镀膜设备的制作方法

1.本技术涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种镀膜设备。


背景技术：

2.目前的原子层沉积(atomic layer deposition，ald)镀膜设备中，喷淋板固定设置于封闭门上，喷淋板与封闭门之间的位置无法调整。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术主要解决的技术问题是提供一种镀膜设备，能够调整喷淋板相对于封闭门的位置。
4.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种镀膜设备，包括封闭门、安装板、喷淋板、调节件。安装板滑动设置于封闭门。喷淋板设置于安装板上。调节件设置于封闭门和/或安装板上，用于调节安装板相对于封闭门的位置。
5.本技术的一些实施例中，调节件包括第一滑块、第一螺杆。第一滑块能够带动安装板移动以调整安装板相对于封闭门的。第一滑块设置于封闭门，且与第一螺杆螺接。第一滑块沿着第一螺杆在平行于封闭门的方向移动。其中，安装板安装于第一滑块上。
6.本技术的一些实施例中，调节件包括第二滑块、第二螺杆。第二螺杆设置于第一滑块上。第二滑块与第二螺杆螺接，第二滑块沿着第二螺杆在平行于封闭门的方向移动。其中，安装板安装于第二滑块上。第一螺杆和第二螺杆交叉。
7.本技术的一些实施例中，镀膜设备包括锁紧件。锁紧件设置于封闭门，用于锁固安装板与封闭门。
8.本技术的一些实施例中，镀膜设备包括外壳体、内壳体。外壳体与内壳体的一端具有开口。内壳体设置于外壳体的内部，且内壳体的开口与外壳体的开口位于同侧。内壳体内具有气体流道。气体流道的进气口位于内壳体的侧壁，气体流道的出气口位于内壳体的开口端面上。其中，锁紧件锁固安装板与封闭门后，封闭门闭合外壳体的开口时，喷淋板闭合内壳体的开口且喷淋板的进气口与气体流道的出气口连通。
9.本技术的一些实施例中，镀膜设备包括支撑件。支撑件设置于外壳体上，用于支撑内壳体。
10.本技术的一些实施例中，支撑件的数量为四个，分布于内壳体的四周。
11.本技术的一些实施例中，支撑件均可调节长度，以使得内壳体在外壳体内的位置可调节。
12.本技术的一些实施例中，镀膜设备包括第一管路。第一管路用于输入气体。第一管路的出气口与内壳体的气体流道的进气口连通。
13.本技术的一些实施例中，镀膜设备包括载具。载具位于内壳体内，用于承载产品。产品垂直放置于载具上。产品平行于从喷淋板输出的气体的流动方向。
14.本技术的一些实施例中，镀膜设备包括阀门。阀门设置于第一管路，用于控制第一
管路开闭。
15.本技术的有益效果是：镀膜设备包括封闭门、安装板、喷淋板、调节件。安装板滑动设置于封闭门。喷淋板设置于安装板上。调节件设置于封闭门和/或安装板上，用于调节安装板相对于封闭门的位置。本技术通过调节件调节安装板相对于封闭门的位置，使得喷淋板封闭门的相对位置可调节。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
17.图1是本技术镀膜设备一实施例的封闭门和喷淋板；
18.图2是本技术镀膜设备一实施例的主视图(省略封闭门)；
19.图3是图1的右视图。
具体实施方式
20.为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图，对本技术的具体实施方式做详细的说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
21.请参阅图1至图3。图1是本技术镀膜设备一实施例的封闭门40和喷淋板50，图2是本技术镀膜设备一实施例的主视图(省略封闭门40)，图3是图1的右视图。
