冷却结构、冷却系统及分子泵的制作方法

1.本实用新型涉及分子泵冷却降温技术领域，具体涉及一种冷却结构、冷却系统及分子泵。


背景技术：

2.分子泵工作在高真空环境中，分子流态下，经过叶片的气体分子的平均自由程远远大于叶片通道的几何尺寸。气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动。在动叶列组合状态下，实现气体分子的定向流动，并获取相应的高抽速与压缩比。
3.在电机运转过程中以及气流与叶片的碰撞过程中会产生部分热量，热量主要来源于轴系的高速旋转部位，例如：电机部位、轴承部位。若这些部分热量不交换出去，分子泵温度升高，会对分子泵造成两大影响。
4.现有为了实现分子泵冷却，通常在电机壳外部加工多个连通且盘绕的冷水槽，水套套设在电机壳外部，从而冷水槽与外水套形成密闭空间，并且通过向密封空间内加注冷却水，从而实现对于轴系的告诉转动部位的冷却，但是上述的分子泵冷却方式，需要对电机壳进行多次加工，加工难度大，并且，由于冷却介质直接通入电机壳内，造成分子泵的整体重量增加，此外，冷却介质也加速电机壳体的腐蚀，容易造成电机壳体寿命不长的问题。


技术实现要素：

5.因此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中的分子泵冷却方式，需要对电机壳进行多次加工，加工难度大，并且，由于冷却介质直接通入电机壳内，造成分子泵的整体重量增加，此外，冷却介质也加速电机壳体的腐蚀，容易造成电机壳体寿命不长的问题。
6.为此，本实用新型提供一种冷却结构，包括：
7.至少一个水冷块，所述水冷块具有水冷本体，所述水冷块还具有设置在水冷本体内适于流通水冷介质的冷却腔，所述水冷本体至少具有一个适于贴设在电机和/或轴承的外壳壁的水冷壁；
8.循环管道，所述循环管道与所述冷却腔连通，具有流通进口和流通出口，所述流通进口适于与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口适于连通冷水供给机构的进水口。
9.可选地，上述的冷却结构，所述水冷壁为曲面或平面。
10.可选地，上述的冷却结构，所述水冷壁为圆柱面。
11.可选地，上述的冷却结构，包括第一水冷块和第二水冷块，所述第一水冷块和所述第二水冷块相对设置，所述循环管道设置在所述第一水冷块和所述第二水冷块之间，所述流通进口适于通过第一水冷块与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口适于通过第二冷却块与冷水供给机构的进水口连通。
12.可选地，上述的冷却结构，所述第一水冷块具有第一循环水路，所述第一循环水路
设置在第一水冷本体内，所述第一循环水路具有第一接口和第二接口，所述第一循环水路具有适于流通水冷介质的第一冷却腔，所述第一接口适于与冷水供给机构的出水口连通，所述第二接口与所述流通进口连通；
13.所述第二水冷块具有第二循环水路，所述第二循环水路设置在第二水冷本体内，所述第二循环水路具有第三接口和第四接口，所述第二循环水路具有适于流通水冷介质的第二冷却腔，所述第三接口与所述流通出口相接连通，所述第四接口适于与冷水供给机构的进水口连通。
14.可选地，上述的冷却结构，还包括第一转接件和第二转接件；
15.所述第一转接件设置在所述第二接口与所述流通进口之间；所述第二转接件设置在所述第三接口与所述流通出口之间。
16.可选地，上述的冷却结构，所述第一转接件和所述第二转接件中，任一所述转接件为树脂水管。
17.一种冷却系统，包括冷水供给机构和上述的冷却结构。
18.一种分子泵，包括：电机和/或轴承；以及
19.上述的冷却系统或上述的冷却结构。
20.上述的分子泵，还包括支撑壳，所述水冷结构通过连接件与所述水冷本体固定连接，所述电机和/或轴承的安装端安装在所述支撑壳上；
21.其中，所述冷却本体上设有安装台阶，所述支撑壳上设有支撑台阶，所述安装台阶卡装在支撑台阶上，且连接件穿设在安装台阶上的安装孔和所述支撑台阶上的第二安装孔内以锁定所述水冷块和所述支撑壳。
22.本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：
23.本实用新型提供的冷却结构，包括：至少一个水冷块和循环管道，其中，所述水冷块具有水冷本体，所述水冷块还具有设置在水冷本体内适于流通水冷介质的冷却腔，所述水冷本体至少具有一个适于贴设在电机和/或轴承的外壳壁的水冷壁；所述循环管道与所述冷却腔连通，具有流通进口和流通出口，所述流通进口适于与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口适于连通冷水供给机构的进水口。
24.此结构的冷却结构，通过水冷块、循环管道形成于外接冷水供给系统相连通的冷却循环腔，并且通过水冷本体的水冷壁直接与电机和/或轴承相互贴合，进而实现冷却介质流经冷却腔并通过水冷壁对电机壳体或者轴承座的降温，实现对高速旋转轴系部件降温，将电机壳体、下轴承座等部位的热量传递出去，在热交换的过程中也进一步实现对分子泵内部的润滑油的冷却，避免温度升高造成油分子蒸发加剧、污染分子泵内部空间的问题，同时也避免由于分子泵内部温度升高造成的油粘性降低，影响轴承润滑效果，而造成的轴承甚至分子泵寿命缩短的问题；水冷块和循环管道独立在电机壳体外设置，避免了影响分子泵的整体重量，同时冷却介质仅在水冷块和循环管道内流通，不会对电机壳体造成腐蚀，避免了电机寿命不长的问题。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述
