当从连接器去除受检设备时，因上述环形状的弹性部，上侧弹性导电部111可以向原本位置移动。即，上述环形状的弹性部可以实现上侧弹性导电部111的上下方向的移动。下侧支撑部124沿着水平方向hd与下侧弹性导电部121的下端附近的一部分结合成一体。上侧支撑部114使多个上侧弹性导电部111沿着水平方向hd隔开及绝缘，下侧支撑部124使多个下侧弹性导电部121沿着水平方向hd隔开及绝缘。被上侧支撑部114支撑的上侧弹性导电部111之间的间隔可以与受检设备的端子之间的间隔对应(即，螺距)。被下侧支撑部124支撑的下侧弹性导电部121之间的间隔可以与上侧弹性导电部111之间的间隔对应。
78.上侧弹性导电部111的上端比上侧支撑部114的上部面更向上方突出，下侧弹性导电部121的下端可以比下侧支撑部124的下部面更向下方突出。或者，上侧弹性导电部111的上端可以不从上侧支撑部114的上部面突出，下侧弹性导电部121的下端可以不从下侧支撑部124的下部面突出。
79.上侧支撑部114及下侧支撑部124可由具有绝缘性的物质或者具有绝缘性及弹性
的物质形成。作为一例，上侧支撑部114及下侧支撑部124可以为沿着与上下方向vd正交的水平方向hd配置的膜。作为一例，构成上侧支撑部114及下侧支撑部124的膜可以由聚醯亚胺形成，但构成各个支撑部的材料并不局限于此。作为另一例，各个支撑部可以由与多个弹性导电部的弹性物质相同的物质形成。
80.实施例的连接器可包括一个以上的上侧导电模组，可包括与上侧导电模组的数量相同或更少数量的下侧导电模组。这种导电模组以可去除的方式与绝缘部130相结合。在各个导电模组中，多个弹性导电部从一个支撑部突出，各个导电模组包括一个支撑部及多股弹性导电部。
81.在连接器10中，绝缘部130配置于上侧导电模组的上侧支撑部114与下侧导电模组的下侧支撑部124之间。绝缘部130可以由一个弹性体形成。绝缘部130以可去除的方式与上侧导电模组的上侧支撑部114及下侧导电模组的下侧支撑部124相结合。例如，如图2及图7所示，上侧支撑部114的下部面115与绝缘部130的上部面132以可分离的方式接合，下侧支撑部124的上部面125与绝缘部130的下部面133以可分离的方式接合，从而可以使绝缘部130与多个导电模组相结合。多个导电模组与绝缘部130的结合可通过使用粘结剂的粘结方式执行，但并不局限于此。
82.绝缘部130可呈膜的形态或具有规定厚度的块的形态。绝缘部130可以由具有绝缘性的物质或具有绝缘性及弹性的物质形成。作为一例，绝缘部130可以由聚醯亚胺形成。详细地，绝缘部130可包括聚醯亚胺膜。由聚醯亚胺形成的绝缘部130可具有耐寒性及耐热性，因此，可有效地防止基于温度变化的变形。并且，作为另一例，绝缘部130可以由硅橡胶形成。由硅橡胶形成的绝缘部130具有更良好的弹性复原力。形成绝缘部130的材料并不局限于上述例，具有绝缘性及弹性的任意材料可以作为绝缘部130的材料使用。
83.绝缘部130的贯通孔131从绝缘部130的上部面132沿着上下方向vd延伸至绝缘部130的下部面133。贯通孔131的水平方向的形状可以与上侧弹性导电部111的横截面形状及下侧弹性导电部121的横截面形状对应。若上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121呈圆柱形状，则贯通孔131的水平方向的形状可大致呈圆形。在上述非加压状态下，绝缘部130的上下方向的厚度以在上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端之间形成间隙的方式确定。
84.图3示出在上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的非加压状态下的上侧弹性导电部、下侧弹性导电部及绝缘部。参照图3，在上述非加压状态下，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端之间，第一间隙141形成在贯通孔131内，第一间隙141使上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端沿着上下方向vd隔开。由此，在上述非加压状态下，并不通过上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121执行信号传递，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121通过第一间隙141处于开关关闭状态。在非加压状态下，第一间隙141可呈圆板形状，第一间隙141的直径尺寸可以与贯通孔131的直径尺寸对应。第一间隙141可被空气填充。
