一种引晶功率计算方法、确定方法及装置与流程

1.本发明涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种引晶功率计算方法、确定方法及装置。


背景技术：

2.直拉单晶炉是一种用于通过直拉法生产单晶硅的制造设备。单晶炉台运行时，引晶功率一直是行业难点、痛点，需要有经验的技术工人进行找引晶功率，即使有经验的技术工人找的引晶功率也不是100%的准确率，能做到85%以上已经很少见了，且不同人员找出的引晶功率差异性也很大。
3.目前存在以下难点：1、引晶功率找不准时，引晶和引晶以下工序都会有影响，造成断线率急剧上升，断线在增加运行时间的同时也增加了成本支出。
4.2、有经验的技术工人需要时间积累经验，造成行业内技术工人人员很紧张，不好招人，也造成人员用工成本增加。
5.3、靠人员经验调温，时间长，准确性差 ，引晶、放肩、等径工序断线率增加，成本增加；同时管理起来，由于变量多，导致管理成本也大。


技术实现要素：

6.本发明提供了一种引晶功率计算方法、确定方法及装置，以至少克服上述一个难点。
7.本说明书实施例的第一方面公开了一种引晶功率计算方法，包括：基于单晶炉的上次生产数据，获取如下数据：获取上次引晶功率；获取上次平均引晶拉速；获取上次放肩高度；获取上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间；获取上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量；获取本次调温对应的硅液重量；基于单晶炉的历史生产数据，获取如下数据：获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；获取放肩高度变化量对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取运行时间变化量对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；确定引晶标准拉速和放肩标准高度；将上述数据输入引晶功率计算模型，计算得到本次引晶功率；
其中，所述引晶功率计算模型为：本次引晶功率=所述上次引晶功率 （所述上次平均引晶拉速-所述引晶标准拉速）x所述引晶拉速与功率变化系数 （所述放肩标准高度-所述上次放肩高度）x所述放肩高度与功率变化系数 所述上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x所述运行时间与功率变化系数 （所述上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-所述本次调温对应的硅液重量）x所述硅液重量与功率变化系数。
8.本说明书公开的一个实施例中，在除引晶拉速外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内的情况下，获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量，引晶拉速与功率变化系数=平均引晶拉速变化量对应的功率变化量/平均引晶拉速变化量。
9.本说明书公开的一个实施例中，在除放肩高度外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内的情况下，获取放肩高度变化量对应的功率变化量，放肩高度与功率变化系数=放肩高度变化量对应的功率变化量/放肩高度变化量。
10.本说明书公开的一个实施例中，在除运行时间外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内的情况下，获取运行时间变化量对应的功率变化量，运行时间与功率变化系数=运行时间变化量对应的功率变化量/运行时间变化量。
11.本说明书公开的一个实施例中，在除硅液重量外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内的情况下，获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量，硅液重量与功率变化系数=炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量/炉内石英埚内硅液重量变化量。
12.本说明书实施例的第二方面公开了一种引晶功率确定方法，包括：每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集；基于至少两次采集的单晶炉的生产数据，对生产数据进行统计分类，并获取如下数据：获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，平均引晶拉速对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；获取引晶拉速在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，放肩高度对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，引晶拉速在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，运行时间对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，平均引晶拉速在允许误差范围内时，硅液重量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；确定引晶标准拉速和放肩标准高度；在本次确定引晶功率时，获取如下数据：获取上次引晶功率；获取上次平均引晶拉速；获取上次放肩高度；获取上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间；获取上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量；获取本次调温对应的硅液重量；
通过引晶功率计算模型，确定本次引晶功率；其中，所述引晶功率计算模型为：本次引晶功率=所述上次引晶功率 （所述上次平均引晶拉速-所述引晶标准拉速）x所述引晶拉速与功率变化系数 （所述放肩标准高度-所述上次放肩高度）x所述放肩高度与功率变化系数 所述上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x所述运行时间与功率变化系数 （所述上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-所述本次调温对应的硅液重量）x所述硅液重量与功率变化系数。
