用于半导体晶圆覆膜的切膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种用于半导体晶圆覆膜的切膜装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，通常将晶圆电路面，即完成芯片功能的那一面称为正面，另外一面即为背面。在晶圆加工过程中，通常要经过切割过程，在晶圆切割前，为了在切割晶圆时保护晶圆通常会在晶圆的背面贴附一层薄膜，即贴附切割膜。传统的切割工艺，需要人为的把一卷膜料摊开，手持或者利用机械手夹持刀片对薄膜进行切割。
3.但是上述的切膜过程中，由于操作人员施力大小的不同，时常会造成薄膜切割不合适。而且手动切膜效率很低，不能实现自动化。
4.有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种用于半导体晶圆覆膜的切膜装置，使其更具有产业上的利用价值。


技术实现要素：

5.为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种用于半导体晶圆覆膜的切膜装置。
6.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
7.用于半导体晶圆覆膜的切膜装置，包括切膜机构支架、压送主从辊组件、第一转向辊组件、切膜从辊组件、切膜主辊组件、第二转向辊组件、浮动辊组件、放料辊组件、第三转向辊组件、第四转向辊组件、压送主辊组件和压送从辊组件；
8.切膜机构支架包括切膜支架底板、切膜支架侧板、机架、切膜支架电机侧板和铝型材架，铝型材架安装在机架上，切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间通过切膜支架连接杆连接在一起后通过切膜支架固定块安装在切膜支架底板上，切膜支架底板安装在铝型材架内侧的机架上；
9.铝型材架沿着x轴负方向一侧的底部设置有第三转向辊组件，第三转向辊组件正上方的铝型材架靠近的中部位置设置有第四转向辊组件，第四转向辊组件沿着x轴正方向一侧的切膜支架电机侧板上设置有放料辊组件，切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间沿着x轴正方向靠近底部的位置设置有浮动辊组件，浮动辊组件上方的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间设置有两组第二转向辊组件，第二转向辊组件沿着x轴负方向一侧的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间设置有压送主辊组件和压送从辊组件，压送主辊组件和压送从辊组件上方的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间设置有切膜从辊组件和切膜主辊组件，切膜从辊组件下方的切膜支架侧板上设置有单联放大器，切膜从辊组件和切膜主辊组件上方的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间设置有压送主从辊组件，压送主从辊组件上沿着x轴正方向的一侧设置有第一转向辊组件。
