蓝膜分离取晶装置的制作方法

1.本发明涉及全自动共晶贴片技术领域，尤其涉及一种蓝膜分离取晶装置。


背景技术：

2.在全自动共晶贴片机领域，如何实现热沉与芯片的上料是整个设备至关重要的环节。传统的顶针组件是步进电机带动凸轮直接作用于顶针上，通过顶针的上下运动实现物料蓝膜分离，如果电机参数设置出现偏差导致顶针上移的速度或者距离增大很可能对芯片造成损伤，从而影响良品率。


技术实现要素：

3.鉴于此，本发明的目的在于，提供一种蓝膜分离取晶装置，主要针对6/8寸蓝膜/华夫盒固定件、4寸华夫盒上的物料，通过视觉系统带动x、y向模组精确移动，在保证拾取成功率的前提下，能够有效减少对芯片的损伤。
4.为了达到上述发明目的，进而采取的技术方案如下：蓝膜分离取晶装置，包括，蓝膜运动部件，所述蓝膜运动部件包括蓝膜/华夫盒固定件、x向模组和y向模组，所述蓝膜/华夫盒固定件设置在所述y向模组上，所述蓝膜/华夫盒固定件上开设有圆形通孔，所述蓝膜/华夫盒固定件底部设置有负压阀安装孔，载有物料（热沉或芯片）的蓝膜固定在所述圆形通孔上，所述y向模组设置在所述x向模组上，用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件沿y轴方向运动，所述x向模组用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件沿x轴方向运动；顶针组件，所述顶针组件设置在圆形通孔的下方，所述顶针组件包括顶针底板，所述顶针底板上设置有xy向滑台，所述xy向滑台上设有用于驱动顶针夹组件沿z轴方向运动的二级滑动机构，所述二级滑动机构上设有用于驱动顶针夹组件中的套筒沿z轴方向运动的电机驱动组件，所述顶针夹组件用于刺破蓝膜将其与物料分离。
5.作为本发明的进一步改进，所述x向模组包括晶圆底板，所述晶圆底板上设有x向导轨，所述晶圆底板上位于x向导轨的y轴方向的两侧固定有晶圆立板，所述x向导轨的一端设置有x向驱动电机，所述x向导轨上滑动设置有x向滑座，所述x向滑座上固定有模组连接板，所述模组连接板上固定有y向模组，通过x向驱动电机驱动x向滑座连同模组连接板一起沿x向导轨直线移动，进而可以驱动y向模组沿x向导轨直线移动。
6.作为本发明的进一步改进，所述y向模组包括y向导轨，所述y向导轨设置在x向模组上，所述y向导轨的一端设置有y向驱动电机，所述y向导轨上滑动安装有y向滑座，所述y向滑座固定有蓝膜/华夫盒固定件，所述y向导轨的一侧设置有拖链，所述拖链与固定在蓝膜/华夫盒固定件上的拖链固定件相连。
7.作为本发明的进一步改进，所述x向模组和所述y向模组上均设有传感器，所述传感器通过传感器安装片固定在x向模组/y向模组上，所述传感器包括固定在x向模组上的x向正限位传感器、x向负限位传感器、x向原点传感器，和固定在y向模组上的y向正限位传感
器、y向负限位传感器、y向原点传感器。
8.作为本发明的进一步改进，所述二级滑动机构包括设置在xy向滑台上的底座转接板，所述底座转接板上垂直固定有滑动底座，所述滑动底座上沿z轴方向设置有气缸驱动组件和第一交叉滚珠导轨，所述第一交叉滚珠导轨内滑动设置有二级滑动底板，所述二级滑动底板上沿z轴方向设置有第二交叉滚珠导轨，所述第二交叉滚珠导轨内设置有拨杆，所述二级滑动底板上设置有套筒顶出连板，所述套筒顶出连板的顶部设置有主轴安装座，所述主轴安装座上固定有主轴锁紧夹，所述主轴安装座的顶部设置有主轴安装基座，所述主轴安装基座上固定有套筒锁紧夹，所述气缸驱动组件的输出端与主轴安装基座连接，通过气缸驱动组件可带动二级滑动底板沿z轴方向移动。
9.作为本发明的进一步改进，所述顶针夹组件包括套筒、主轴、顶针和套筒盖，所述主轴的下端设置在所述主轴锁紧夹内，所述套筒套设在所述主轴上，所述套筒的下端设置在所述套筒锁紧夹内且与拨杆固定连接，所述主轴的顶部设有夹持头，所述顶针的下端通过锁环固定在所述夹持头内，所述套筒盖设置在所述套筒上，所述套筒盖上设置有供顶针穿出的顶针孔，通过气缸驱动组件可驱动套筒沿z轴方向运动，随着套筒的下移，顶针会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。
10.作为本发明的进一步改进，所述气缸驱动组件包括气缸和与气缸连接的气缸电磁阀，所述气缸电磁阀固定在所述顶针底板上，所述气缸通过气缸安装板固定在所述滑动底座上，气缸的输出端通过气缸头环连接有气缸推板，所述气缸推板与所述主轴安装基座连接。