13.本说明书公开的一个实施例中，基于连续两次采集的单晶炉的生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第一引晶功率；基于第一引晶功率，进行生产后，每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集；基于第一引晶功率进行生产后的连续两次采集的单晶炉的生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第二引晶功率；基于第二引晶功率，进行生产后，每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集；基于第二引晶功率进行生产后的至少两次采集的单晶炉的生产数据，对生产数据进行统计分类，并获取如下数据：获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，平均引晶拉速对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；获取引晶拉速在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，放肩高度对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，引晶拉速在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，运行时间对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，平均引晶拉速在允许误差范围内时，硅液重量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；基于第二引晶功率进行生产后获取的引晶拉速与功率变化系数、放肩高度与功率变化系数、运行时间与功率变化系数和硅液重量与功率变化系数，更新所述引晶功率计算模型。
14.本说明书公开的一个实施例中，每经过一次基于第二引晶功率进行生产后采集的单晶炉的生产数据，更新一次所述引晶功率计算模型。
15.本说明书实施例的第三方面公开了一种引晶功率确定装置，包括：数据获取确定模块，用于获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数，获取放肩高度变化量对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数，获取运行时间变化量对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数，获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；确定引晶标准拉速和放肩标准高度；数据获取模块，用于获取上次引晶功率、上次平均引晶拉速、上次放肩高度、上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间、上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量和本次调温对应的硅液重量；
引晶功率确定模块，用于将通过数据获取确定模块得到的数据和通过数据获取模块得到的数据输入引晶功率计算模型，得到本次的引晶功率；其中，所述引晶功率计算模型为：本次引晶功率=所述上次引晶功率 （所述上次平均引晶拉速-所述引晶标准拉速）x所述引晶拉速与功率变化系数 （所述放肩标准高度-所述上次放肩高度）x所述放肩高度与功率变化系数 所述上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x所述运行时间与功率变化系数 （所述上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-所述本次调温对应的硅液重量）x所述硅液重量与功率变化系数。
16.本说明书公开的一个实施例中，所述数据获取确定模块包括：第一获取确定模块，用于每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集，获取连续两次采集的单晶炉的生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第一引晶功率；第二获取确定模块，用于基于第一引晶功率进行生产后，每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集，获取至少两次采集的单晶炉的生产数据，该生产数据为：获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，平均引晶拉速对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；获取引晶拉速在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，放肩高度对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，引晶拉速在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，运行时间对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，平均引晶拉速在允许误差范围内时，硅液重量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；引晶功率确定模块，用于基于第一引晶功率进行生产后获取的引晶拉速与功率变化系数、放肩高度与功率变化系数、运行时间与功率变化系数和硅液重量与功率变化系数，更新所述引晶功率计算模型。
17.本说明书实施例至少可以实现以下有益效果：本发明通过获取上次引晶功率、上次平均引晶拉速、上次放肩高度、上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间、上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量、本次调温对应的硅液重量、引晶拉速与功率变化系数、放肩高度与功率变化系数、运行时间与功率变化系数、硅液重量与功率变化系数、引晶标准拉速和放肩标准高度；将上述数据输入引晶功率计算模型：本次引晶功率=上次引晶功率 （上次平均引晶拉速-引晶标准拉速）x引晶拉速与功率变化系数 （放肩标准高度-上次放肩高度）x放肩高度与功率变化系数 上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x运行时间与功率变化系数 （上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-本次调温对应的硅液重量）x硅液重量与功率变化系数，即可计算得到本次引晶功率；从手动找引晶功率到计算引晶功率，提高了找引晶功率的效率，提高了找引晶功率的准确性，降低了断线率，减少了断线，减少了运行成本。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本发明一些实施例中所涉及的引晶功率计算方法的步骤示意图。
20.图2为本发明一些实施例中所涉及的引晶功率确定方法的步骤示意图。
21.图3为本发明一些实施例中所涉及的引晶功率确定装置的结构示意图。
具体实施方式
22.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
23.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是本发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
24.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