10.作为本实用新型的进一步改进，压送主从辊组件包括第一压送主辊伺服电机、第一压送主辊减速器、第二压送辊滑板、第一压送主辊包胶辊、压送从辊滚筒、第一压送辊滑板、压送辊气缸和第一压送从辊轴；切膜支架侧板和切膜支架电机侧板上的内侧顶部均沿着x轴方向设置有压送辊导轨，第二压送辊滑板和第一压送辊滑板分别通过压送辊滑块与压送辊导轨相连接，第一压送主辊包胶辊位于压送从辊滚筒沿着x轴正方向的一侧，第一压送主辊伺服电机和第一压送主辊减速器通过压送主辊电机支板和压送主辊电机支撑杆安装在第二压送辊滑板上，第一压送主辊伺服电机与第一压送主辊减速器通过第一压送主辊联轴器与第一压送主辊包胶辊相连接，压送从辊滚筒沿着x轴负方向一侧的第二压送辊滑板和第一压送辊滑板的内侧均安装有压送辊气缸，压送辊气缸的驱动端与沿着x轴正方向一侧的压送辊转接块驱动连接设置，压送从辊滚筒通过压送辊轴承与内侧的第一压送从辊轴相连接，第一压送从辊轴沿着y轴方向的两侧分别与压送辊转接块相连接，第一压送主辊包胶辊沿着y轴负方向的一侧通过压送主辊法兰安装在第一压送辊滑板上，第二压送辊滑板和第一压送辊滑板之间还连接设置有压送辊连接板、压送辊连接杆；第二压送辊滑板和第一压送辊滑板沿着x轴负方向的顶部均设置有压送辊固定块，压送辊固定块上设置有柱塞旋钮，柱塞旋钮下方的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板上均设置有与柱塞旋钮配合的压送辊塞块。
11.作为本实用新型的进一步改进，第一转向辊组件或第二转向辊组件包括第一转向辊轴和第一转向辊辊筒，第一转向辊辊筒通过第一转向辊轴承与内侧的第一转向辊轴相连接，第一转向辊轴承外侧的第一转向辊轴上设置有第一转向辊固定环，第一转向辊组件的第一转向辊轴沿着y轴方向的两侧分别通过第一转向辊法兰与第二压送辊滑板和第一压送辊滑板相连接，第二转向辊组件的第一转向辊轴沿着y轴方向的两侧分别通过第一转向辊法兰与切膜支架侧板和切膜支架电机侧板相连接；且第一转向辊辊筒上沿着y轴方向的两侧均安装有膜限位组件。
12.作为本实用新型的进一步改进，切膜从辊组件和切膜主辊组件依次沿着x 轴的正方向设置，且切膜主辊组件与切膜从辊组件驱动连接设置；
13.切膜主辊组件包括切膜主辊伺服电机、切膜主辊减速器和切膜主辊辊轴，切膜主辊伺服电机和切膜主辊减速器通过切膜主辊第一电机板和切膜主辊第二电机板安装在切膜支架电机侧板上，切膜主辊第一电机板和切膜主辊第二电机板之间还设置有切膜主辊电机盖板，切膜主辊伺服电机和切膜主辊减速器通过切膜主辊联轴器与切膜主辊辊轴相连接，切膜主辊联轴器沿着y轴正方向的一侧设置有膜切主辊直齿轮，切膜主辊联轴器沿着y轴正方向的一侧通过切膜主辊第二法兰和切膜主辊法兰盖安装在切膜支架电机侧板上，切膜主辊联轴器沿着y轴负方向的一侧通过切膜主辊第一法兰和切膜主辊法兰盖安装在切膜支架侧板上，切膜主辊联轴器沿着y轴负方向的一侧还设置有切膜主辊手轮，切膜主辊手轮通过切膜主辊锁紧螺母、切膜主辊齿锁垫圈与切膜主辊联轴器相连接；切膜主辊联轴器和膜切主辊直齿轮之间的切膜主辊辊轴上设置有切膜主辊隔圈，切膜主辊联轴器沿着y轴正方向的一侧和切膜主辊法兰盖之间设置有切膜主辊第四轴承和切膜主辊轴承密封圈，切膜主辊联轴器沿着y轴负方向的一侧和切膜主辊法兰盖之间设置有切膜主辊第二轴承、切膜主辊第三轴承和切膜主辊第一轴承；
14.切膜从辊组件包括膜切从辊直齿轮、切膜从辊第一轴承座、切膜从辊第二轴承座、
磁性切膜辊和切膜刀片，膜切从辊直齿轮与膜切主辊直齿轮啮合，磁性切膜辊沿着y轴方向的两侧分别设置有切膜辊第一头部和切膜辊第二头部，磁性切膜辊的外侧吸附有切膜刀片，切膜辊第一头部通过切膜从辊第一轴承与切膜从辊第一轴承座相连接，切膜辊第一头部通过切膜从辊键和切膜从辊挡圈与膜切从辊直齿轮相连接，切膜辊第二头部通过切膜从辊第二轴承与切膜从辊第二轴承座相连接，切膜从辊第一轴承座和切膜从辊第二轴承座分别安装在切膜支架电机侧板和切膜支架侧板上，膜切从辊直齿轮和切膜从辊第一轴承座之间的切膜辊第一头部上设置有切膜从辊轴密封圈，膜从辊第二轴承座外侧的切膜辊第二头部上还通过遮光片轴承设置有切膜从辊遮光片，切膜从辊遮光片和膜从辊第二轴承座之间的切膜辊第二头部上还设置有切膜从辊锁紧螺母和切膜从辊齿锁垫圈，切膜从辊遮光片下方的设置有切膜传感器，切膜传感器通过切膜传感器支架安装在切膜支架侧板上，切膜从辊遮光片与切膜传感器相配合设置，切膜从辊第一轴承座和切膜从辊第二轴承座上还设置有矩形弹簧和膜切从辊油嘴。