85.在一实施例中，贯通孔131的直径大于在上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121的水平方向的直径尺寸(例如，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121的直径尺寸)。因此，在上述非加压状态下，追加的间隙形成在贯通孔131的内周面与上侧弹性导电部111的外周面之间及贯通孔131的内周面与下侧弹性导电部121的外周面之间。这种追加的间隙
由于在上述加压状态下的上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的弹性变形而可具有比在非加压状态下的体积缩小的体积。上述追加的间隙可形成在贯通孔131的内周面的一部分或整体与上侧弹性导电部111的外周面的一部分或整体之间以及贯通孔131的内周面的一部分或整体与下侧弹性导电部121的外周面的一部分或整体之间。作为另一实施例，上述追加的间隔亦可仅形成在贯通孔131与上侧弹性导电部111之间。
86.参照图3至图5，在上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的非加压状态下，在贯通孔131的内周面与上侧弹性导电部111的外周面之间形成第二间隙142，在贯通孔131的内周面与下侧弹性导电部121的外周面之间形成第三间隙143。第二间隙142可以为通过贯通孔131的内周面的一部分或整体与上侧弹性导电部111的外周面的一部分或整体形成的空间。第三间隙143可以为通过贯通孔131的内周面的一部分或整体与下侧弹性导电部121的外周面的一部分或整体形成的空间。第二间隙142可沿着上侧弹性导电部111的外周面，向周围方向cd延伸，第三间隙143可沿着下侧弹性导电部121的外周面，向周围方向cd延伸。其中，周围方向cd是指相对于沿着上下方向经过一个贯通孔的中心的中心轴ca的周围方向。
87.在上述非加压状态下，第二间隙142及第三间隙143的水平方向的形状可以为甜甜圈形状(例如，内侧圆及外侧圆以同心形成)。或者，在上述非加压状态下，第二间隙142及第三间隙143的水平方向的形状可以为在甜甜圈形状中，内侧圆与外侧圆内接的形状。这种形状可以在如下情况下呈现，即，在连接器的实际产品中，弹性导电部中的一部分沿着水平方向稍微倾斜，上述弹性导电部的外周面的一部分与贯通孔的内周面的一部分相接触。
88.在上述非加压状态下，位于一个贯通孔131内的一个上侧弹性导电部111在第二间隙142所在的其外周面的一部分或整体并不沿着周围方向cd及直径方向dd与贯通孔131相接触，而是与贯通孔131分离。并且，在上述非加压状态下，位于一个贯通孔131的一个下侧弹性导电部121在第三间隙143所在的其外周面的一部分或整体并不沿着周围方向cd及直径方向dd与贯通孔131相接触，而是与贯通孔131分离。其中，直径方向dd是指一个贯通孔的中心轴ca的直径方向。即，在上述非加压状态下，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121和绝缘部130在第二间隙142及第三间隙143所在的各个外周面的一部分或整体并不沿着直径方向dd及周围方向cd相互接触。在第二间隙142及第三间隙143具有上述甜甜圈形状的情况下，在上述非加压状态下，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可具有并不与贯通孔133相接触的外周面。第二间隙142及第三间隙143可被空气填充。第二间隙142及第三间隙143在与各自对应的弹性导电部与贯通孔之间，可以沿着上下方向及水平方向以及直径方向及周围方向形成。
89.在上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的上述加压状态下，第二间隙142在贯通孔131内允许上侧弹性导电部111弹性变形，第三间隙143在贯通孔131内允许下侧弹性导电部121弹性变形。
90.贯通孔131可以在水平方向呈圆形，贯通孔131的内周面可呈沿着上下方向延伸的圆筒形状。贯通孔131的最大宽度可以定义为沿着直径方向dd经过中心轴ca的直径d。上侧弹性导电部111和下侧弹性导电部121的外周面可具有沿着上下方向vd延伸的圆筒形状。如图4所示，上侧弹性导电部111的最大宽度可以定义为沿着直径方向经过上侧弹性导电部的中心的直径d2。如图5所示，下侧弹性导电部121的最大宽度可以定义为沿着直径方向经过下侧弹性导电部的中心的直径d3。
91.因此，在上述非加压状态下，第二间隙142及第三间隙143可呈沿着上下方向延伸的环形状或圆筒形状。在这种环形状及圆筒形状的间隙中，第二间隙142可以沿着直径方向dd具有宽度w1，第三间隙143可沿着直径方向dd具有宽度w2。实质上，在上述非加压状态下，在直径方向的宽度w1及宽度w2可以沿着上下方向vd恒定维持。
