蓝膜分离取晶装置的制作方法

技术特征：
1.蓝膜分离取晶装置，其特征在于：包括，蓝膜运动部件，所述蓝膜运动部件包括蓝膜/华夫盒固定件、x向模组和y向模组，所述蓝膜/华夫盒固定件设置在所述y向模组上，所述蓝膜/华夫盒固定件上开设有圆形通孔，所述蓝膜/华夫盒固定件底部设置有负压阀安装孔，载有物料的蓝膜固定在所述圆形通孔上，所述y向模组设置在所述x向模组上，用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件沿y轴方向运动，所述x向模组用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件沿x轴方向运动；顶针组件，所述顶针组件设置在圆形通孔的下方，所述顶针组件包括顶针底板，所述顶针底板上设置有xy向滑台，所述xy向滑台上设有用于驱动顶针夹组件沿z轴方向运动的二级滑动机构，所述二级滑动机构上设有用于驱动顶针夹组件中的套筒沿z轴方向运动的电机驱动组件，所述顶针夹组件用于刺破蓝膜将其与物料分离。2.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述x向模组包括晶圆底板，所述晶圆底板上设有x向导轨，所述晶圆底板上位于x向导轨的y轴方向的两侧固定有晶圆立板，所述x向导轨的一端设置有x向驱动电机，所述x向导轨上滑动设置有x向滑座，所述x向滑座上固定有模组连接板，所述模组连接板上固定有y向模组，通过x向驱动电机驱动x向滑座连同模组连接板一起沿x向导轨直线移动，进而可以驱动y向模组沿x向导轨直线移动。3.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述y向模组包括y向导轨，所述y向导轨设置在x向模组上，所述y向导轨的一端设置有y向驱动电机，所述y向导轨上滑动安装有y向滑座，所述y向滑座固定有蓝膜/华夫盒固定件，所述y向导轨的一侧设置有拖链，所述拖链与固定在蓝膜/华夫盒固定件上的拖链固定件相连。4.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述x向模组和所述y向模组上均设有传感器，所述传感器通过传感器安装片固定在x向模组/y向模组上，所述传感器包括固定在x向模组上的x向正限位传感器、x向负限位传感器、x向原点传感器，和固定在y向模组上的y向正限位传感器、y向负限位传感器、y向原点传感器。5.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述二级滑动机构包括设置在xy向滑台上的底座转接板，所述底座转接板上垂直固定有滑动底座，所述滑动底座上沿z轴方向设置有气缸驱动组件和第一交叉滚珠导轨，所述第一交叉滚珠导轨内滑动设置有二级滑动底板，所述二级滑动底板上沿z轴方向设置有第二交叉滚珠导轨，所述第二交叉滚珠导轨内设置有拨杆，所述二级滑动底板上设置有套筒顶出连板，所述套筒顶出连板的顶部设置有主轴安装座，所述主轴安装座上固定有主轴锁紧夹，所述主轴安装座的顶部设置有主轴安装基座，所述主轴安装基座上固定有套筒锁紧夹，所述气缸驱动组件的输出端与主轴安装基座连接，通过气缸驱动组件可带动二级滑动底板沿z轴方向移动。6.根据权利要求5所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述顶针夹组件包括套筒、主轴、顶针和套筒盖，所述主轴的下端设置在所述主轴锁紧夹内，所述套筒套设在所述主轴上，所述套筒的下端设置在所述套筒锁紧夹内且与拨杆固定连接，所述主轴的顶部设有夹持头，所述顶针的下端通过锁环固定在所述夹持头内，所述套筒盖设置在所述套筒上，所述套筒盖上设置有供顶针穿出的顶针孔，通过气缸驱动组件可驱动套筒沿z轴方向运动，随着套筒的下移，顶针会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。7.根据权利要求6所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述气缸驱动组件包括气缸和与气缸连接的气缸电磁阀，所述气缸电磁阀固定在所述顶针底板上，所述气缸通过气缸
安装板固定在所述滑动底座上，气缸的输出端通过气缸头环连接有气缸推板，所述气缸推板与所述主轴安装基座连接。8.根据权利要求7所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述滑动底座上固定有限位螺钉安装座，所述二级滑动底板上固定有气缸轴限位块，所述限位螺钉安装座内活动设置有限位螺钉，且所述限位螺钉的下端与所述气缸轴限位块固定连接。9.根据权利要求6所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述电机驱动组件包括固定在二级滑动底板上的电机侧支板，所述电机侧支板上安装有步进电机，所述步进电机的底部固定有原点传感器感应片，所述电机侧支板上固定有原点传感器安装件，所述原点传感器安装件上安装有原点传感器，所述步进电机的顶部设有凸轮，所述凸轮与随动轮传动连接，所述随动轮安装在所述拨杆上，通过步进电机带动凸轮旋转而后传递给安装在拨杆上的随动轮，驱动拨杆沿第二交叉滚珠导轨滑动，进而带动与拨杆固定连接的套筒产生z向位移，随着套筒的下移顶针会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。10.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述顶针底板上固定有24针端子架和负压阀，所述负压阀通过管路依次连接有空气过滤器和负压接头，所述负压接头通过管路与套筒连接，蓝膜/华夫盒固定件的z向运动通过套筒负压吸附的上下移动带动。

技术总结
本发明公开了蓝膜分离取晶装置，包括，蓝膜运动部件，蓝膜运动部件包括蓝膜/华夫盒固定件、X向模组和Y向模组，蓝膜/华夫盒固定件设置在Y向模组上，蓝膜/华夫盒固定件上开设有圆形通孔，蓝膜/华夫盒固定件底部设有负压阀安装孔，载有物料的蓝膜固定在圆形通孔上，Y向模组设置在X向模组上；顶针组件，顶针组件设置在圆形通孔的下方，顶针组件包括顶针底板，顶针底板上设有XY向滑台，XY向滑台上设有用于驱动顶针夹组件沿Z轴方向运动的二级滑动机构，二级滑动机构上设有用于驱动顶针夹组件中的套筒沿Z轴方向运动的电机驱动组件，顶针夹组件用于刺破蓝膜将其与物料分离。本发明能够在保证拾取成功率的前提下有效减少对芯片的损伤。证拾取成功率的前提下有效减少对芯片的损伤。证拾取成功率的前提下有效减少对芯片的损伤。


技术研发人员：乔丽 王贵森 肖勇
受保护的技术使用者：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
技术研发日：2022.12.12
技术公布日：2023/1/13