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镀膜设备的制作方法

2023-01-17 16:25:12 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种镀膜设备,其特征在于,包括:封闭门;安装板,所述安装板滑动设置于所述封闭门;喷淋板,所述喷淋板设置于所述安装板上;调节件,所述调节件设置于所述封闭门和/或所述安装板上,用于调节所述安装板相对于所述封闭门的位置。2.根据权利要求1所述镀膜设备,其特征在于,所述调节件包括:第一滑块,能够带动所述安装板移动以调整所述安装板相对于所述封闭门的位置;第一螺杆,所述第一滑块设置于所述封闭门,且与所述第一螺杆螺接,所述第一滑块沿着所述第一螺杆在平行于所述封闭门的方向移动;其中,所述安装板安装于所述第一滑块上。3.根据权利要求2所述镀膜设备,其特征在于,所述调节件包括:第二滑块;第二螺杆,所述第二螺杆设置于所述第一滑块上,所述第二滑块与所述第二螺杆螺接,所述第二滑块沿着所述第二螺杆在平行于所述封闭门的方向移动;其中,所述安装板安装于所述第二滑块上,所述第一螺杆和所述第二螺杆交叉。4.根据权利要求3所述镀膜设备,其特征在于,包括:锁紧件,所述锁紧件设置于所述封闭门,用于锁固所述安装板与所述封闭门。5.根据权利要求4所述镀膜设备,其特征在于,包括:外壳体,所述外壳体的一端具有开口;内壳体,所述内壳体的一端具有开口,所述内壳体设置于所述外壳体的内部,且所述内壳体的开口与所述外壳体的开口位于同侧,所述内壳体内具有气体流道,所述气体流道的进气口位于所述内壳体的侧壁,所述气体流道的出气口位于所述内壳体的开口端面上;其中,所述锁紧件锁固所述安装板与所述封闭门后,所述封闭门闭合所述外壳体的开口时,所述喷淋板闭合所述内壳体的开口且所述喷淋板的进气口与所述气体流道的出气口连通。6.根据权利要求1所述镀膜设备,其特征在于,包括:支撑件,所述支撑件设置于所述外壳体上,用于支撑所述内壳体。7.根据权利要求6所述镀膜设备,其特征在于,所述支撑件的数量为四个,分布于所述内壳体的四周。8.根据权利要求7所述镀膜设备,其特征在于,所述支撑件均可调节长度,以使得所述内壳体在所述外壳体内的位置可调节。9.根据权利要求5所述镀膜设备,其特征在于,包括:第一管路,用于输入气体,所述第一管路的出气口与所述内壳体的所述气体流道的进气口连通。10.根据权利要求9所述镀膜设备,其特征在于,包括:载具,所述载具位于所述内壳体内,用于承载产品;所述产品垂直放置于所述载具上,所述产品平行于从所述喷淋板输出的气体的流动方向。
11.根据权利要求10所述镀膜设备,其特征在于,包括:阀门,所述阀门设置于所述第一管路,用于控制所述第一管路开闭。

技术总结
本申请涉及机械设备技术领域,提供一种镀膜设备。镀膜设备包括封闭门、安装板、喷淋板、调节件。安装板滑动设置于封闭门。喷淋板设置于安装板上。调节件设置于封闭门和/或安装板上,用于调节安装板相对于封闭门的位置。本申请能够调整喷淋板相对于封闭门的位置。请能够调整喷淋板相对于封闭门的位置。请能够调整喷淋板相对于封闭门的位置。


技术研发人员:严大 左敏
受保护的技术使用者:江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日:2022.08.22
技术公布日:2022/12/1
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