92.直径方向的宽度w1及宽度w2可以考虑在弹性导电部的上下方向及水平方向的顺畅的变形及弹性复原来定义。作为一例，沿着相对于贯通孔131的中心轴cd的直径方向dd，以使贯通孔131的直径d1与上侧弹性导电部111的直径d2的比例达到1：0.8至1：0.95的方式确定在直径方向的宽度w1，以使贯通孔131的直径d1与下侧弹性导电部121的直径d3的比例达到1：0.8至1：0.95的方式确定在直径方向的宽度w2。
93.另一方面，在连接器的实际产品中，因制造上的误差或组装上的问题，在弹性导电部的外周面的一部分位置或面有可能与在贯通孔的内周面的一部分位置或面相接触，第二间隙及第三间隙的大小也有可能沿着上下方向vd、直径方向dd或周围方向cd发生变化。但是，这种接触和变化应理解为在非加压状态下，直径方向的宽度实质上恒定维持的情况。在连接器的实际产品中，通过上述直径d1计算贯通孔131的平均直径，通过上述直径d2及直径d3分别计算上侧弹性导电部111的平均直径及下侧弹性导电部121的平均直径，由此可确认是否存在第二间隙及第三间隙以及数值范围。在此情况下，平均直径的计算可应用通过测定弹性导电部的体积及贯通孔的体积来计算的方式。
94.图6简要示出上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的工作状态的一例。图6的左侧例示上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的上述非加压状态，图6的右侧例示上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的上述加压状态。
95.参照图6，在上述非加压状态下，在上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端之间形成第一间隙141。并且，在上述非加压状态下，在贯通孔131的内周面与上侧弹性导电部111的外周面之间形成第二间隙142，在第二间隙142的直径方向的宽度w1可沿着上下方向vd恒定。并且，在上述非加压状态下，在贯通孔131的内周面与下侧弹性导电部121的外周面之间可形成第三间隙143，在第三间隙143的直径方向的宽度w2可沿着上下方向vd恒定。并且，在上述非加压状态下，第一间隙141可沿着上下方向vd与第二间隙142及第三间隙143相连接。
96.为了检查受检设备30，受检设备30的端子31通过压力p与上侧弹性导电部111的上端相接触。通过压力p，上侧弹性导电部111在上侧导电模组110向下方移动。由此，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121相互接触并处于图6的右侧所示的加压状态。
97.环形状的弹性部116可以实现上侧弹性导电部111的上下方向移动。随着受检设备的端子31向下方按压上侧弹性导电部111，被弹性部116支撑的上侧弹性导电部111向下方移动，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121之间的第一间隙141被封闭，上侧弹性导电部111的下端与下侧弹性导电部121的上端沿着上下方向接触。由此，在图6的右侧所示的加压状态下，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121在没有第一间隙141的情况下相接触并处于可以在它们之间传递信号的开关开启状态。并且，在上述加压状态下，第二间隙142与第三间隙143在没有第一间隙141的情况下可以直接沿着上下方向vd连接或者在第二间隙142与第三间隙143并不连接的情况下，贯通孔131也可以沿着上下方向vd堵塞。
98.使上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121沿着上下方向接触的压力p超出允许
上侧弹性导电部111的弹性上下移动的规定界限内施加。即，在压力p小于上述规定界限的情况下，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121维持开关开启状态。但是，随着压力p超出上述规定界限并施加，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121将沿着上下方向相互接触。并且，随着压力p超出使上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121接触的力并施加，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121在相互接触的状态下弹性变形，通过相互接触的上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121呈现出高导电性。