一种晶圆清洗用清洗液配比罐的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别涉及一种晶圆清洗用清洗液配比罐。


背景技术：

2.半导体晶圆片清洗旨在去除半导体晶圆片制造过程中引入的各种污染物质。半导体晶圆片清洗质量的优劣对晶圆片的成品率以及可靠性有非常大的影响。在清洗的过程中，使用加热后的清洗液在清洗槽中对晶圆片进行清洗。晶圆片清洗液一般由两种清洗液生成试剂和去离子水按照预定的体积比配置而成。
3.现有的配比罐配液完毕后，当其与晶圆清洗设备距离较远时，无法直接将清洗液加入到清洗设备中，此时需要将配比罐中的混合液通过接料桶转移至清洗设备中，在对接料桶进行灌液时，由于配比罐的排液管与接料桶的内腔底部存在一定的高度差，刚开始灌液时，排液管排出且具有一定流速的水会容易与接料桶的底部发生碰撞并从桶口溅出，造成混合液的浪费，因此，本技术提供了一种晶圆清洗用清洗液配比罐来满足需求。


技术实现要素：

4.本技术的目的在于提供一种晶圆清洗用清洗液配比罐，本配比罐可对接料桶的桶口进行密封并进行定量灌液，灌液完毕后自动恢复原位，可防止排液时液体由于高度差与桶底发生碰撞导致混合液溅出，避免造成混合液的浪费，自动化程度高且操作方便。
5.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆清洗用清洗液配比罐，包括内部安装有搅拌系统的罐体，所述罐体的上端安装有若干个储液桶，且每个所述储液桶的出液管上均安装电子流量计，所述罐体的排液管上安装有电动阀门，所述电动阀门和所述电子流量计均与所述罐体外壁上安装有的plc控制器电性连接，还包括滑动套设在所述排液管外壁上的延伸管，所述延伸管通过两连接杆分别与固定在所述罐体底部的两电动伸缩杆的输出端固定连接，两所述电动伸缩杆的输出端均通过缓冲弹簧与套设在所述延伸管外壁上的环板固定连接，所述环板的底部固定连接有套设在所述延伸管外壁上的锥形导流块，且所述锥形导流块的外壁固定连接有弹性密封圈，所述环板的上方固定连接有第一安装板，且所述第一安装板的下端固定连接有与所述控制器电性连接的第一接触开关，用于控制所述电动伸缩杆停止工作和控制所述电动阀门打开排液管通道，所述环板的下方安装有浮力开关单元，通过液体浮力作用控制所述电动阀门关闭和控制所述电动伸缩杆带动所述环板恢复原位。
6.优选的，所述浮力开关单元包括固定连接于所述延伸管外壁上的第二安装块和固定连接于于所述第二安装块下端的两立柱，所述第二安装块的下端固定连接有与所述控制器电性连接的第二接触开关，两所述立柱上滑动套接有浮板，两所述立柱的下端固定连接有对所述浮板形成支撑的支撑板。
7.优选的，所述环板的底部上呈圆周固定设置有不低于三个导向杆，三个所述导向杆均向外倾斜设置，所述导向杆用于接料桶位置进行调整。
8.优选的，所述锥形导流块和所述环板相对应的位置上均设置有若干个内腔相通的微孔。
9.优选的，所述锥形导流块的外壁上设置有疏水涂层。
10.优选的，所述环板的上端固定安装有与所述第二接触开关电性连接的激振器，所述激振器用于控制所述环板震动。
11.综上，本实用新型的技术效果和优点：
12.1、本实用新型结构合理，本配比罐可对接料桶的桶口进行密封并进行定量灌液，灌液完毕后自动恢复原位，可防止排液时液体由于高度差与桶底发生碰撞导致混合液溅出，避免造成混合液的浪费，自动化程度高且操作方便；
13.2、本实用新型中，设置有激振器，当浮板与第二接触开关接触时，控制器会控制激振器工作一段时间，利用激振器带动环板进行震动，通过震动的传递，可使得排液管发生震动，有利于促进环板和排液管上残留的混合液的下落。
14.3、本实用新型中，环板的底部设有导向杆，导向杆的倾斜面将会与接料桶的上端形成挤压接触，并通过对接料桶上端侧向挤压力的作用使得接料桶发生移动，使得其自动运动到排液管的正下方，以便完成后续环板对接料桶桶口的密封。