25.此外，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
26.下面结合附图对本发明的实施例进行详细说明。
27.如图1所示，本说明书实施例的第一方面公开了一种引晶功率计算方法，包括如下步骤：步骤s1.基于单晶炉的上次生产数据，获取如下数据：获取上次引晶功率；获取上次平均引晶拉速；获取上次放肩高度；获取上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间；获取上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量；获取本次调温对应的硅液重量；步骤s2.基于单晶炉的历史生产数据，获取如下数据：
获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量，确定平均引晶拉速与功率变化系数；获取放肩高度变化量对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取运行时间变化量对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；确定引晶标准拉速和放肩标准高度；步骤s3.将上述数据输入引晶功率计算模型，计算得到本次引晶功率；其中，引晶功率计算模型为：本次引晶功率=上次引晶功率 （上次平均引晶拉速-引晶标准拉速）x引晶拉速与功率变化系数 （放肩标准高度-上次放肩高度）x放肩高度与功率变化系数 上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x运行时间与功率变化系数 （上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-本次调温对应的硅液重量）x硅液重量与功率变化系数。
28.应当理解的是，s1和s2没有固定执行顺序，可以不分先后执行，也可以同时执行，执行s1和s2后，即可执行s3，将数据代入引晶功率计算模型后，即可计算得到本次引晶功率。
29.在确定上述各个系数时，需要注意如下：在除引晶拉速外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内（功率相差0.5kw内，放肩高度相差10mm内,运行时间相差5小时内，硅液重量相差在20kg内）的情况下，获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量，引晶拉速与功率变化系数=平均引晶拉速变化量对应的功率变化量/平均引晶拉速变化量。
30.在除放肩高度外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内（功率相差0.5kw内，平均引晶拉速相差每小时10mm内,运行时间相差5小时内，硅液重量相差在20kg内）的情况下，获取放肩高度变化量对应的功率变化量，放肩高度与功率变化系数=放肩高度变化量对应的功率变化量/放肩高度变化量。
31.在除运行时间外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内（功率相差0.5kw内，放肩高度相差10mm内,平均引晶拉速相差每小时10mm内，硅液重量相差在20kg内）的情况下，获取运行时间变化量对应的功率变化量，运行时间与功率变化系数=运行时间变化量对应的功率变化量/运行时间变化量。
32.在除硅液重量外的其他数据没有变化或变化在允许误差范围内（功率相差0.5kw内，放肩高度相差10mm内,平均引晶拉速相差每小时10mm内，运行时间相差5小时内）的情况下，获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量，硅液重量与功率变化系数=炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量/炉内石英埚内硅液重量变化量。
33.如图2所示，本说明书实施例的第二方面公开了一种引晶功率确定方法，包括：步骤a1.每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集；步骤a2.基于至少两次采集的单晶炉的生产数据，对生产数据进行统计分类，并获取如下数据：获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，平均引晶拉速对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；
获取引晶拉速在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，放肩高度对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，引晶拉速在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，运行时间对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，平均引晶拉速在允许误差范围内时，硅液重量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；确定引晶标准拉速和放肩标准高度；步骤a3.在本次确定引晶功率时，获取如下数据：获取上次引晶功率；获取上次平均引晶拉速；获取上次放肩高度；获取上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间；获取上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量；获取本次调温对应的硅液重量；步骤a4.通过引晶功率计算模型，确定本次引晶功率；其中，引晶功率计算模型为：本次引晶功率=上次引晶功率 （上次平均引晶拉速-引晶标准拉速）x引晶拉速与功率变化系数 （放肩标准高度-上次放肩高度）x放肩高度与功率变化系数 上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x运行时间与功率变化系数 （上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-本次调温对应的硅液重量）x硅液重量与功率变化系数。
34.本实施例中，通过多个采样周期，使得数据的采集更加有规律，有利于后续各个数据的获取，可以提高获取数据的准确性，有效剔除一些无效数据，使得确定的引晶功率的准确度更高。