在向上侧弹性导电部111施加超出规定界限的压力之前，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121通过第一间隙141处于开关关闭状态。仅当施加超出上述规定界限的压力p时，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121处于开关开启状态并执行上下方向的信号传递。如上所述，第一间隙141可起到对于在连接器的上下方向信号传递的一种开关功能。并且，若上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121相接触，则在上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121接触的区域中，上侧弹性导电部111的一部分膨胀及下侧弹性导电部121的一部分膨胀可以沿着水平方向或上述直径方向扩大。因此，更多的导电性物质在上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121之间接触来加强执行信号传递的导电部的导电性。
99.在图6的右侧所示的加压状态下，相互接触的侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121通过压力p弹性变形。这种弹性变形可以沿着上下方向及水平方向或上下方向及图4及图5所示的直径方向发生。
100.详细地，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121能够以沿着上下方向vd收缩，沿着水平方向hd或直径方向膨胀的形态弹性变形。但是，在第二间隙142所在的外周面的一部分或整体中，上侧弹性导电部111与绝缘部130分离，在第三间隙143所在的外周面的一部分或整体中，下侧弹性导电部121与绝缘部130分离。因此，当上侧弹性导电部111被端子31按压时，除固定于上侧支撑部114之外的上侧弹性导电部111的部分可以在贯通孔131内自由地弹性变形。并且，在与上侧弹性导电部111相接触并通过上侧弹性导电部111按压的下侧弹性导电部121中，除固定于下侧支撑部124部分之外的下侧弹性导电部121的部分可以在贯通孔131内自由地弹性变形。上侧弹性导电部111因第二间隙142而可以不受到绝缘部130的限制并可顺畅地弹性变形，下侧弹性导电部121因第三间隙143而可以不受到绝缘部130限制并可顺畅地弹性变形。即，第二间隙142提供允许上侧弹性导电部111沿着上下方向及水平方向弹性变形的空间，第三间隙143提供允许下侧弹性导电部121沿着上下方向及水平方向弹性变形的空间。
101.当受检设备的端子31按压上侧弹性导电部111并通过相互接触的上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可传递信号时，宽度w1可以在第二间隙142的上下方向的中间部位达到最小值，宽度w2可以在第三间隙143的上下方向的中间部位达到最小值。在压力p强的情况下，在第二间隙142及第三间隙143的上下方向的中间部位中，各自的宽度几乎可以无视。
102.若受检设备30从上侧弹性导电部111朝向上方去除，则上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可从图6的右侧所示的加压状态弹性复原成图6的左侧所示的非加压状态。上侧弹性导电部111可以复原到非加压状态下的原位置并再次形成第一间隙141，第二间隙142及第三间隙143可以复原到非加压状态下的原来的形状。
103.在上述非加压状态与上述加压状态之间，绝缘部130可以按比上侧弹性导电部111
及下侧弹性导电部121的变形程度更小的程度在上下方向收缩并复原到原来的形状。
104.第一间隙141在上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121之间起到一种开关作用，因此，一实施例的连接器在上述非加压状态下并不沿着上下方向呈现出导电性。当施加上述规定界限以上的压力时，一实施例的连接器沿着上下方向具有导电性。并且，在上述非加压状态下，第二间隙142使上侧弹性导电部111的外周面的一部分或整体与绝缘部130相互分离，第三间隙143使上侧弹性导电部111的外周面的一部分或整体与绝缘部130相互分离，因此，上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可以在不受到绝缘部的限制的情况下弹性变形。因此，第二间隙142提高上侧弹性导电部的工作性及弹性复原力，第三间隙143提高下侧弹性导电部的工作性及弹性复原力。并且，受检设备即使以较小的压力被上侧弹性导电部111按压，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121也可以轻松接触及弹性变形并呈现出高导电性。如上所述，一实施例的连接器可通过第一间隙141与第二间隙142及第三间隙143的复杂作用，在较小的压力下也可以呈现出高导电性。