15.作为本实用新型的进一步改进，浮动辊组件包括光纤安装座、浮动辊导轨和浮动辊轴，光纤安装座沿着z轴方向安装在切膜支架侧板上，光纤安装座上的顶部和底部均设置有光电传感器，光纤安装座内侧的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板上均沿着z轴方向设置有浮动辊导轨，浮动辊辊筒通过浮动辊轴承与内侧的浮动辊轴相连接，浮动辊轴通过浮动辊限位杆安装在感应片安装座上，感应片安装座通过浮动辊滑块与浮动辊导轨相连接，靠近光纤安装座一侧的感应片安装座上安装有与光电传感器相配合的浮动辊感应片，浮动辊轴承外侧的浮动辊轴上设置有浮动辊固定环，且浮动辊辊筒上还设置有膜限位组件。
16.作为本实用新型的进一步改进，切膜从辊组件沿着x轴负方向一侧的切膜支架侧板和切膜支架电机侧板之间还设置有膜切辊调节组件，膜切辊调节组件沿着x轴正方向依次包括膜切辊顶板和膜切辊推板，膜切辊顶板安装在切膜支架侧板和切膜支架电机侧板上，膜切辊顶板沿着x轴负方向的一侧设置有膜切辊第一旋钮，膜切辊第二旋钮通过膜切辊螺柱经过膜切辊第一旋钮后与膜切辊推板相连接，膜切辊顶板和膜切辊推板之间的膜切辊螺柱上设置有膜切辊压圈，膜切辊推板沿着x轴正方向的一侧设置有由膜切辊第二轴承支板、膜切辊第三轴承支板和膜切辊第一轴承支板组成的滚柱安装座，滚柱导向器通过膜切辊轴承油板和膜切辊挡圈安装在滚柱安装座上，膜切辊轴承油板上设置有膜切辊油嘴，滚柱安装座内还安装有膜切辊毛毡。
17.作为本实用新型的进一步改进，放料辊组件外侧的切膜支架电机侧板上设置有放料辊电机外罩组件，放料辊组件包括放料辊辊轴、第一放料辊同步带轮、放料辊减速器、放料辊同步带、第二放料辊同步带轮、放料辊辊筒和放料辊伺服电机；
18.放料辊伺服电机和放料辊减速器依次通过第二放料辊同步带轮、放料辊同步带和第一放料辊同步带轮与放料辊辊轴相连接，放料辊辊轴沿着y轴负方向的一侧设置有放料辊辊筒，放料辊辊筒和第一放料辊同步带轮之间的放料辊辊轴上设置有放料辊轴承套，放料辊轴承套通过放料辊轴承与放料辊辊轴相连接，放料辊轴承套和放料辊辊筒之间的放料辊辊轴上设置有放料辊第二挡圈、放料辊第一挡圈和放料辊第三挡圈，放料辊辊轴沿着y轴正方向的一侧设置有放料辊第一管接头，放料辊辊筒凹槽内沿着y轴的负方向依次设置有放料辊转接头和膜片式夹紧气缸，放料辊转接头上设置有放料辊第二管接头，膜片式夹紧气缸沿着y轴正方向的一侧设置有放料辊微型管接头，放料辊轴承套和第一放料辊同步带
轮之间的放料辊辊轴上设置有放料辊固定轴环；放料辊组件靠近上方和下方的切膜支架电机侧板上均设置有光纤传感器，光纤传感器通过光纤传感器固定板安装在切膜支架电机侧板上。
19.作为本实用新型的进一步改进，第三转向辊组件包括第三转向辊轴、第三转向辊辊筒、第三转向辊支座、第三转向辊第一支撑板、第三转向辊第二支撑板，第三转向辊第一支撑板通过第三转向辊第二支撑板安装在铝型材架上，第三转向辊辊筒的内侧通过第三转向辊轴承与第三转向辊轴相连接，第三转向辊轴沿着y轴方向上的两侧分别与第三转向辊第一支撑板上的第三转向辊支座相连接，第三转向辊轴承外侧的第三转向辊轴上设置有第三转向辊固定环，且第三转向辊辊筒上还设置有膜限位组件；
20.第四转向辊组件包括第四转向辊轴、第四转向辊支座、第四转向辊辊筒、第四转向辊底部支撑板和第四转向辊支撑立板，第四转向辊支撑立板通过第四转向辊底部支撑板安装在铝型材架上，第四转向辊辊筒的内侧通过第四转向辊轴承与第四转向辊轴相连接，第四转向辊轴沿着y轴方向上的两侧分别与第四转向辊支撑立板上的第四转向辊支座相连接，第四转向辊轴承外侧的第四转向辊轴上设置有第四转向辊固定环，且第四转向辊辊筒上还设置有膜限位组件。
