一种研磨液路系统的制作方法

1.本发明涉及半导体研磨技术领域，具体涉及一种研磨液路系统。


背景技术：

2.现有技术的液路系统只是单一管路的研磨液流出系统，存在以下技术缺陷：1)、单一管路无分流，流经上盘研磨工件时液体分布不均，导致工件加工厚度不均匀、产品不合格；2)、研磨系统没有回流、流量计、水枪清洗等功能，流量过大或过小、机器清洗不干净，表面有颗粒、杂质等会导致产品划伤、裂纹。
3.因此，如何设计一种研磨液路系统，成为急需解决的问题。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的问题，本发明提供一种研磨液路系统，以解决上述至少一种技术问题。
5.本发明的技术方案是：一种研磨液路系统，包括排液盘，所述排液盘外圈通过外圈的固定架固定在机床上，排液盘上方设置有绕着轴旋转的下盘安装座，下盘安装座的顶面向上依次设置有下盘、工件、上盘，上盘上设置有数个上下贯通的第一管路；排液盘的底面通过排液管与砂浆桶连接，砂浆桶内设置有抽液泵，抽液泵将砂浆桶内的液体依次通过进液管、液路分配系统从上盘的第一管路流到下盘与上盘之间的空间，液体参与工件的研磨后回流到排液盘；进液管的管路上设置有流量计，流量计、抽液泵均接入plc控制器，流量计通过plc控制器调节抽液泵的电机转速来控制流量。
6.本发明采用流量计，能精准显示液路系统内研磨液的流量大小，再通过调节抽液泵电机转速来控制流量，避免了液路系统内流量过大或过小；采用液路分配系统，在工件研磨时，研磨液路系统通过流量计监控流量大小，使液体流经工件表面时均匀，磨削量均匀，工件加工厚度均匀，解决了现有技术单一管路无分流，流经上盘研磨工件时液体分布不均的技术问题。
7.优选，所述上盘顶面通过数根立柱与上吊板连接，上吊板的顶面设置有接液盘，上吊板的顶面中心通过第一固定块与固定板连接，第一固定块的一端通过第二轴承与上吊板连接，第一固定块的另一端通过气缸与机床龙门架的横梁连接，接液盘上设置有数个接液盘出口，上吊板上设置有数个上下贯通的第二管路，接液盘出口与第二管路一一对应布置。
8.本发明采用在接液盘处进行分流，使液体流经工件表面时均匀，磨削量均匀，工件加工厚度均匀，解决了现有技术单一管路无分流，流经上盘研磨工件时液体分布不均的技术问题。
附图说明
9.图1为本发明的安装结构示意图。
10.图2为本发明的液路分配系统结构示意图。
11.图3为本发明的进液系统结构示意图。
12.图中：1.底座；2.第一轴承；3.轴；4.排液盘；5.下盘安装座；6.固定架；7.下盘；8.上盘；9.工件；10.立柱；11.上吊板；12.接液盘；13.连接管；14.第一内接头；15.第一球阀；16.固定板；17.快插接头；18.第一水管；19.三通接头a；20.第二球阀；21.第二内接头；22.第一弯头；23.分液管；24.三通接头b；25.气缸；26.第一固定块；27.第二轴承；28.第二水管；29.排液管；30.砂浆桶；31.抽液泵；32.搅拌叶；33.第三水管；34.d型快插接头；35.a型快插接头；36.第一宝塔接头；37.第四水管；38.第二宝塔接头；39.第三球阀；40.第三内接头；41.第三宝塔接头；42.第二固定块；43.第四内接头；44.第四球阀；45.三通接头c；46.流量计；47.第三固定块；48.进液管；49.进水管；50.第四宝塔接头；51.第一水连接块；52.第一出水管；53.第五宝塔接头；54.第五球阀；55.第五内接头；56.第二出水管；57.第二水连接块；58.第六内接头；59.第二弯头；60.第六宝塔接头；61.第五水管；62.水枪。
具体实施方式
13.下面结合附图对本发明做进一步的说明。
14.参阅图1-3，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，仍均应落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