15.4、本实用新型中，锥形导流块和环板上均设置有若干个内腔相通的微孔，锥形导流块和环板相对应的位置上均设置有若干个内腔相通的微孔。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型立体结构示意图；
18.图2为本实用新型环板结构示意图；
19.图3为本实用新型图2中浮力开关单元放大结构示意图；
20.图4为本实用新型图1中a处放大结构示意图；
21.图5为本实用新型图2中环板仰视结构示意图
22.图中：1、罐体；2、储液桶；3、电子流量计；4、延伸管；5、电动阀门；6、电动伸缩杆；7、弹性密封圈；8、激振器；9、连接杆；10、第一安装板；11、第一接触开关；12、浮力开关单元；121、第二安装块；122、第二接触开关；123、立柱；124、浮板；125、支撑板；13、环板；14、锥形导流块；15、微孔；16、导向杆；17、缓冲弹簧。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例：参考图1-5所示的一种晶圆清洗用清洗液配比罐，包括内部安装有搅拌系
统的罐体1，罐体1的上端安装有若干个储液桶2，且每个储液桶2的出液管上均安装电子流量计3，罐体1的排液管上安装有电动阀门5，电动阀门5和电子流量计3均与罐体1外壁上安装有的plc控制器电性连接，还包括滑动套设在排液管外壁上的延伸管4，延伸管4通过两连接杆9分别与固定在罐体1底部的两电动伸缩杆6的输出端固定连接，两电动伸缩杆6的输出端均通过缓冲弹簧17与套设在延伸管4外壁上的环板13固定连接，环板13的底部固定连接有套设在延伸管4外壁上的锥形导流块14，且锥形导流块14的外壁固定连接有弹性密封圈7，环板13的上方固定连接有第一安装板10，且第一安装板10的下端固定连接有与控制器电性连接的第一接触开关11，用于控制电动伸缩杆6停止工作和控制电动阀门5打开排液管通道，环板13的下方安装有浮力开关单元12，通过液体浮力作用控制电动阀门5关闭和控制电动伸缩杆6带动环板13恢复原位，在使用时，可将储液桶1中的混合原料通过电子流量计3计量控制进入罐体1中的量，完毕后利用罐体1内部的搅拌系统进行搅拌混合即可，在利用接料桶进行接料时，可将接料桶放置在排液管的正下方，此时可通过控制器可知两电动伸缩杆6带动环板13向下运动，环板13的底部的弹性密封圈7会与桶口上端接触并形成密封，此时缓冲弹簧17将被压缩，当环板13的上端与第一接触开关11接触时，控制器将控制电动伸缩杆6将停止运动，同时控制电动阀门5将排液管的通道打开，罐体1内的混合液通过排液管进入接料桶中，当接料桶中的液位上升并与浮力开关单元12接触（表面此时接料桶已灌满混合液）时，通过液体浮力作用控制电动阀门5关闭和控制电动伸缩杆6带动环板13恢复原位，在此排液过程中，利用环板13将接料桶的进入开口密封，可防止排液时液体由于高度差与桶底发生碰撞导致混合液溅出，避免造成混合液的浪费，且设置有锥形导流块14，当液体溅射到锥形导流块14上时，可通过其斜面流下并最终进入接料桶中，可避免环板13上有混合液的残留。
25.作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图3所示，浮力开关单元12包括固定连接于延伸管4外壁上的第二安装块121和固定连接于于第二安装块121下端的两立柱123，第二安装块121的下端固定连接有与控制器电性连接的第二接触开关122，两立柱123上滑动套接有浮板124，两立柱123的下端固定连接有对浮板124形成支撑的支撑板125，当接料桶捏的液面与浮板125接触时，通过浮力作用将使得浮板125做上升运动，浮板125会与第二接触开关122接触，此时控制电动阀门5关闭和控制电动伸缩杆6带动环板13恢复原位。
26.在本实施例中，如图1所示，环板13的上端固定安装有与第二接触开关122电性连接的激振器8，激振器8用于控制环板13震动，当浮板124与第二接触开关122接触时，控制器会控制激振器8工作一段时间，利用激振器8带动环板13进行震动，通过震动的传递，可使得排液管发生震动，有利于促进环板13和排液管内壁残留的混合液的下落。