21.作为本实用新型的进一步改进，压送主辊组件和压送从辊组件依次沿着x 轴的负方向设置，压送主辊组件包括第二压送主辊伺服电机、第二压送主辊减速器和第二压送主辊包胶辊，第二压送主辊伺服电机和第二压送主辊减速器通过压送主辊支撑立柱和压送主辊电机板安装在切膜支架电机侧板上，第二压送主辊伺服电机和第二压送主辊减速器通过第二压送主辊联轴器与第二压送主辊包胶辊相连接，第二压送主辊包胶辊沿着y轴正方向的一侧通过压送主辊第一法兰和压送主辊轴承安装在切膜支架电机侧板上，第二压送主辊包胶辊沿着y 轴负方向的一侧通过压送主辊第二法兰和压送主辊轴承安装在切膜支架侧板上；
22.压送从辊组件包括压送从辊辊筒、第二压送从辊轴和压送从辊气缸，压送从辊气缸通过从辊气缸固定块安装在切膜支架侧板和切膜支架电机侧板上的内侧，压送从辊气缸的驱动端与沿着x轴负方向一侧的压送从辊转接块驱动连接设置，压送从辊辊筒的内侧设置有第二压送从辊轴，第二压送从辊轴沿着y轴方向的两侧分别与压送从辊转接块相连接，两个压送从辊转接块之间连接设置有压送从辊连接杆，压送从辊辊筒沿着y轴方向的两侧和第二压送从辊轴之间设置有压送从辊固定环。
23.作为本实用新型的进一步改进，膜限位组件包括膜限位块上部和膜限位块下部，膜限位块上部和膜限位块下部之间通过限位螺栓连接在一起，膜限位块上部和膜限位块下部上均设置有用于定位的限位顶丝和限位螺母。
24.借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
25.1、通过设置多级多道膜辊组件，对晶圆膜进行传输，能够有效保证膜传输的稳定性；
26.2、通过设置可动的浮动辊使得膜始终保持在涨紧的状态；
27.3、通过设置切膜主辊以及切膜从辊能够有效实现对整个成卷状的膜料进行切割，使其切割成一个一个的圆状，便于后续的贴膜；
28.4、在对膜进行传输过程中对传输辊进行了带有电机驱动的主辊和不带电机驱动
的从辊，主辊能够提供动力，保证膜的传输，从辊提供方向，使得膜按照预定的路线进行传输；
29.5、通过设置切膜调节结构能够有效调节切膜从辊组件和切膜主辊组件之间的间隙，从而调节对膜上膜的切深，使得刀片既能切掉主膜又不至于切道辅膜，完成切膜动作；
30.6、在放料辊组件上方安装有膜监测传感器，能够监测放料辊上膜料的有无；
31.7、在压送从辊组件上设有气缸、在压送主从辊组件中的压送从辊上也设有气缸，这些气缸能够对压送从辊组件上的滚筒进行调节，可以对膜料进行压紧，有效输送主辊的力，松开后可以对膜料进行调节；
32.8、通过在切膜主辊与切膜从辊上设置的齿轮传动，能够有效保证切膜主辊与切膜从辊传动同步，确保膜切的位置是唯一的，不出现卡顿、错位等问题。
33.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
34.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
35.图1是本实用新型第一侧的结构示意图；
36.图2是本实用新型第二侧的结构示意图；
37.图3是本实用新型第三侧的结构示意图；
38.图4是图1中切膜机构支架的结构示意图；
39.图5是图1中压送主从辊组件的结构示意图；
40.图6是图5的俯视图；
41.图7是图6关于a-a截面的剖视图；
42.图8是图6关于b-b截面的剖视图；
43.图9是图1中第一转向辊组件或第二转向辊组件的结构示意图；
44.图10是图1中切膜从辊组件的结构示意图；
45.图11是图10内部的结构示意图；
46.图12是图1中切膜主辊组件的结构示意图；