105.上述一实施例的连接器可通过结合由多个弹性导电部及支撑部形成的导电模组及形成有贯通孔的绝缘部来制成。参照图7、图8a及图8b，说明制造一实施例的连接器的一例。为了制造一实施例的连接器而单独制造上侧导电模组及下侧导电模组及绝缘部。
106.参照图8a，上侧导电模组110可以使用成型模具51及液态成型材料52来制造。液态成型材料52包括形成上侧弹性导电部111的第一弹性物质113的液态物质及向上述液态物质内分散的多个第一导电性物质112。成型模具51在每个形成上侧弹性导电部111的位置具有与上侧弹性导电部的形状对应的成型空腔53。并且，在成型模具51可设置磁铁54，上述磁铁54在成型空腔53上下配置，并可沿着上下方向施加磁场。向成型模具51的成型空腔53注入液态成型材料52。并且，在成型模具投入构成上侧支撑部114的膜部件55，在上述膜部件中，在每个形成上侧弹性导电部111的位置穿孔形成贯通孔。通过磁铁54施加的磁场，多个第一导电性物质112沿着上下方向vd集合并接触，由此形成设置于上侧弹性导电部111并沿着上下方向执行导电的导电体。之后，通过规定的固化处理，液态成型材料52的上述弹性物质将被固化。由此，成型多个上侧弹性导电部111与上侧支撑部114形成为一体并从上侧支撑部114突出的上侧导电模组110。之后，上侧导电模组从成型模具51分离。
107.图8a所示的上侧导电模组110可作为连接器的上述下侧导电模组使用。或者连接器的上述下侧导电模组可通过与参照图8a说明的方法相同或类似的方法成型。例如，用于制造上述下侧导电模组的成型模具的成型空腔可具有与图8a所示的成型空腔53的尺寸不同的尺寸。并且，用于成型上述下侧导电模组的液态成型材料的液态物质可以为与参照图8a说明的液态物质不同的物质。
108.接著，参照图8b，准备由构成绝缘部130的绝缘物质形成的如膜或块的绝缘部件61。贯通孔131通过镭射或钻机形成在上述绝缘部件61，由此制造绝缘部130。
109.接著，参照图7，以使上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121向对应的贯通孔131插入的方式使上侧导电模组110及下侧导电模组120与绝缘部130相结合。绝缘部130与多个导电模组的结合实现可以分离的结合，可通过使用粘结剂的粘结方式执行。例如，上侧支撑部114的下部面115与绝缘部130的上部面132可通过粘结剂以可分离的方式接合，下侧支撑部124的上部面125与绝缘部130的下部面133可通过粘结剂以可分离的方式接合。上侧导电模组110与下侧导电模组120可以与绝缘部130相结合来构成图2所示的一实施例的连
接器。
110.上侧导电模组110及下侧导电模组120与绝缘部130相结合，因此，可以提高制造工序的有效性并节减制造费用。并且，在需要的情况下，上侧导电模组110或下侧导电模组120可以从绝缘部130去除。由此，仅可更换具有受损的上侧弹性导电部的上侧导电模组或具有受损的下侧弹性导电部的下侧导电模组。例如，上侧导电模组与受检设备频频接触，因此，与下侧导电模组及下侧弹性导电部相比，上侧导电模组及上侧弹性导电部受到更大的损伤。但是，如上所述，仅可更换损伤的上侧导电模组。
111.参照图2及图7，一实施例的连接器具有当对受检设备施加压力时沿着上下方向接触的上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121。与由不间断地沿着上下方向延伸的一个导电体形成的现有技术的连接器的弹性导电部相比，这种上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121具有更短的上下方向长度。在具有更短长度的上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121中，多个导电性物质形成的导电体在上下方向整个长度中具有均匀的形状。与此相反，现有的弹性导电部具有比较长的长度，因此，在弹性导电部的中间区域中，因变弱的磁场而导致导电性物质无法严密地集合并发生导电体变细的现象。但是，一实施例的连接器的上侧弹性导电部111及下侧弹性导电部121可具有比较短的长度，因此，可以排除在中间区域中，导电性物质并未严密地集合而导致导电体变细的现象。