中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1为本实用新型的实施例中所提供的分子泵的俯视视角的剖视图；
27.图2为图1中的第一水冷块的局部透视图；
28.附图标记说明：
29.1-第一水冷块；11-第一水冷本体；111-第一水冷壁；12-第一循环水路；13-第一接口；14-第二接口；15-安装台阶；16-第一安装孔；
30.2-第二水冷块；
31.3-循环管道；31-流通进口；32-流通出口；
32.41-第一转接件；42-第二转接件；
33.5-电机。
具体实施方式
34.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
35.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
36.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
38.实施例1
39.本实施例提供一种冷却结构，如图1和图2所示，包括：至少一个水冷块以及循环管道3。其中，所述水冷块具有水冷本体，所述水冷块还具有设置在水冷本体内适于流通水冷介质的冷却腔，所述水冷本体至少具有一个适于贴设在电机5和/或轴承的外壳壁的水冷壁；所述循环管道3与所述冷却腔连通，具有流通进口31和流通出口32，所述流通进口31适于与冷水供给机构的出水口连通，所述流通出口32适于连通冷水供给机构的进水口。例如，本实施例中，水冷块实际安装在电机5外壳外侧。
40.具体在本实施例中提供的冷却结构，设有第一水冷块1和第二水冷块2，所述第一水冷块1和所述第二水冷块2相对设置，所述循环管道3设置在所述第一水冷块1和所述第二水冷块2之间，所述流通进口31适于通过第一水冷块1与冷水供给机构的出水口连通，所述
流通出口32适于通过第二冷却块与冷水供给机构的进水口连通。
41.具体来说，以第一水冷块1为例，如图2所示，所述第一水冷块1具有第一循环水路12，所述第一循环水路12设置在第一水冷本体11内，所述第一循环水路12具有第一接口13和第二接口14，所述第一循环水路12具有适于流通水冷介质的第一冷却腔，所述第一接口13适于与冷水供给机构的出水口连通，所述第二接口14与所述流通进口31连通。
42.与第一水冷块1相类似，所述第二水冷块2具有第二循环水路，所述第二循环水路设置在第二水冷本体内，所述第二循环水路具有第三接口和第四接口，所述第二循环水路具有适于流通水冷介质的第二冷却腔，所述第三接口与所述流通出口32相接连通，所述第四接口适于与冷水供给机构的进水口连通。
43.本实施例中，无论是第一水冷块1还是第二水冷块2，水冷壁均曲面，此时，水冷壁可以对电机5外壳或者轴承外侧壁面紧密贴合，从而实现对于高速旋转部件的快速降温。具体来说，此时所述水冷壁为圆柱面。
44.当然，在其他可选的实施方式中，水冷壁也可以为平面，或其他曲面形式，只要实现与高速转动部件的外壳体相互适配即可。
45.本实施例中提供的冷却结构，如图1所示，还包括第一转接件41和第二转接件42；所述第一转接件41设置在所述第二接口14与所述流通进口31之间；所述第二转接件42设置在所述第三接口与所述流通出口32之间。在本实施例中，所述第一转接件41和所述第二转接件42中，任一所述转接件为树脂水管。
46.本实施例提供的冷却结构，通过水冷块、循环管道3形成于外接冷水供给系统相连通的冷却循环腔，并且通过水冷本体的水冷壁直接与电机5和/或轴承相互贴合，进而实现冷却介质流经冷却腔并通过水冷壁对电机5壳体或者轴承座的降温，实现对高速旋转轴系部件降温，将电机5壳体、下轴承座等部位的热量传递出去，在热交换的过程中也进一步实现对分子泵内部的润滑油的冷却，避免温度升高造成油分子蒸发加剧、污染分子泵内部空间的问题，同时也避免由于分子泵内部温度升高造成的油粘性降低，影响轴承润滑效果，而造成的轴承甚至分子泵寿命缩短的问题；水冷块和循环管道3独立在电机5壳体外设置，避免了影响分子泵的整体重量，同时冷却介质仅在水冷块和循环管道3内流通，不会对电机5壳体造成腐蚀，避免了电机5寿命不长的问题。
47.实施例2
48.本实施例提供的一种冷却系统，包括冷水供给机构和实施例1中提供的冷却结构。
49.实施例3
50.本实施例提供的一种分子泵，其特征在于，包括：电机5和/或轴承；以及实施例1中提供的冷却结构或实施例2中提供的冷却系统。
51.本实施例提供的分子泵，还包括支撑壳，所述水冷结构通过连接件与所述水冷本体固定连接，所述电机5和/或轴承的安装端安装在所述支撑壳上。
52.本实施例提供的分子泵中，如图2所示，为了方便看出，图中安装台阶15通过透视视角示出，所述冷却本体上设有安装台阶15，所述支撑壳上设有支撑台阶，所述安装台阶15卡装在支撑台阶上，且连接件穿设在安装台阶15上的安装孔和所述支撑台阶上的第二安装孔内以锁定所述水冷块和所述支撑壳。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可
以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。