47.图13是图12内部的结构示意图；
48.图14是图1中浮动辊组件7的结构示意图；
49.图15是图1中膜切辊调节组件的结构示意图；
50.图16是图15的仰视图；
51.图17是图15的后视图；
52.图18是图1中放料辊组件的结构示意图；
53.图19是图18内部的结构示意图；
54.图20是图1中第三转向辊组件的结构示意图；
55.图21是图1中第四转向辊组件的结构示意图；
56.图22是图1中压送主辊组件的结构示意图；
57.图23是图1中压送从辊组件的结构示意图；
58.图24是图1中膜限位组件的结构示意图；
59.图25是本实用新型的膜的传输路线图。
60.其中，图中各附图标记的含义如下。
61.切膜机构支架1、压送主从辊组件2、第一转向辊组件3、切膜从辊组件4、切膜主辊组件5、第二转向辊组件6、浮动辊组件7、单联放大器8、膜切辊调节组件9、放料辊组件10、第三转向辊组件11、第四转向辊组件12、放料辊电机外罩组件13、压送主辊组件14、压送从辊组件15、膜限位组件16、光纤传感器17、光纤传感器固定板18；
62.切膜机构支架1：切膜支架底板101、切膜支架固定块102、切膜支架侧板 103、切膜传感器104、切膜传感器支架105、机架106、切膜支架电机侧板107、切膜支架连接杆108、铝型材架109、压送辊塞块110；
63.压送主从辊组件2：第一压送主辊伺服电机201、第一压送主辊减速器202、压送主辊电机支板203、压送主辊电机支撑杆204、第二压送辊滑板205、压送辊转接块206、第一压送主辊包胶辊207、压送从辊滚筒208、第一压送辊滑板 209、压送主辊法兰210、压送辊导轨211、压送辊滑块212、压送辊固定块213、柱塞旋钮214、压送辊连接板215、压送辊连接杆216、压送辊气缸217、第一压送主辊联轴器218、压送辊轴承219、第一压送从辊轴220；
64.第一转向辊组件3或第二转向辊组件6：第一转向辊端盖301、第一转向辊轴302、第一转向辊固定环303、第一转向辊辊筒304、第一转向辊轴承305、第一转向辊法兰306；
65.切膜从辊组件4：膜切从辊直齿轮401、切膜从辊第一轴承座402、切膜从辊轴承挡圈403、切膜辊第一头部404、磁性切膜辊405、切膜辊第二头部406、矩形弹簧407、遮光片轴承408、切膜从辊第二轴承座409、切膜从辊遮光片410、切膜从辊锁紧螺母411、切膜从辊齿锁垫圈412、切膜从辊键413、切膜从辊轴密封圈414、切膜从辊第一轴承415、切膜从辊第二轴承416、膜切从辊油嘴417、切膜从辊挡圈418、切膜刀片419；
66.切膜主辊组件5：切膜主辊伺服电机501、切膜主辊减速器502、切膜主辊第一电机板503、切膜主辊隔圈504、切膜主辊联轴器505、膜切主辊直齿轮506、切膜主辊第二电机板507、切膜主辊第二法兰508、切膜主辊电机盖板509、切膜主辊法兰盖510、切膜主辊第一轴承511、切膜主辊辊轴512、切膜主辊锁紧螺母513、切膜主辊齿锁垫圈514、切膜主辊第一法兰515、切膜主辊手轮516、切膜主辊第二轴承517、切膜主辊第三轴承518、切膜主辊第四轴承519、切膜主辊轴承密封圈520；
67.浮动辊组件7：光纤安装座701、浮动辊感应片702、浮动辊辊筒703、浮动辊滑块704、浮动辊导轨705、浮动辊限位杆706、感应片安装座707、浮动辊固定环708、浮动辊轴承709、光电传感器710、浮动辊轴711；
68.膜切辊调节组件9：膜切辊第二轴承支板901、膜切辊第一旋钮902、滚柱导向器903、膜切辊轴承油板904、膜切辊第三轴承支板905、膜切辊油嘴906、膜切辊螺柱907、膜切辊第二旋钮908、膜切辊第一轴承支板909、膜切辊顶板 910、膜切辊推板911、膜切辊毛毡912、膜切辊压圈913、膜切辊挡圈914；