27.需要注意的是：控制器内设置有用于延缓激振器8的启动时间的延迟电路和用于计算激振器8工作时间的计算模块，当浮板124与第二接触开关122接触一端时间后，电动伸缩杆6带动环板13向上运动一段距离，此时环板13与第一接触开关11接触分离并隔有一段距离，此时控制器激振器8工作一段时间，可避免激振器8带动环板13震动时使得环板13与第一接触开关11接触，避免造成电动阀门5将排液管打开。
28.作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图2所示，环板13的底部上呈圆周固定设置有不低于三个导向杆16，三个导向杆16均向外倾斜设置，导向杆16用于接料桶位置进行调整，当接料桶未放置在排液管的正下方，产生一定偏移时，环板13在电动伸缩杆6的带
动向下滑动，其导向杆16的倾斜面将会与接料桶的上端形成挤压接触，并通过对接料桶上端侧向挤压力的作用使得接料桶发生移动，使得其自动运动到排液管的正下方，以便完成后续环板13对接料桶桶口的密封。
29.作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图5所示，锥形导流块14和环板13相对应的位置上均设置有若干个内腔相通的微孔15，由于接料桶被环板1密封，在内部进行灌液时，其内部气压会逐渐变大，将阻碍罐体1内液体的下流速度，故在锥形导流块14和环板13上开设微孔15使得接料桶内外气压一致，避免其阻碍液体的下流。
30.作为本实施例中的一种优选地实施方式，图中未画出，锥形导流块14的外壁上设置有疏水涂层，可提高锥形导流块14的疏水性，使得液体无法停留在锥形导流块14上。
31.本实用工作原理：在使用时，可将储液桶1中的混合原料通过电子流量计3计量控制进入罐体1中的量，完毕后利用罐体1内部的搅拌系统进行搅拌混合即可，在利用接料桶进行接料时，可将接料桶放置在排液管的正下方，此时可通过控制器可知两电动伸缩杆6带动环板13向下运动，环板13的底部的弹性密封圈7会与桶口上端接触并形成密封，此时缓冲弹簧17将被压缩，当环板13的上端与第一接触开关11接触时，控制器将控制电动伸缩杆6将停止运动，同时控制电动阀门5将排液管的通道打开，罐体1内的混合液通过排液管进入接料桶中，当接料桶中的液位上升并与浮力开关单元12接触（表面此时接料桶已灌满混合液）时，通过液体浮力作用控制电动阀门5关闭和控制电动伸缩杆6带动环板13恢复原位，在此排液过程中，利用环板13将接料桶的进入开口密封，可防止排液时液体由于高度差与桶底发生碰撞导致混合液溅出，避免造成混合液的浪费，且设置有锥形导流块14，当液体溅射到锥形导流块14上时，可通过其斜面流下并最终进入接料桶中，可避免环板13上有混合液的残留；
32.环板13的底部上呈圆周固定设置有不低于三个导向杆16，当接料桶未放置在排液管的正下方，产生一定偏移时，环板13在电动伸缩杆6的带动向下滑动，其导向杆16的倾斜面将会与接料桶的上端形成挤压接触，并通过对接料桶上端侧向挤压力的作用使得接料桶发生移动，使得其自动运动到排液管的正下方，以便完成后续环板13对接料桶桶口的密封；
33.锥形导流块14和环板13相对应的位置上均设置有若干个内腔相通的微孔15，由于接料桶被环板1密封，在内部进行灌液时，其内部气压会逐渐变大，将阻碍罐体1内液体的下流速度，故在锥形导流块14和环板13上开设微孔15使得接料桶内外气压一致，避免其阻碍液体的下流；
34.设置有激振器8，当浮板124与第二接触开关122接触时，控制器会控制激振器8工作一段时间，利用激振器8带动环板13进行震动，通过震动的传递，可使得排液管发生震动，有利于促进环板13和排液管上残留的混合液的下落。
35.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。