一种匀胶显影机硅片烘干装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种烘干装置，尤其涉及一种匀胶显影机硅片烘干装置。


背景技术：

2.匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，硅片是匀胶显影机中的重要部件，硅片清洗完成之后，需要进行烘干处理。
3.公开号为cn207006733u的专利，公开了一种硅片烘干装置，包括具有烘干槽的箱体、冷凝过滤装置和吸风机，所述箱体位于所述烘干槽上方设有开合门，所述烘干槽内设有加热装置，所述烘干槽的底部设有风扇，所述吸风机的输入端通过外接管路与烘干槽内部连通，所述吸风机的输出端通过外接管路与所述冷凝过滤装置的输入端连通，所述冷凝过滤装置的输出端通过外接管路与烘干槽内部连通。该专利不能对硅片进行转动，硅片固定不动，导致硅片难以均匀受热，从而导致烘干效率低下。
4.针对目前存在的问题，设计一种能够让硅片均匀受热、提高烘干效率的匀胶显影机硅片烘干装置。


技术实现要素：

5.为了克服上述现有技术不能对硅片进行转动，硅片固定不动，导致硅片难以均匀受热，从而导致烘干效率低下的缺点，本实用新型的技术问题为：提供一种可以让硅片均匀受热，提高烘干效率的匀胶显影机硅片烘干装置。
6.技术方案：一种匀胶显影机硅片烘干装置，包括有壳体、伺服电机、连接轴、承托盘、支撑架、安装架、遮光板、红外远光发射灯珠和烘干防护机构，壳体内下部安装有伺服电机，伺服电机的输出轴上连接有连接轴，连接轴上滑动式设有用于放置硅片的承托盘，连接轴能够带动承托盘转动，壳体顶部连接有支撑架，支撑架顶部连接有安装架，安装架内侧连接有遮光板，遮光板底部连接有用于对硅片进行烘干的红外远光发射灯珠，壳体上设有用于对硅片进行防护的烘干防护机构。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，烘干防护机构包括有第一电动推杆、载物板和防护玻璃，壳体顶部均匀间隔的连接有第一电动推杆，第一电动推杆的伸缩杆之间连接有载物板，载物板位于支撑架的外侧，载物板顶部连接有防护玻璃。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，还包括有防误触玻璃，壳体上部外侧连接有防误触玻璃。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，还包括有第二电动推杆，壳体顶部连接有第二电动推杆，第二电动推杆的伸缩杆和承托盘接触。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，还包括有安装板，壳体内侧连接有安装板，安装板和伺服电机连接。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，还包括有限位盘，壳体顶部连接有限位盘，限位盘和载物板接触。
12.有益效果：1、本实用新型的红外远光发射灯珠能够对硅片进行烘干，伺服电机带动硅片转动，使硅片受热更加均匀，烘干效率更高，防护玻璃对硅片进行防护，避免发生意外。
13.2、在防误触玻璃的作用下，能够对安装架和遮光板进行保护，避免外界的物品碰撞到安装架和遮光板。
附图说明
14.图1为本实用新型的立体结构示意图。
15.图2为本实用新型的伺服电机、连接轴等零部件部分立体结构示意图。
16.图3为本实用新型烘干防护机构的立体结构示意图。
17.图4为本实用新型的安装板、限位盘等零部件部分立体结构示意图。
18.图中标记为：1-壳体，2-伺服电机，3-连接轴，4-承托盘，5-支撑架，6-安装架，7-遮光板，8-红外远光发射灯珠，9-烘干防护机构，90-第一电动推杆，91-载物板，92-防护玻璃，11-防误触玻璃，12-第二电动推杆，13-安装板，14-限位盘。
具体实施方式
19.以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述，但不限制本实用新型的保护范围和应用范围。
20.实施例1
21.一种匀胶显影机硅片烘干装置，如图1-3所示，包括有壳体1、伺服电机2、连接轴3、承托盘4、支撑架5、安装架6、遮光板7、红外远光发射灯珠8和烘干防护机构9，壳体1内下部通过螺栓安装有伺服电机2，伺服电机2的输出轴上连接有连接轴3，连接轴3上滑动式设有承托盘4，承托盘4用于放置硅片，连接轴3能够带动承托盘4转动，壳体1顶部通过螺栓连接有支撑架5，支撑架5顶部通过螺钉连接有安装架6，安装架6内侧连接有遮光板7，遮光板7底部均匀间隔的连接有红外远光发射灯珠8，红外远光发射灯珠8用于对硅片进行烘干，壳体1上设有烘干防护机构9，烘干防护机构9用于对硅片进行防护。
22.如图1和图3所示，烘干防护机构9包括有第一电动推杆90、载物板91和防护玻璃92，壳体1顶部绕圆周方向均匀间隔的通过螺栓连接有第一电动推杆90，第一电动推杆90的伸缩杆之间连接有载物板91，载物板91位于支撑架5的外侧，载物板91顶部连接有防护玻璃92，防护玻璃92为环形。
23.人们通过机械臂将硅片放到承托盘4上，然后控制第一电动推杆90的伸缩杆伸长，第一电动推杆90带动载物板91向上移动，载物板91带动防护玻璃92向上移动，当防护玻璃92向上移动将硅片挡住时，人们关闭第一电动推杆90，再启动伺服电机2，伺服电机2带动连接轴3转动，连接轴3带动承托盘4转动，硅片随之转动，人们再打开红外远光发射灯珠8，红外远光发射灯珠8对硅片进行烘干，硅片在转动，受热更加均匀，烘干效率更高，防护玻璃92可以对硅片进行防护，避免发生意外，遮光板7可以遮挡外部光线，避免外部光线对红外远光发射灯珠8产生不良影响，烘干完成之后，关闭伺服电机2和红外远光发射灯珠8，然后控制第一电动推杆90的伸缩杆缩短，第一电动推杆90带动防护玻璃92向下移动，防护玻璃92向下移动复位之后，关闭第一电动推杆90。
24.实施例2
25.在实施例1的基础之上，如图1所示，还包括有防误触玻璃11，壳体1上部外侧通过螺栓连接有防误触玻璃11。
26.如图4所示，还包括有第二电动推杆12，壳体1顶部绕圆周方向均匀间隔的通过螺栓连接有第二电动推杆12，第二电动推杆12的伸缩杆和承托盘4底部接触。
27.如图4所示，还包括有安装板13，壳体1内侧上部通过螺栓连接有安装板13，安装板13和伺服电机2通过螺栓连接。
28.如图4所示，还包括有限位盘14，壳体1顶部中间连接有限位盘14，限位盘14和载物板91接触。
29.防误触玻璃11可以对安装架6和遮光板7进行保护，避免外界的物品碰撞到安装架6和遮光板7，需要放置硅片时，人们可以控制第二电动推杆12的伸缩杆伸长，第二电动推杆12的伸缩杆推动承托盘4向上移动，将承托盘4升高，方便机械臂放置硅片，承托盘4向上移动到合适高度之后，关闭第二电动推杆12，放置好硅片之后，控制第二电动推杆12的伸缩杆缩短，第二电动推杆12的伸缩杆推动承托盘4向下移动，承托盘4向下移动复位之后，关闭第二电动推杆12，安装板13可以提高伺服电机2的稳定性，限位盘14可以对载物板91进行限位，避免载物板91向下移动过头。
30.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。