69.放料辊组件10：放料辊第三挡圈1001、放料辊微型管接头1002、放料辊转接头
1003、放料辊轴承1004、放料辊第一管接头1005、放料辊辊轴1006、放料辊固定轴环1007、第一放料辊同步带轮1008、放料辊减速器1009、放料辊同步带1010、第二放料辊同步带轮1011、放料辊轴承套1012、放料辊第二管接头 1013、膜片式夹紧气缸1014、放料辊辊筒1015、放料辊第一挡圈1016、放料辊第二挡圈1017、放料辊伺服电机1018；
70.第三转向辊组件11：第三转向辊轴承1101、第三转向辊固定环1102、第三转向辊轴1103、第三转向辊辊筒1104、第三转向辊支座1105、第三转向辊第一支撑板1106、第三转向辊第二支撑板1107；
71.第四转向辊组件12：第四转向辊轴1201、第四转向辊支座1202、第四转向辊固定环1203、第四转向辊辊筒1204、第四转向辊底部支撑板1205、第四转向辊支撑立板1206、第四转向辊轴承1207；
72.压送主辊组件14：第二压送主辊伺服电机1401、第二压送主辊减速器1402、压送主辊支撑立柱1403、第二压送主辊联轴器1404、压送主辊第一法兰1405、压送主辊轴承1406、压送主辊电机板1407、第二压送主辊包胶辊1408、压送主辊第二法兰1409；
73.压送从辊组件15：压送从辊转接块1501、从辊气缸固定块1502、压送从辊连接杆1503、压送从辊辊筒1504、压送从辊固定环1505、第二压送从辊轴1506 和压送从辊气缸1507；
74.膜限位组件16：限位顶丝1601、限位螺母1602、膜限位块上部1603、膜限位块下部1604、限位螺栓1605。
具体实施方式
75.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
76.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
77.实施例
78.如图1～图25所示，
79.切膜机构支架1用于支持和安装整个半导体晶圆覆膜切膜装置的各个部分的组件，其中切膜支架连接杆108用于连接切膜支架侧板103和切膜支架电机侧板107，保证膜的安装间距，在切膜支架侧板103和切膜支架电机侧板107上方也都安装有压送辊10塞块110，用于调节压送主辊组件14和压送从辊组件 15在切膜机构支架1中的位置，在切膜支架侧板103的一侧安装切膜感应器支架105，在切膜感应器支架1上安装有传感器104，其用来检测切膜从辊组件4 的旋转度数，能够使防膜更加精准，保证膜始终是涨紧状态。
80.所述的压送主从辊组件2中第一压送主辊伺服电机201与第一压送主辊减速器202，通过第一压送主辊联轴器218连接到第一压送从辊轴220上，驱动第一压送从辊轴220
转动，在第一压送从辊轴220上包裹有第一压送主辊包胶辊 207，第一压送主辊包胶辊207带动膜运动，提供膜运行的动力，在第二压送辊滑板205与第一压送辊滑板209之间安装有压送辊连接板215和压送辊连接杆 216，保证整个压送主从辊组件2的整体框架结构，在第二压送辊滑板205与第一压送辊滑板209上都分别安装有压送辊气缸217，在压送辊气缸217的活动端安装有压送辊连接杆216，在压送辊连接杆216外侧包裹有压送从辊滚筒208，通过气缸的伸缩带动压送辊连接杆运动，从而实现对膜料的夹紧和松开，实现膜的运输和调整。在第二压送辊滑板205与第一压送辊滑板209上都分别安装有压送辊固定块213，柱塞旋钮214安装在压送辊固定块213上，通过调节柱塞旋钮214与切膜机构支架1中的压送辊塞块110的位置，能够对整个压送主从辊组件2进行调整，确保压送主从辊组件2的安装位置准确并进行固定。
