一种根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺的制作方法

技术特征：
1.一种根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：在直拉单晶过程中，在等径阶段，根据单晶拉制长度的变化进行单晶炉的炉压的调整，控制单晶炉的炉压，控制合金挥发速率。2.根据权利要求1所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：在等径阶段，所述单晶炉的炉压逐渐减小，所述单晶炉的炉压调节范围为12-5torr。3.根据权利要求1或2所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：在等径的初始阶段，所述单晶炉的炉压为第一炉压；随着单晶的拉制长度增加，所述单晶拉制的长度变化量与所述单晶炉减少的炉压变化量之比为250-1200；当所述单晶的拉制长度为第一长度时，所述单晶炉的炉压为第二炉压，所述单晶炉的炉压保持不变，直至完成等径阶段单晶拉制。4.根据权利要求3所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：所述单晶拉制的长度变化量与所述单晶炉减少的炉压变化量之比为400-800。5.根据权利要求4所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：所述长度变化量为400-600mm。6.根据权利要求4或5所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：所述第一炉压为11-13torr。7.根据权利要求6所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：所述第二炉压为4-6torr。8.根据权利要求7所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：所述第一长度为2800-3200mm。9.根据权利要求7或8所述的根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，其特征在于：所述炉压变化量为0.5-1.5torr。

技术总结
本发明提供一种根据炉压控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，在直拉单晶过程中，在等径阶段，根据单晶拉制长度的变化进行单晶炉的炉压的调整，控制单晶炉的炉压，控制合金挥发速率。本发明的有益效果是使得单晶炉的炉压在等径阶段随着单晶拉制长度的增加而减小，在单晶拉制过程中制造不同的炉内气体流动场景，增加掺镓单晶拉制后期的合金挥发速率，降低合金浓度，提高掺镓单晶的周向电阻率控制精度，提高掺镓单晶拉制长度。掺镓单晶拉制长度。


技术研发人员：赵国伟 吴树飞 郝瑞军 王林 谷守伟 张文霞 王建平 郭志荣
受保护的技术使用者：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
技术研发日：2021.06.17
技术公布日：2022/12/19