112.图9为示出本公开第二实施例的连接器的一部分的剖视图。参照图9，连接器10包括分别形成在通过第一间隙141相向的多个弹性导电部的凸出部127及凹陷部117。若上侧弹性导电部111向下方移动，则凸出部127及凹陷部117沿着向下方向相互扣入。
113.作为一例，如图9所示，上侧弹性导电部111可以在下端具有凹陷部117，下侧弹性导电部121可以在上端具有凸出部127。作为另一例，上侧弹性导电部111也可具有凸出部127，下侧弹性导电部121也可具有凹陷部117。图9所示的凸出部的形状及凹陷部的形状仅为例示，凸出部可具有多种形状，凹陷部可具有与凸出部的形状互补的形状。凸出部127及凹陷部117可形成在通过第一间隙141相向的上侧弹性导电部的端部及下侧弹性导电部的端部，因此，上侧弹性导电部111与下侧弹性导电部121之间的接触面积可以增加。
114.图10为示出本公开第三实施例的连接器的一部分的剖视图。参照图10，连接器10的上侧导电模组210及下侧导电模组220具有与上述实施例的上侧导电模组110及下侧导电模组120的结构类似的结构。但是，上侧导电模组210的上侧弹性导电部211沿着上下方向的长度小于下侧导电模组220的下侧弹性导电部221沿着上下方向的长度，由此，第一间隙141更接近绝缘部130的上部面来设置。上侧弹性导电部211及下侧弹性导电部221沿着上下方向具有不同的长度。因此，比较短的上侧弹性导电部211的弹性变形程度可小于比较长的下侧弹性导电部221的弹性变形程度。作为另一例，下侧弹性导电部221沿着上下方向的长度可以小于上侧弹性导电部211沿着上下方向的长度，第一间隙141可更接近绝缘部130的下部面来设置。
115.图11为示出本公开第四实施例的连接器的一部分的剖视图。参照图11，连接器10不仅包括形成于上侧弹性导电部与下侧弹性导电部之间的第一间隙141、形成于各个弹性导电部与绝缘部之间的第二间隙142及第三间隙143，在比较高的温度范围内及比较低的温度范围内呈现出良好的检查可靠性。
116.上侧导电模组310的上侧弹性导电部311具有与上述第一实施例的上侧弹性导电
部的结构类似的结构。上侧弹性导电部311包括上述多个第一导电性物质112及使多个第一导电性物质112沿着上下方向维持的第一弹性物质313，在上侧弹性导电部311混合第一弹性物质313及多个第一导电性物质112。下侧导电模组320的下侧弹性导电部321具有与上述第一实施例的下侧弹性导电部的结构类似的结构。下侧弹性导电部321包括上述多个第二导电性物质122及使多个第二导电性物质122沿着上下方向维持的第二弹性物质323，在下侧弹性导电部321混合第二弹性物质323及多个第二导电性物质122。
117.上侧弹性导电部311的第一弹性物质313与下侧弹性导电部321的第二弹性物质323为不同的弹性物质。因此，在上侧弹性导电部及下侧弹性导电部的加压状态下，根据用于受检设备的温度环境，第一弹性物质321及第二弹性物质323具有不同的膨胀率。受检设备可以在比较高的第一温度范围内及比较低的第二温度范围内检查。上述第一温度范围可以为25℃至160℃的温度范围。上述第二温度范围可以为小于上述第一温度范围的温度范围，可以为-60℃至25℃的温度范围。在上述第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质321可具有第一膨胀率，第二弹性物质323可具有与第一膨胀率不同的第二膨胀率。在上述第二温度范围内中的加压状态下，第一弹性物质321可具有第三膨胀率，第二弹性物质323可具有与第三膨胀率不同的第四膨胀率。
118.作为一例，在上述第一温度范围内的加压状态下，第一弹性物质313具有小于第二弹性物质323的第二膨胀率的第一膨胀率。具有小于第二弹性物质的第二膨胀率的第一膨胀率的第一弹性物质313可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，但并不局限于此。氧化铁、氮化硼及氮化铝可作为添加剂添加到硅橡胶。即，第一弹性物质321包含耐热性材料。第二弹性物质323可以为一般的硅橡胶。或者，在连接器10中，下侧弹性导电部321可包含具有氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶的第一弹性物质313，上侧弹性导电部311包含作为一般的硅橡胶的第二弹性物质323。
119.作为另一例，在上述第二温度范围内的加压状态下，第二弹性物质323具有比第一弹性物质313的第三膨胀率高的第四膨胀率。具有大于第一弹性物质313的第三膨胀率的第四膨胀率的第二弹性物质323可包含氟及硅橡胶，但并不局限于此。即，第二弹性物质323包含耐寒性材料。第一弹性物质313可以为一般的硅橡胶。或者，在连接器10中，下侧弹性导电部321可包含作为硅橡胶的第一弹性物质313，上侧弹性导电部311可包含氟及作为硅橡胶的第二弹性物质323。