81.第一转向辊组件3或第二转向辊组件6的结构组成相同，第一转向辊轴302 两端安装有第一转向辊法兰306，用第一转向辊端盖301固定第一转向辊法兰306，第一转向辊法兰306安装在切膜机构支架1上，在第一转向辊轴302的两端也安装有第一转向辊轴承305，在第一转向辊轴302的外表面包裹有第一转向辊辊筒304，第一转向辊辊筒304安装在第一转向辊轴承305上，能够在输送膜时，防止辊轴卡住，在第一转向辊辊筒304的两端安装有膜限位组件16，膜限位组件能够对膜料进行限制，防止膜料跑偏，进而保证切后的膜运输规整。
82.切膜从辊组件4的一端安装有膜切从辊直齿轮401，其与切膜主辊组件5中的膜切主辊直齿轮506进行啮合传动，带动膜切从辊直齿轮401转动，在磁性切膜辊405的两端通过螺钉固定有切膜辊第一头部404和切膜辊第二头部406，磁性切膜辊405外侧吸附有切膜刀片419，磁性切膜辊的旋转带动切膜刀片进行旋转，在通过的膜上进行切割，在切膜辊第一头部404和切膜辊第二头部406 的内部分别安装有切膜从辊第一轴承415、切膜从辊第二轴承416，在切膜辊第二头部406的一侧安装有锁紧螺母，能够对切膜辊第二头部406进行固定，防止窜动；在切膜辊第二头部406前部也安装有切膜从辊遮光片410，与切膜机构支架1上的切膜传感器104配合，能够实现对切割位置的监测，实现闭环控制。
83.切膜主辊组件5由切膜主辊伺服电机501提供切膜的动力，切膜主辊伺服电机501的前端安装有切膜主辊减速器502，切膜主辊减速器502通过切膜主辊联轴器505与切膜主辊辊轴512连接在一起，带动切膜主辊辊轴512转动，在切膜主辊辊轴512的一端安装有膜切主辊直齿轮506，膜切主辊直齿轮与切膜从辊组件4中的膜切从辊直齿轮401进行啮合，在切膜主辊辊轴512的两端安装有切膜主辊法兰盖510，在切膜主辊辊轴512的两端也安装有切膜主辊第二法兰 508和切膜主辊第一法兰515，通过切膜主辊第二法兰508和切膜主辊第一法兰 515使得整个切膜主辊组件5安装在切膜机构支架上，在切膜主辊辊轴512的一端也安装有切膜主辊手轮516，通过切膜主辊手轮516能够对切膜主辊辊轴512 进行转动，手动调节膜料的输送。
84.第二转向辊组件6中的第一转向辊轴302与膜料接触，带动膜料按预定方式进行传输。
85.浮动辊组件7中的两端安装有浮动辊导轨705，在浮动辊导轨705上安装有浮动辊滑块704，浮动辊轴711通过感应片安装座707固定在滑块上，在浮动辊轴711外侧包裹有浮动辊辊筒703，通过膜料在传输过程中的涨紧需要，可以自动调整滑块在导轨中的位置，能够保证膜料始终是涨紧的状态，同时在浮动辊辊筒703上的两端也安装有膜限位组件16，能
够对膜料进行左右限制，防止膜料跑偏，在导轨的一侧也安装有光纤安装座701，感应片安装座707上安装有浮动辊感应片702，光电传感器710安装在光纤安装座上，浮动辊在光电传感器的上下两个之间进行运动，能够防止浮动辊溜出导轨。
86.膜切辊调节组件9通过膜切辊顶板910安装在切膜机构支架上，在膜切辊顶板910的前面安装有膜切辊第一旋钮902，膜切辊第二旋钮908通过膜切辊螺柱907和膜切辊第一旋钮902安装在膜切辊推板911上，正反旋转膜切辊-旋钮能够推动膜切辊推板911前进或者后退，在膜切辊推板911前面安装有膜切辊第一轴承支板909，在膜切辊第一轴承支板909的两侧安装有膜切辊第三轴承支板905，滚柱导向器903固定在膜切辊轴承油板904上，滚柱导向器与切膜从辊组件4的切膜辊第一头部404、切膜辊第二头部406接触，能够调节切膜从辊组件4。