15.实施例一、一种研磨液路系统，参考图1，包括底座1、排液盘4，底座1的顶面中心设置有第一轴承2，第一轴承2内设置有轴3，所述排液盘4外圈通过外圈的固定架6固定在机床上，排液盘4上方设置有绕着轴3旋转的下盘安装座5，下盘安装座5的顶面向上依次设置有下盘7、工件9、上盘8，上盘8上设置有数个上下贯通的第一管路；排液盘4的底面通过排液管29与砂浆桶30连接，砂浆桶30内设置有抽液泵31，抽液泵31将砂浆桶30内的液体依次通过进液管48、液路分配系统从上盘8的第一管路流到下盘7与上盘8之间的空间，液体参与工件9的研磨后回流到排液盘4，砂浆桶30内还设置有搅拌叶32，搅拌叶32通过搅拌轴与电机连接，抽液泵31的入口管上设置有过滤网；进液管48的管路上设置有流量计46，流量计46、抽液泵31均接入plc控制器，流量计46通过plc控制器调节抽液泵31的电机转速来控制流量。本发明采用底座安装在地板上，起承重作用；采用流量计，能精准显示液路系统内研磨液的流量大小，再通过调节抽液泵电机转速来控制流量，避免了液路系统内流量过大或过小；采用液路分配系统，在工件研磨时，研磨液路系统通过流量计监控流量大小，这些功能使液体流经工件表面时均匀，磨削量均匀，工件加工厚度均匀，解决了现有技术单一管路无分流，流经上盘研磨工件时液体分布不均的技术问题；排液管工作时插在砂浆桶内，清洗机器时排液管插入地面排水沟内；砂浆桶内装满研磨液，通过搅拌叶不停的搅拌，使研磨液保持浓度均匀、不沉淀。
16.实施例二、在实施例一的基础上，所述上盘8顶面通过12根立柱10与上吊板11连接，上吊板11的顶面设置有接液盘12，上吊板11的顶面中心通过第一固定块26与固定板16
连接，第一固定块26的一端通过第二轴承27与上吊板11连接，第一固定块26的另一端通过气缸25与机床龙门架的横梁连接，接液盘12上设置有50个接液盘出口，上吊板11上设置有数个上下贯通的第二管路，接液盘出口与第二管路一一对应布置。本发明采用12根立柱沿着上吊板圆周均布；接液盘通过数十个接液盘出口将液体进行了分流，使液体流经工件表面时均匀，磨削量均匀，工件加工厚度均匀，解决了现有技术单一管路无分流，流经上盘研磨工件时液体分布不均的技术问题。
17.实施例三、在实施例二的基础上，参考图2，所述液路分配系统包括三通接头b24，三通接头b24的一个接口与抽液泵31的出口管通过进液管48连接，三通接头b24的另外两个接口分别连接数个相同结构的液路分配子系统；进液管48通过第三固定块47固定在机床龙门架的柱子上。本发明采用二组三通接头对液体进行分配，使得液路分配系统的流量分布均匀。
18.实施例四、在实施例三的基础上，任意一个所述液路分配子系统从上到下依次为分液管23、第一弯头22、第二内接头21、第二球阀20、三通接头a19，三通接头a19的另外两个接口分别连接第一水管18，任意一根第一水管18的另一端与接液盘12之间从上到下依次设置有第一球阀15、第一内接头14、连接管13，第一管路与第二管路之间通过第二水管28连接。
19.实施例五、在实施例四的基础上，所述固定板16上设置有数个安装孔，第一球阀15安装在安装孔内。本发明采用通过安装孔，将第一球阀安装在固定板上，实现液路分配子系统的安装定位。
20.实施例六、在实施例四的基础上，参考图3，所述进液管48位于进液系统上，进液系统还包括第二固定块42，第二固定块42内设置有三通管路a，三通管路a的第一接口依次通过第四球阀44、三通接头c45与进液管48连接，第四球阀44与第二固定块42、三通接头c45之间均设置有第四内接头43，三通接头c45的第三接口连接冲洗系统。本发明采用第四球阀能将进液系统进行分隔，当第四球阀关闭时，液路分配系统能通过外接纯水对下盘及上盘进行清洗。
21.实施例七、在实施例六的基础上，所述三通管路a的第二接口依次通过第四水管37、a型快插接头35、d型快插接头34与抽液泵31的出口管连接。本发明采用a型快插接头和d型快插接头，能方便地进行安装及拆卸。
22.实施例八、在实施例六的基础上，所述三通管路a的第三接口上设置有回流系统，回流系统包括与砂浆桶30连接的第三水管33，第三水管33依次通过第三球阀39、第三内接头40与三通管路a的第三接口连接。本发明采用关闭第四球阀，在研磨液不需进入机器时，回流系统可循环回到砂浆桶内，使研磨液一直保持均匀状态并流动。
23.实施例九、在实施例六的基础上，所述冲洗系统包括第一水连接块51，第一水连接块51内设置有三通管路b，三通管路b的第一接口通过进水管49与纯水连接，三通管路b的第二接口和第三接口分别连接第一冲洗系统、第二冲洗系统，第一冲洗系统三通接头c45的第三接口连接，其中三通管路b的第二接口向着三通接头c45的一侧依次设置有第一出水管52、第五球阀54、第五内接头55。本发明采用第一冲洗系统，此时排液管插入到地面排水沟内，将纯水经进液管、液路分配系统流入到上盘，对上盘、下盘进行清洗。