120.作为另一例，在上述第一温度范围内的加压状态下，上侧弹性导电部311的第一弹性物质313可具有小于第二弹性物质323的第二膨胀率的第一膨胀率，在上述第二温度范围内的加压状态下，下侧弹性导电部321的第二弹性物质323可具有大于第一弹性物质313的第三膨胀率的第四膨胀率。即，上侧弹性导电部311可包含具有氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶的弹性物质，下侧弹性导电部321可包含具有氟及硅橡胶的弹性物质。或者，在连接器10中，上侧弹性导电部311可包含氟及硅橡胶的弹性物质，下侧弹性导电部321可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶。
121.上述实施例的连接器在构成上侧弹性导电部311的弹性物质及构成下侧弹性导电部321的弹性物质不同的第一温度范围内及第二温度范围内的加压状态下分别具有不同的膨胀率。因此，上述实施例的连接器可在比较高的温度中的检查(例如，在上述第一温度范围内中的检查)中防止弹性导电部的过度膨胀，从而具有得到提高的耐热性。并且，上述实
施例的连接器可以在比较低的温度的检查(例如，在上述第二温度范围内中的检查)中防止弹性导电部的过度收缩，从而具有得到提高的耐寒性。当在比较低的温度中的检查时，若连接器的结构要素过度收缩，则膨胀极少程度，为了获得在弹性导电部的适当导电性，需要向弹性导电部施加过大的压力。但是，上述实施例的连接器10当在比较低的温度中的检查时可以无需施加强烈的压力，在适当的压力下，即可获得确切的弹性复原力。
122.在规定的温度范围内的加压状态下，上述膨胀率可根据弹性导电部的膨胀程度改变。通过压力，当弹性导电部沿着上下方向按压时，弹性导电部能够以沿着上下方向收缩并沿着水平方向或直径方向扩大形态，即，弹性导电部的横截面形状增加的形态弹性变形。在加压状态下的弹性导电部可以具有大于非加压状态下的体积或直径的体积或直径。考虑到弹性导电部的这种变形，膨胀率可以为非加压状态下的弹性导电部的体积或直径与加压状态下的弹性导电部的体积或直径的比例。
123.与一般温度下的加压状态相比，在上述第一温度范围内的加压状态下，多个弹性导电部可以进一步膨胀。根据实施例，在上述第一温度范围内的加压状态下，具有包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶的弹性物质的弹性导电部具有耐热性材料，从而提高连接器的耐热性。因此，与不具有包含上述耐热性材料的一般的硅橡胶的弹性导电部相比，实施例的弹性导电部可以更少膨胀，由此，可具有更低的膨胀率。与一般温度下的加压状态相比，在上述第二温度范围内的加压状态下，多个弹性导电部可以更少膨胀。在上述第二温度范围内的加压状态下，具有包含氟及硅橡胶的弹性物质的弹性导电部具有耐寒性材料，从而提高连接器的耐寒性。因此，与不具有包含上述耐寒性材料的一般的硅橡胶的弹性导电部相比，实施例的弹性导电部可以进一步膨胀，由此，可具有更高的膨胀率。
124.膨胀率能够以特定的极限温度(例如，-60℃或150℃)下的行程(stroke)及压力的相关关系为基础，对并不包括上述耐寒性或耐热性材料的一般的弹性导电部与包括上述耐寒性或耐热性材料的弹性导电部的膨胀层度进行比较来测定。行程可以为非加压状态下的弹性导电部的高度与在以可检查的方式使电流流动的加压状态下的弹性导电部的高度之间的差异。
125.作为一例，对以使上述一般弹性导电部和实施例的弹性导电部呈现出相同行程的方式施加的多个压力进行比较来比较及测定膨胀率。为了在如-60℃的极限温度下产生相同的行程，需要向并不具有耐寒性材料的上述一般的弹性导电部施加比实施例的弹性导电部高的压力。这意味着在上述第二温度范围内的加压状态下，实施例的弹性导电部比上述一般的弹性导电部更膨胀以及实施例的弹性导电部具有更高的膨胀率。
126.作为另一例，可通过比较上述一般的弹性导电部与实施例的弹性导电部在相同的压力下呈现的多个行程来比较及测定膨胀率。在如-60℃的极限温度下施加相同的施加力的情况下，上述一般的弹性导电部所呈现的行程可小于实施例的弹性导电部所呈现的行程。这意味着在上述第二温度范围内的加压状态下，实施例的弹性导电部比上述一般的弹性导电部更膨胀以及实施例的弹性导电部具有更高的膨胀率。
127.当在特定温度下，向弹性导电部施加相同的压力时，膨胀率可作为弹性导电部沿着水平方向延伸的长度的比例或体积的比例测定。针对上述长度的比例，以在非加压状态下的弹性导电部的最外侧表面的直径尺寸为基准，可以求出加压状态下的弹性导电部的膨胀的最外侧表面的尺寸。针对上述体积的比例，以在非加压状态下的弹性导电部的体积的
尺寸为基准，可求出在加压状态下的弹性导电部的膨胀的体积的尺寸。