22.在一些实施例中，镀膜设备包括封闭门40、安装板11、喷淋板50、调节件(后文中进行描述)。安装板11滑动设置于封闭门40。喷淋板50设置于安装板11上。调节件设置于封闭门40和/或安装板11上，用于调节安装板11相对于封闭门40的位置。在一些实施例中，安装板11通过线轨配合的方式，滑动设置于封闭门40。喷淋板50设置于安装板11上，以使得喷淋板50能够相对于封闭门40滑动。
23.在一些实施例中，调节件设置于封闭门40上。调节件调节安装板11相对于封闭门40的位置，进而调节安装板11上的喷淋板50与封闭门40的位置。
24.在一些实施例中，调节件设置于安装板11上，用于调节安装板11相对于封闭门40的位置。示例性地，调节件为电机，可精确调节安装板11相对于封闭门40的位置。
25.在一些实施例中，调节件包括第一滑块31、第一螺杆32。第一滑块31能够带动安装板11移动以调整安装板11相对于封闭门40的位置。第一滑块31设置于封闭门40，且与第一螺杆32螺接。第一滑块31沿着第一螺杆32在平行于封闭门40的方向移动。其中，安装板11安装于第一滑块31上。在一些实施例中，通过转动第一螺杆32，可以使得第一滑块31沿着第一螺杆32移动。第一螺杆32水平放置时，第一滑块31在水平移动。第一滑块31上的安装板11在第一滑块31的带动下，水平移动，进而使得喷淋板50在水平方向的位置可调节。第一螺杆32竖直放置时，第一滑块31在竖直移动。第一滑块31上的安装板11在第一滑块31的带动下，竖
直移动，进而使得喷淋板50在竖直方向的位置可调节。
26.在一些实施例中，调节件包括第二滑块33、第二螺杆34。第二螺杆34设置于第一滑块31上。第二滑块33与第二螺杆34螺接，第二滑块33沿着第二螺杆34在平行于封闭门40的方向移动。其中，安装板11安装于第二滑块33上。第一螺杆32和第二螺杆34交叉。具体地，第一螺杆32和第二螺杆34交叉，使得第二滑块33上的安装板11可以在两个不同的方向移动。
27.在一些实施例中，通过转动第二螺杆34，可以使得第二滑块33沿着第二螺杆34移动。第一螺杆32与第二螺杆34都水平放置时，第二滑块33可以在水平方向移动更远地距离。如图1所示，在一些实施例中，第一螺杆32竖直放置，第二螺杆34水平放置。第一螺杆32和第二螺杆34可以同时转动，使得安装板11快速地移动至预定的位置。
28.在一些实施例中，镀膜设备包括锁紧件35。锁紧件35设置于封闭门40，用于锁固安装板11与封闭门40。
29.在一些实施例中，通过调节件将安装板11移动至预定位置后，在加工的过程中，安装板11的位置可能会发生偏移，锁紧件35可以将安装板11与封闭门40的相对位置固定。在一些实施例中，锁紧件35为螺栓，封闭门40上有对应的螺纹，通过螺栓将安装板11锁紧于封闭门40上。
30.在一些实施例中，镀膜设备包括外壳体10、内壳体20。外壳体10与内壳体20的一端具有开口。内壳体20设置于外壳体10的内部，且内壳体20的开口与外壳体10的开口位于同侧。内壳体20内具有气体流道21。气体流道21的进气口位于内壳体20的侧壁，气体流道21的出气口位于内壳体20的开口端面上。其中，锁紧件35锁固安装板11与封闭门40后，封闭门40闭合外壳体10的开口时，喷淋板50闭合内壳体20的开口且喷淋板50的进气口与气体流道21的出气口连通。
31.在一些实施例中，外壳体10与内壳体20水平放置。外壳体10和内壳体20的一端具有开口，另一端封闭。内壳体20设置于外壳体10的内部，且内壳体20的开口与外壳体10的开口位于同侧。在一些实施例中，内壳体20与外壳体10都为筒状。内壳体20和外壳体10的形状和大小可以根据实际情况进行设置。