24.实施例十、在实施例九的基础上，所述第二冲洗系统包括水枪62，三通管路b的第
三接口向着水枪62一侧依次设置有第二出水管56、第二水连接块57、第六内接头58、第二弯头59、第五水管61。本发明采用第二冲洗系统，此时排液管插入到地面排水沟内，通过水枪能对纯水流不到的地方进行高压清洗，使机器清洗的更彻底更干净，防止有杂质和颗粒导致产品不合格。
25.具体实施时，第一水管18的规格为pu16，第一水管18的一端与三通接头a19的接口连接，第一水管18的另一端通过快插接头17与第一球阀15连接；第二水管28的规格为st12，第二水管28的两端均设置有第三宝塔接头41；第三水管33的规格为st19，，第三水管33的一端通过第二宝塔接头38连接第三球阀39；第四水管37的规格为st25，第四水管37的两端均设置有第一宝塔接头36；第五水管61的规格为st12，第五水管61的一端通过第六宝塔接头60连接第二弯头59，第五水管61的另一端连接水枪62；进水管49、第一出水管52、第二出水管56的规格均为st15；进水管49通过第四宝塔接头50与三通管路b的第一接口连接；第一出水管52的一端通过第四宝塔接头50与三通管路b的第一接口连接，第一出水管52的另一端通过第五宝塔接头53连接第五球阀54；第二出水管56的两端均设置有第四宝塔接头50。
26.本发明的工作过程：当研磨工件9时，气缸25的活塞向下带动上盘8压住工件9一定的压力，上盘8、工件9、下盘7同时运动进行研磨，第三球阀39关闭，第四球阀44打开，抽液泵31将砂浆桶30内的研磨液抽出，经过d型快插接头34、a型快插接头35、第四水管37进入第二固定块42，其中通过变频器控制抽液泵31的转速，可对研磨液进行流量控制，d型快插接头34、a型快插接头35在清洗砂浆桶30时可快速分离，使管子与砂浆桶30分离后，砂浆桶30清洗更方便；研磨液从第二固定块42流出经过第四内接头43、第四球阀44、第四内接头43、三通接头c45、流量计46进入进液管48，其中流量计46精确显示研磨液流量，流量显示偏高时，降低抽液泵31转速，流量显示偏低时，提高抽液泵31转速，以满足工件工艺所需流量。第三固定块47压住进液管48固定。研磨液从进液管48流出进入三通接头b24进行两路分流，流经分液管23、第一弯头22、第二内接头21、第二球阀20、三通接头a19后再进行四路分流，四路液体流经第一水管18、快插接头17、第一球阀15、第一内接头14、连接管13流入接液盘12内，接液盘12上有50个孔，安装第三宝塔接头41，上盘8上也安装有50个第三宝塔接头41，两端第三宝塔接头41之间连接第二水管28，液体流出到上盘8和下盘7之间的工件9上进行研磨加工，随后研磨液一部分经下盘7外圈直接流入排液盘p16内，另一部分经下盘内圈落入下盘安装座5上，再流入排液盘4内，最后排液盘4内全部液体通过排液管29流入砂浆桶30内进行回收并循环利用。
27.当机器暂停、取工件9时，气缸25需上升，上盘8与工件9分离，人为将工件9取出，此时需将第五球阀54关闭，下面一路的第四球阀44关闭，防止研磨液向上流动，第二固定块42左侧一路的第三球阀39则需打开，研磨液从砂浆泵31抽出后经过d型快插接头34、a型快插接头35、第四水管37进入第二固定块42，再分流经过第三内接头40、第三球阀39、第三水管33流回砂浆桶30进行循环。
28.当机器清洗时，第四球阀44关闭，左侧一路第五球阀54打开，外接纯水进入进水管49、第一水连接块51，第一水连接块51，又分为二路，一路向上经第二出水管56、第二水连接
块57、第六内接头58、第二弯头59、第五水管61进入水枪62，按压水枪62对机器进行手动高压冲洗，另一路右向经第一出水管52、第五球阀54、第五内接头55、三通接头c45再向上流经流量计46、进液管48、三通接头b24进行两路分流，流经分液管23、第一弯头22、第二内接头21、第二球阀20、三通接头a19后再进行四路分流，四路液体流经第一水管18、快插接头17、第一球阀15、第一内接头14、连接管13流入接液盘12内，接液盘12内的液体再通过第三宝塔接头41、第二水管28、第三宝塔接头41，流出到上盘8和下盘7之间，随后通过下盘7和下盘安装座5流入排液盘4内，最后排液盘4内全部液体通过排液管29流出到地面排水沟内直接排掉，其中在清洗时排液管29切换插入到地面排水沟内。
29.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。