11.作为本发明的进一步改进，所述滑动底座上固定有限位螺钉安装座，所述二级滑动底板上固定有气缸轴限位块，所述限位螺钉安装座内活动设置有限位螺钉，且所述限位螺钉的下端与所述气缸轴限位块固定连接。
12.作为本发明的进一步改进，所述电机驱动组件包括固定在二级滑动底板上的电机侧支板，所述电机侧支板上安装有步进电机，所述步进电机的底部固定有原点传感器感应片，所述电机侧支板上固定有原点传感器安装件，所述原点传感器安装件上安装有原点传感器，所述步进电机的顶部设有凸轮，所述凸轮与随动轮传动连接，所述随动轮安装在所述拨杆上，通过步进电机带动凸轮旋转而后传递给安装在拨杆上的随动轮，驱动拨杆沿第二交叉滚珠导轨滑动，进而带动与拨杆固定连接的套筒产生z向位移，随着套筒的下移顶针会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。
13.作为本发明的进一步改进，所述顶针底板上固定有24针端子架和负压阀，所述负压阀通过管路依次连接有空气过滤器和负压接头，所述负压接头通过管路与套筒连接，蓝膜/华夫盒固定件的z向运动通过套筒负压吸附的上下移动带动。
14.本发明的有益效果是：本发明利用顶针套筒的上下运动实现蓝膜与物料分离，顶针是固定不动的，有效避免了芯片的损伤。在本发明中，蓝膜/华夫盒固定件的x、y向运动主要通过x向模组、y向模组完成，z向运动通过顶针套筒负压吸附的上下移动带动，而套筒的上下运动时，通过步进电机带动凸轮旋转而后传递给安装在拨杆上的随动轮，驱动拨杆沿第二交叉滚珠导轨滑动，进而带动与拨杆固定连接的套筒产生z向位移，随着套筒的下移顶针会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。
附图说明
15.构成本技术的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：图1是本发明的总体结构示意图；图2是本发明中蓝膜运动部件的结构示意图；图3、4是本发明中顶针部件两个视角的结构示意图；图5是本发明顶针部件中的二级滑动机构的结构示意图；图6是本发明顶针部件中的顶针夹组件的结构示意图。
具体实施方式
16.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
17.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
18.如图1-6所示，蓝膜分离取晶装置，包括，蓝膜运动部件1，所述蓝膜运动部件1包括蓝膜/华夫盒固定件12、x向模组5和y向模组7，所述蓝膜/华夫盒固定件12设置在所述y向模组7上，所述蓝膜/华夫盒固定件12上开设有圆形通孔，所述蓝膜/华夫盒固定件12底部设置有负压阀30安装孔，载有物料（热沉或芯片）的蓝膜固定在所述圆形通孔上，所述y向模组7设置在所述x向模组5上，用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件12沿y轴方向运动，所述x向模组5用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件12沿x轴方向运动；顶针部件2，所述顶针部件2设置在圆形通孔的下方，所述顶针部件2包括顶针底板13，所述顶针底板13上设置有xy向滑台14，所述xy向滑台14上设有用于驱动顶针夹组件17沿z轴方向运动的二级滑动机构15，所述二级滑动机构15上设有用于驱动顶针夹组件17中的套筒46沿z轴方向运动的电机驱动组件，所述顶针夹组件17用于刺破蓝膜将其与物料分离。
19.所述x向模组5包括晶圆底板3，所述晶圆底板3上设有x向导轨，所述晶圆底板3上位于x向导轨的y轴方向的两侧固定有晶圆立板4，所述x向导轨的一端设置有x向驱动电机，所述x向导轨上滑动设置有x向滑座，所述x向滑座上固定有模组连接板6，所述模组连接板6上固定有y向模组7，通过x向驱动电机驱动x向滑座连同模组连接板6一起沿x向导轨直线移动，进而可以驱动y向模组7沿x向导轨直线移动。
20.所述y向模组7包括y向导轨，所述y向导轨设置在x向模组5上，所述y向导轨的一端设置有y向驱动电机，所述y向导轨上滑动安装有y向滑座，所述y向滑座固定有蓝膜/华夫盒固定件12，所述y向导轨的一侧设置有拖链10，所述拖链10与固定在蓝膜/华夫盒固定件12上的拖链固定件11相连。
21.所述x向模组5和所述y向模组7上均设有传感器9，所述传感器9通过传感器安装片
