用于射频电源的阻抗匹配系统及阻抗匹配调节方法与流程

技术特征：
1.一种用于射频电源的阻抗匹配系统，其特征在于，包括匹配模块和输出模块；匹配模块包括多个lc单元，多个lc单元中有n-1个lc单元ⅰ，n为大于1的整数，每个lc单元ⅰ的结构相同；lc单元ⅰ包括第一匹配电感（l1）、第一匹配电容（c1）和匹配开关（s2），匹配开关（s2）为单刀双掷开关；第一匹配电感（l1）的第一端与匹配开关（s2）的不动端连接，第一匹配电感（l1）的第二端与第一匹配电容（c1）的第一端连接；第一匹配电容（c1）的第二端与射频电源（uin）的第二端连接，匹配开关（s2）的第一触点与射频电源（uin）的第一端连接；第i个lc单元ⅰ的匹配开关（s2）的第二触点与第i 1个lc单元ⅰ的第一匹配电容（c1）的第一端连接，i∈{1，2，
……
，n-2}；第1个lc单元ⅰ与输出模块连接。2.根据权利要求1所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统，其特征在于，所述输出模块包括第一输出电感（lp）、第一输出电容（cp）和第一开关（s1），第一开关（s1）为单刀双掷开关；第一输出电感（lp）的第一端与第一开关（s1）的不动端连接，第一开关（s1）的第一触点与射频电源（uin）的第一端连接，第一开关（s1）的第二触点与第1个lc单元ⅰ的第一匹配电容（c1）的第一端连接。3.根据权利要求2所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统，其特征在于，所述输出模块包括第二输出电感（lr）和第二输出电容（cr）；第二输出电感（lr）的第一端与第一输出电感（lp）的第二端连接，第二输出电感（lr）的第二端与第二输出电容（cr）的第一端连接；第二输出电容（cr）的第二端与第一输出电容（cp）的第二端为阻抗匹配系统的输出端。4.根据权利要求2所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统，其特征在于，多个lc单元中有1个lc单元ⅱ，所述lc单元ⅱ包括第二匹配电感（l2）和第二匹配电容（c2）；第二匹配电感（l2）的第一端与射频电源（uin）的第一端连接，第二匹配电感（l2）的第二端与第二匹配电容（c2）的第一端连接，第二匹配电容（c2）的第二端与射频电源（uin）的第二端连接；第n-1个lc单元ⅰ的匹配开关（s2）的第二触点与第二匹配电容（c2）的第一端连接。5.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统，其特征在于，所述射频电源（uin）为低频电源。6.一种根据权利要求4所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统的阻抗匹配调节方法，其特征在于，包括以下步骤：s1、对阻抗匹配系统的输出功率进行检测；s2、依据检测的阻抗匹配系统的输出功率，选择第一开关（s1）的动端连接的触点和多个lc单元ⅰ中匹配开关（s2）的动端连接的触点。7.根据权利要求6所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统的阻抗匹配调节方法，其特征在于，在步骤s1之前，还包括：s0、将第一开关（s1）的动端与其第一触点连接，将多个lc单元ⅰ的匹配开关（s2）分别与各自的第一触点连接。8.根据权利要求7所述的一种用于射频电源的阻抗匹配系统的阻抗匹配调节方法，其特征在于，步骤s2包括：
若阻抗匹配系统的输出功率达到预设功率，则阻抗匹配调节结束；若阻抗匹配系统的输出功率未达到预设功率，则依次切换第一开关（s1）的动端的连接触点和多个lc单元ⅰ的匹配开关（s2）的动端的连接触点，将第一开关（s1）和多个lc单元ⅰ的匹配开关（s2）的动端与各自的第二触点连接；每切换一个匹配开关（s2）的动端的连接触点后，执行步骤s1，直至阻抗匹配系统的输出功率达到预设功率。

技术总结
本发明涉及用于射频电源的阻抗匹配系统及阻抗匹配调节方法，一种用于射频电源的阻抗匹配系统，包括多个LC单元和输出模块；多个LC单元中有n-1个LC单元Ⅰ，n为大于1的整数；LC单元Ⅰ包括第一匹配电感、第一匹配电容和匹配开关，匹配开关为单刀双掷开关；第一匹配电感的第一端与匹配开关的不动端连接，第一匹配电感的第二端与第一匹配电容的第一端连接；第一匹配电容的第二端与射频电源的第二端连接，匹配开关的第一触点与射频电源的第一端连接；第i个LC单元Ⅰ的匹配开关的第二触点与第i 1个LC单元Ⅰ的第一匹配电容的第一端连接，i∈{1，2，


技术研发人员：乐卫平 林伟群
受保护的技术使用者：深圳市恒运昌真空技术有限公司
技术研发日：2022.12.01
技术公布日：2022/12/30