87.放料辊组件10，在放料辊伺服电机1018的一端安装有放料辊减速器1009，在减速器的一端安装有第二放料辊同步带轮1011，其通过放料辊同步带1010 与免键第一放料辊同步带轮1008连接，由伺服电机的转动带动放料辊辊轴1006 的转动，实现膜料的放料，在放料辊辊轴1006的外侧安装有放料辊辊筒1015，膜料安装在放料辊辊筒1015上，在放料辊辊轴1006的一端安装有放料辊第二挡圈1017，其可以对膜料的安装进行限位，同时在放料辊辊筒1015内部也安装有膜片式夹紧气缸1014，能够对膜料进行夹紧，防止窜动。
88.第三转向辊组件11设有第三转向辊第二支撑板1107，其安装在切膜机构支架1中的铝型材架109上，在第三转向辊第二支撑板1107两侧安装有第三转向辊支座1105，其用来支撑第三转向辊轴1103，使膜在第三转向辊辊筒1104上进行转向传输。
89.第四转向辊组件12设有第四转向辊底部支撑板1205，其安装在切膜机构支架1中的铝型材架109上，在第四转向辊底部支撑板1205两侧安装有第四转向辊支撑立板1206，其用来支撑第四转向辊轴1201，使膜在第四转向辊辊筒1204 上进行转向传输。
90.压送主辊组件14，由第二压送主辊伺服电机1401提供动力，第二压送主辊减速器1402的一端与伺服电机连接，一端通过第二压送主辊联轴器1404连接到第二压送主辊包胶辊1408上，带动其转动，完成对切割的膜料的输送。
91.压送从辊组件15上安装有压送从辊连接杆1503，在压送从辊连接杆1503 的两侧安装有压送从辊转接块1501，压送从辊气缸1507安装在从辊气缸固定块 1502上，从辊气缸固定块1502安装在切膜机构支架1上，实现整个组件的固定，压送从辊挡住膜料的另一个面，使得膜料传输稳定。
92.膜限位组件的膜限位块上部1603和膜限位块下部1604卡在各个需要对膜进行限位的辊筒轴上，使用限位螺栓1605进行锁紧，使用限位顶丝1601和限位螺母1602进行定位。
93.图25是膜传动路线图，膜的传动依次经过放料辊组件10、第三转向辊组件 11、第四转向辊组件12、第二转向辊组件6、浮动辊组件7、第二转向辊组件6、压送主辊组件14、切膜从辊组件4、切膜主辊组件5、第一转向辊组件3和压送主从辊组件2。
94.本实用新型的技术特点：
95.1、通过设置多级多道膜辊组件，对晶圆膜进行传输，能够有效保证膜传输的稳定性；
96.2、通过设置可动的浮动辊使得膜始终保持在涨紧的状态；
97.3、通过设置切膜主辊以及切膜从辊能够有效实现对整个成卷状的膜料进行切割，
使其切割成一个一个的圆状，便于后续的贴膜；
98.4、在对膜进行传输过程中对传输辊进行了带有电机驱动的主辊和不带电机驱动的从辊，主辊能够提供动力，保证膜的传输，从辊提供方向，使得膜按照预定的路线进行传输；
99.5、通过设置切膜调节结构能够有效调节切膜从辊组件和切膜主辊组件之间的间隙，从而调节对膜上膜的切深，使得刀片既能切掉主膜又不至于切道辅膜，完成切膜动作；
100.6、在放料辊组件上方安装有膜监测传感器，能够监测放料辊上膜料的有无；
101.7、在压送从辊组件上设有气缸、在压送主从辊组件中的压送从辊上也设有气缸，这些气缸能够对压送从辊组件上的滚筒进行调节，可以对膜料进行压紧，有效输送主辊的力，松开后可以对膜料进行调节；
102.8、通过在切膜主辊与切膜从辊上设置的齿轮传动，能够有效保证切膜主辊与切膜从辊传动同步，确保膜切的位置是唯一的，不出现卡顿、错位等问题。
103.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
104.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
105.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。