35.在一些实施例中，基于连续两次采集的单晶炉的生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第一引晶功率；基于第一引晶功率，进行生产后，每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集；基于第一引晶功率进行生产后的连续两次采集的单晶炉的生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第二引晶功率；基于第二引晶功率，进行生产后，每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集；基于第二引晶功率进行生产后的至少两次采集的单晶炉的生产数据，对生产数据进行统计分类，并获取如下数据：获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，平均引晶拉速对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；获取引晶拉速在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，放肩高度对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，引晶拉速在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，运行时间对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；
获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，平均引晶拉速在允许误差范围内时，硅液重量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；基于第二引晶功率进行生产后获取的引晶拉速与功率变化系数、放肩高度与功率变化系数、运行时间与功率变化系数和硅液重量与功率变化系数，更新引晶功率计算模型。
36.本实施例中，先在采样周期内采集生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第一引晶功率；然后使用第一引晶功率进行生产后，再在采样周期内采集生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第二引晶功率；接着，使用第二引晶功率进行生产后，再在采样周期内采集生产数据，并基于该生产数据得到的引晶拉速与功率变化系数、放肩高度与功率变化系数、运行时间与功率变化系数和硅液重量与功率变化系数，来更新引晶功率计算模型，使得后续通过引晶功率计算模型计算得到的引晶功率的准确度更高。
37.在一些实施例中，每经过一次基于第二引晶功率进行生产后采集的单晶炉的生产数据，更新一次引晶功率计算模型。
38.本实施例中，通过不断更新引晶功率计算模型，使得通过引晶功率计算模型计算得到的引晶功率更加贴近实际生产中复杂多变的生产情况，有利于在复杂多变的实际生产场景中，提高每次确定的引晶功率的准确度。
39.如图3所示，本说明书实施例的第三方面公开了一种引晶功率确定装置，包括：数据获取确定模块，用于获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数，获取放肩高度变化量对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数，获取运行时间变化量对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数，获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；确定引晶标准拉速和放肩标准高度；数据获取模块，用于获取上次引晶功率、上次平均引晶拉速、上次放肩高度、上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间、上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量和本次调温对应的硅液重量；引晶功率确定模块，用于将通过数据获取确定模块得到的数据和通过数据获取模块得到的数据输入引晶功率计算模型，得到本次的引晶功率；其中，引晶功率计算模型为：本次引晶功率=上次引晶功率 （上次平均引晶拉速-引晶标准拉速）x引晶拉速与功率变化系数 （放肩标准高度-上次放肩高度）x放肩高度与功率变化系数 上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间x运行时间与功率变化系数 （上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-本次调温对应的硅液重量）x硅液重量与功率变化系数。
40.在一些实施例中，数据获取确定模块包括：第一获取确定模块，用于每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集，获取连续两次采集的单晶炉的生产数据，通过引晶功率计算模型得到引晶功率，确定为第一引晶功率；第二获取确定模块，用于基于第一引晶功率进行生产后，每经过一个预设的采样周期，对单晶炉的生产数据进行一次采集，获取至少两次采集的单晶炉的生产数据，该生产
数据为：获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，平均引晶拉速对应的功率变化量，确定引晶拉速与功率变化系数；获取引晶拉速在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，放肩高度对应的功率变化量，确定放肩高度与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，引晶拉速在允许误差范围内，硅液重量在允许误差范围内时，运行时间对应的功率变化量，确定运行时间与功率变化系数；获取放肩高度在允许误差范围内，运行时间在允许误差范围内，平均引晶拉速在允许误差范围内时，硅液重量对应的功率变化量，确定硅液重量与功率变化系数；引晶功率确定模块，用于基于第一引晶功率进行生产后获取的引晶拉速与功率变化系数、放肩高度与功率变化系数、运行时间与功率变化系数和硅液重量与功率变化系数，更新引晶功率计算模型。
41.在一具体应用中，如下所示：
单晶炉号上次引晶对应的硅液重量（kg）上次引晶功率（kw）上次平均引晶拉速（mm/h）上次放肩高度（mm）上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间（h）本次调温对应的硅液重量（剩余重量）（kg）计算功率（本次引晶功率）（kw）1932683081071589069.7291668.5229139.84291268.43817.770219149.520735.369.7
当基于3号单晶炉的历史生产数据，计算得到的引晶拉速与功率变化系数为0.007，放肩高度与功率变化系数为0.035，运行时间与功率变化系数为0.003，硅液重量与功率变化系数为0.0035时，3号单晶炉的本次引晶功率为：70 (219-235)x0.007 (135-149.5)x0.035 20x0.003 (817.7-735.3)x0.0035=69.7289。
42.公式中235为引晶标准拉速，可根据不同单晶炉的不同标准调整。
43.公式中135为放肩标准高度，可根据不同单晶炉的不同标准调整。
44.综上所述，公开了本发明的多个具体实施例，在不自相矛盾的情况下，各个实施例可以自由组合形成新的实施例，也即属于替换方案的实施例之间可以自由替换，但不能相互组合；不属于替换方案的实施例之间可以相互组合，这些新的实施例也属于本发明的实质性内容。
45.以上实施例描述了本发明的多个具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，在不背离本发明原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围内。