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一种坩埚装置的制作方法

2022-12-14 13:05:21 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种坩埚装置,其特征在于,包括埚帮,所述埚帮内套设有坩埚,所述埚帮包括侧壁和与所述侧壁相连接的弯折部,所述侧壁与所述弯折部均沿所述埚帮的周向设置;所述侧壁包括第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁靠近所述坩埚一侧,所述第二侧壁远离所述坩埚一侧,所述第一侧壁和所述第二侧壁之间具有沿周向设置的缝隙,所述缝隙内填充有导热性能好的填充物,所述缝隙远离所述弯折部一侧具有物料填充口。2.根据权利要求1所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述填充物材质为碳箔。3.根据权利要求1所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述埚帮还包括与所述弯折部相连接的埚托;所述坩埚包括埚体与所述埚体相连接的埚底,所述埚底与所述埚托和所述弯折部之间均具有间隙,所述间隙内铺设有覆盖物。4.根据权利要求3所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述埚体的开口边缘处设有向所述侧壁延伸凸出的外缘;所述外缘在所述侧壁的正投影覆盖所述物料填充口。5.根据权利要求3所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述覆盖物材质为碳箔。6.根据权利要求3所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述覆盖物在第二方向上的厚度为0.8-1.2mm,其中,第一方向为从第一侧壁指向第二侧壁的方向,所述第二方向与所述第一方向相交。7.根据权利要求1所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述缝隙在第一方向上的间距为2-4mm,其中,所述第一方向为从第一侧壁指向第二侧壁的方向。8.根据权利要求7所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述填充物在所述第一方向上的厚度为0.8-1.2mm。9.根据权利要求1所述的一种坩埚装置,其特征在于,沿第二方向上,所述填充物的高度与所述缝隙的高度相等,其中,第一方向为从第一侧壁指向第二侧壁的方向,所述第二方向与所述第一方向相交。10.根据权利要求3所述的一种坩埚装置,其特征在于,所述覆盖物材质为石墨。

技术总结
本实用新型公开了一种坩埚装置,包括埚帮,所述埚帮内套设有坩埚,所述埚帮包括侧壁和与所述侧壁相连接的弯折部,所述侧壁与所述弯折部均沿所述埚帮的周向设置;所述侧壁包括第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁靠近所述坩埚一侧,所述第二侧壁远离所述坩埚一侧,所述第一侧壁和所述第二侧壁之间具有沿周向设置的缝隙,所述缝隙内填充有导热性能好的填充物,所述缝隙远离所述弯折部一侧具有物料填充口。本实用新型在埚帮的缝隙内塞入填充物使坩埚导热更均匀,从而避免了由于坩埚和埚帮吊装的位置偏差引起温度梯度变化而导致的拉晶问题。题。题。


技术研发人员:熊波 向鹏 杨宇昂
受保护的技术使用者:四川晶科能源有限公司
技术研发日:2022.08.31
技术公布日:2022/12/13
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