32.在一些实施例中，封闭门40打开时，内壳体20与外壳体10与外界连通，用户可以通过外壳体10与内壳体20的开口，对内壳体20与外壳体10的内的装置进行维修或者将产品放置于内壳体20或外壳体10内。封闭门40闭合时，外壳体10与内壳体20同时与外界隔绝。喷淋板50的结构和形状可以根据实际情况进行设置。本实施例中，喷淋板50的大小和形状与内壳体20的开口端面相同。
33.在一些实施例中，喷淋板50的进气口与气体流道21的出气口的大小相同。当封闭门40闭合时，喷淋板50的进气口可能存在无法与气体流道21的出气口对接，或者只有部分与气体流道21的出气口对接，影响气体的传送效率。此时可以通过调节件调整喷淋板50相对于内壳体20开口端面的位置，使得喷淋板50的进气口与气体流道21的出气口精准对接。
34.在一些实施例中，加工不同的产品需要使用不同喷淋板50，不同的喷淋板50的进气口的位置不同。通过调节件调整喷淋板50的位置，并通过锁紧件35，固定安装板11相对于封闭门40的相对位置，进而使得喷淋板50相对于内壳体20的开口的相对位置固定，使喷淋板50的进气口可以与内壳体20开口端面的出气口稳定连通。
35.如图3所示，在一些实施例中，镀膜设备包括支撑件80。支撑件80设置于外壳体10
上，用于支撑内壳体20。示例性地，支撑件80的数量可以为多个，使得内壳体20稳定地固定在外壳体10内。
36.在一些实施例中，支撑件80的数量为四个，分布于内壳体20的四周。示例性地，内壳体20和外壳体10都为筒状，且内壳体20与外壳体10同轴。支撑件80在内壳体20的上下和两侧对内壳体20进行固定。在一些实施例中，内壳体20与外壳体10的间隙中具有加热件，使得内壳体20内的温度升高，对产品进行加工。因此，支撑件80由耐高温的材料制成，能够对内壳体20提供稳定的支撑。
37.在一些实施例中，支撑件80均可调节长度，以使得内壳体20在外壳体10内的位置可调节。为使得内壳体20开口端面上的出气口能够更便捷地与喷淋板50的进气口相对接，支撑件80的长度可以调节。通过调节内壳体20四周的支撑件80的长度，内壳体20能够相对于喷淋板50进行水平和竖直两个方向的移动。同时当需要将内壳体20从外壳体10中取出时，也只需将支撑件80与内壳体20分开即可。
38.在一些实施例中，镀膜设备包括第一管路30。第一管路30用于输入气体。第一管路30的出气口与内壳体20的气体流道21的进气口连通。在一些实施例中，第一管路30穿过外壳体10的壁面，进入外壳体10与内壳体20的间隙中，并将第一管路30的出气口与内壳体20的气体流道21的进气口连通。第一管路30可以输入一种气体，也可以输入多种气体。当封闭门40闭合后，第一管路30内的气体从喷淋板50的喷淋孔51均匀输入内壳体20内。
39.在一些实施例中，镀膜设备包括载具60。载具60位于内壳体20内，用于承载产品。产品垂直放置于载具60上。产品平行于从喷淋板50输出的气体的流动方向。
40.在一些实施例中，产品为基片。载具60沿内壳体20的径向放置。产品垂直放置于载具60上，使得产品与内壳体20的轴向平行。喷淋孔51沿内壳体20的轴向输出气体，使得产品平行于从喷淋孔51输出的气体的流动方向。
41.在一些实施例中，镀膜设备包括阀门70。阀门70设置于第一管路30，用于控制第一管路30开闭。在一些实施例中，镀膜设备使用原子层沉积(atomic layer deposition，ald)技术对产品进行镀膜。示例性地，阀门70还可以调节从第一管路30内输出的气体的流量大小，从而控制产品上所镀的膜的厚度或原子沉积的层数。
42.以上所述仅为本技术的实施方式，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。