8固定在x向模组5/y向模组7上，所述传感器9包括固定在x向模组5上的x向正限位传感器、x向负限位传感器、x向原点传感器，和固定在y向模组7上的y向正限位传感器、y向负限位传感器、y向原点传感器。
22.所述二级滑动机构15包括设置在xy向滑台14上的底座转接板35，所述底座转接板35上垂直固定有滑动底座36，所述滑动底座36上沿z轴方向设置有气缸驱动组件和第一交叉滚珠导轨37，所述第一交叉滚珠导轨37内滑动设置有二级滑动底板39，所述二级滑动底板39上沿z轴方向设置有第二交叉滚珠导轨38，所述第二交叉滚珠导轨38内设置有拨杆40，所述二级滑动底板39上设置有套筒顶出连板41，所述套筒顶出连板41的顶部设置有主轴安装座44，所述主轴安装座44上固定有主轴锁紧夹42，所述主轴安装座44的顶部设置有主轴安装基座45，所述主轴安装基座45上固定有套筒锁紧夹43，所述气缸驱动组件的输出端与主轴安装基座45连接，通过气缸驱动组件可带动二级滑动底板39沿z轴方向移动。
23.所述顶针夹组件17包括套筒46、主轴47、顶针50和套筒盖51，所述主轴47的下端设置在所述主轴锁紧夹42内，所述套筒46套设在所述主轴47上，所述套筒46的下端设置在所述套筒锁紧夹43内且与拨杆40固定连接，所述主轴47的顶部设有夹持头48，所述顶针50的下端通过锁环49固定在所述夹持头48内，所述套筒盖51设置在所述套筒46上，所述套筒盖51上设置有供顶针50穿出的顶针孔，通过气缸驱动组件可驱动套筒46沿z轴方向运动，随着套筒46的下移，顶针50会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。
24.所述气缸驱动组件包括气缸31和与气缸31连接的气缸电磁阀29，所述气缸电磁阀29固定在所述顶针底板13上，所述气缸31通过气缸安装板32固定在所述滑动底座36上，气缸31的输出端通过气缸头环33连接有气缸推板34，所述气缸推板34与所述主轴安装基座45连接。
25.所述滑动底座36上固定有限位螺钉安装座19，所述二级滑动底板39上固定有气缸轴限位块18，所述限位螺钉安装座19内活动设置有限位螺钉20，且所述限位螺钉20的下端与所述气缸轴限位块18固定连接。
26.所述电机驱动组件包括固定在二级滑动底板39上的电机侧支板16，所述电机侧支板16上安装有步进电机，所述步进电机的底部固定有原点传感器感应片21，所述电机侧支板16上固定有原点传感器安装件23，所述原点传感器安装件23上安装有原点传感器22，所述步进电机的顶部设有凸轮24，所述凸轮24与随动轮28传动连接，所述随动轮28安装在所述拨杆40上，通过步进电机带动凸轮24旋转而后传递给安装在拨杆40上的随动轮28，驱动拨杆40沿第二交叉滚珠导轨38滑动，进而带动与拨杆40固定连接的套筒46产生z向位移，随着套筒46的下移顶针50会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。
27.所述顶针底板13上固定有24针端子架25和负压阀30，所述负压阀30通过管路依次连接有空气过滤器26和负压接头27，所述负压接头27通过管路与套筒46连接，蓝膜/华夫盒固定件12的z向运动通过套筒46负压吸附的上下移动带动。
28.本发明在使用时，将载有热沉或芯片的蓝膜放置于蓝膜/华夫盒固定件12的圆形通孔上并固定，蓝膜/华夫盒固定件12固定在由x向模组5和y向模组7搭成的运动机构上，两个模组各有三个传感器9：正限位、负限位、原点，分别感应不同的运动位置，蓝膜/华夫盒固定件12底部带有负压孔。蓝膜/华夫盒固定件12下方设有顶针部件2，用于物料与蓝膜的分离，顶针部件2最下端的xy向滑台14是带有x、y双向运动的高精度手动滑台，用于调整顶针
部件2x、y向位置，上方设置步进电机带动的凸轮24，接触凸轮24是与套筒46连接的随动轮28，配合步进电机实现套筒46的上下运动，套筒46内部是固定在主轴47上的顶针50，气缸31的作用主要是在设备回原点或停机后带动整个机构升降，使套筒46和蓝膜分离，整个机构的流程为：视觉系统识别到物料-x、y向模组7移动到相应位置-顶针部件2套筒46带动蓝膜下降使得顶针50将蓝膜刺穿实现物料与蓝膜的分离动作。
29.以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进、部件拆分或组合等，均应包含在本发明的保护范围之内。