一种用于真空共晶炉的气路系统的制作方法

技术特征：
1.一种用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，包括和炉腔连通的：真空管路(1)，所述真空管路(1)上串联真空第一阀体(102)；惰性气体管路(4)，所述惰性气体管路(4)上依次串联惰性气体第一阀体(401)、第一流量控制部(402)、惰性气体第二阀体(403)；还原气体管路(5)，所述还原气体管路(5)上依次串联惰性气体第三阀体(501)、第二流量控制部(502)、惰性气体第四阀体(503)，所述还原气体管路(5)上还设有还原气体第一阀体(504)，还原气体源设置于惰性气体第四阀体(503)和还原气体第一阀体(504)之间；以及用于充入冷却气体的冷却管路。2.根据权利要求1所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述真空第一阀体(102)和真空源之间的管路串联真空气控阀(104)，所述真空第一阀体(102)是电磁阀。3.根据权利要求2所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述真空第一阀体(102)和真空气控阀(104)之间的管路连接单向废气排出器(103)。4.根据权利要求1所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述第一流量控制部(402)和第二流量控制部(502)是质量流量计。5.根据权利要求1所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述惰性气体管路(4)和还原气体管路(5)共用同一惰性气体源。6.根据权利要求1所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述冷却管路包括冷却气体进入管路(2)，所述冷却气体进入管路(2)上串联冷却第一阀体(201)。7.根据权利要求6所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述冷却第一阀体(201)和炉腔之间的管路串联冷却气控阀(202)。8.根据权利要求6所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述冷却管路还包括冷却气体排出管路(3)，所述冷却气体排出管路(3)并联于单向废气排出器(103)和炉腔之间的真空管路(1)。9.根据权利要求8所述的用于真空共晶炉的气路系统，其特征在于，所述冷却气体排出管路(3)上连接排出阀体(301)。

技术总结
本实用新型涉及一种用于真空共晶炉的气路系统，包括和炉腔连通的真空管路、惰性气体管路、还原气体管路和冷却管路，真空管路上串联真空第一阀体，惰性气体管路上串联惰性气体第一阀体、第一流量控制部、惰性气体第二阀体，还原气体管路上依次串联惰性气体第三阀体、第二流量控制部、惰性气体第四阀体以及还原气体第一阀体，还原气体源设置于惰性气体第四阀体和还原气体第一阀体之间，冷却管路用于充入冷却气体。本实用新型所提供的气路系统能够确保炉腔内的惰性气体环境，以及避免在升温焊接过程中所容易发生的焊料氧化现象，确保焊接质量。量。量。


技术研发人员：张新峰 金卫刚 苏晓锋 贺毅 吕瑞波 孙艺晓
受保护的技术使用者：烟台华创智能装备有限公司
技术研发日：2022.10.18
技术公布日：2022/12/20