128.图12为示出本公开第五实施例的连接器的一部分的剖视图。参照图5说明的连接器10可具有在上侧弹性导电部与下侧弹性导电部形成的第一间隙141及在各个弹性导电部与绝缘部之间形成的第二间隙142及第三间隙143，在比较高的温度范围内及比较低的温度范围内可呈现出良好的检查可靠性。
129.参照图12，连接器10的上侧导电模组可以由图10所示的实施例的上侧导电模组210构成。因此，在上侧弹性导电部与下侧弹性导电部之间，沿着上下方向形成的第一间隙141与绝缘部130的上部面接近配置。
130.参照图12，连接器10的下侧导电模组420的下侧弹性导电部421沿着上下方向的长度大于上侧弹性导电部211沿着上下方向的长度。下侧导电模组420的下侧支撑部424沿着上下方向支撑下侧弹性导电部421，可以具有与上述实施例的下侧支撑部相同的结构，厚度可大于上述实施例的下侧支撑部的厚度。
131.下侧弹性导电部421包括由双重结构形成的导电体。详细地，下侧弹性导电部421包括可沿着上下方向vd导电的第一导电部421及第二导电部4212。第一导电部4211沿着下侧弹性导电部421的上下方向的中心轴设置。第二导电部4212的长度可以与第一导电部4211的上下方向的长度相同。第二导电部4212沿着上下方向包围第一导电部4211。即，第二导电部4212可呈沿着上下方向延伸的环形状的圆筒形状。
132.在第一导电部421及第二导电部4212混合上述多个导电性物质及沿着上下方向维持这种导电性物质的弹性物质。详细地，第一导电部4211包括多个第一导电性物质4221以及沿着上下方向vd维持多个第一导电性物质4221的第一弹性物质4231。第二导电部4212包括多个第二导电性物质4222及沿着上下方向vd维持多个第二导电性物质4222的第二弹性物质4232。第一导电性物质4221与第二导电性物质4222可以为相同的物质或不同的物质，可以为上述实施例的导电性物质。第一弹性物质4231与第二弹性物质4232为不同的物质。第一弹性物质4231及第二弹性物质4232在上述第一温度范围内的加压状态下可分别具有第一膨胀率及第二膨胀率，在上述第二温度范围内的加压状态下分别具有第三膨胀率及第四膨胀率。
133.在上述第一温度范围内的加压状态下，第一导电部4211的第一弹性物质4231可具有小于第二弹性物质4232的第二膨胀率的第一膨胀率。第一弹性物质4231可包含作为耐热性材料的氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶。在上述第二温度范围内的加压状态下，第二导电部4212的第二弹性物质4232可具有大于第一弹性物质4231的第三膨胀率的第四膨胀率。第二弹性物质4232可包含作为耐寒性材料的氟及硅橡胶。上述实施例的弹性物质的膨胀率可通过与在图11例示的实施例中说明的测定方法类似的方式测定。
134.代替性地，第一弹性物质4231可包含氟及硅橡胶，第二弹性物质4232可包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶。因此，若第一弹性物质4231包含耐热性材料，则第二弹性物质4232可包含耐寒性材料。或者，若第一弹性物质4231包含耐寒性材料，则第二弹性物质4232可包含耐热性材料。如上所述，第一弹性物质4231可选自第一组及第二组，上述第一组包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，上述第二组包含氟及硅橡胶，第二弹性物质423可选自上述第一组及上述第二组中的剩余一组。
135.在上述实施例的连接器中，下侧导电模组420的下侧弹性导电部421具有弹性物质
不同的双重结构的导电体。当进行比较高温下的检查(例如，在上述第一温度范围内下的检查)时，下侧弹性导电部421的第一导电部4211可以防止下侧弹性导电部421的过度膨胀，当进行比较低的温度的检查(例如，上述第二温度范围内下的检查)时，下侧弹性导电部421的第二导电部4212可防止下侧弹性导电部421过度收缩。或者，第一导电部4211可防止过度收缩，第二导电部4212可防止过度膨胀。由此，连接器10可具有得到提高的耐寒性及耐热性，可无需为了检查受检设备而施加强烈的压力。
136.用于下侧弹性导电部421的上述双重结构也可用于上侧弹性导电部211。或者，上侧弹性导电部211及下侧弹性导电部421均可由上述双重结构形成。在图12所示的连接器10中，第一间隙141与绝缘部130的上部面靠近设置，以使第一间隙141位于绝缘部130的中间的方式使上侧弹性导电部211与下侧弹性导电部421具有相同的上下方向的长度。
137.以上，虽然根据一部分实施例和附图所示的例说明了本公开的技术思想，但应当理解的是，本公开所属技术领域的普通技术人员可在不脱离本公开的技术思想及范畴内进行多种修改、变形及变更。并且，这种修改、变形及变更均属于所附的发明要求保护范围内。